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本实用新型涉及一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒，该清洁套筒分成前端套筒和后端套筒，前端套筒和后端套筒的内部中空，在前端套筒的端口处设置有清洁布料，且前端端口敞开。采用本实用新型，无需将埚转主轴从单晶炉体上拆卸下来，而可以直接对埚转主轴进行清洁，...
该专利属于浙江硅宏电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江硅宏电子科技有限公司授权不得商用。

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