下载一种硅片脱胶机的技术资料

文档序号:3961444

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本发明涉及一种硅片脱胶机,该硅片脱胶机的滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上;定滑轮固定在直立轨道上,提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接;硅片盒位于脱胶槽内,脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上;脱胶槽内安装有加热管;偏心轮及组件设置在滑...
该专利属于浙江硅宏电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江硅宏电子科技有限公司授权不得商用。

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