蒸镀装置制造方法及图纸

一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括蒸镀源、内层板、外层板以及驱动装置。蒸镀源包括至少一个蒸发孔；内层板设置在蒸镀源上且位于蒸发孔的两侧；外层板设置在内层板远离蒸发孔的一侧；驱动装置与外层板相连，驱动装置被配置为驱动外层板以调节蒸镀范围。由此，该蒸镀装置可调节该蒸镀装置的蒸镀速率，从而可调节待蒸镀形成的膜层的厚度，实现迅速地对待蒸镀形成的膜层的厚度的调节，提高生产效率。

Evaporation device

A steam plating device. The evaporation device includes the evaporation source, the inner layer plate, the outer layer plate and the driving device. The evaporation source includes at least one evaporation hole; the inner layer plate is arranged on the evaporation source and is positioned on both sides of the evaporation hole; the outer layer plate is arranged on the side of the inner layer board away from the evaporation hole; the driving device is connected with the outer layer plate, and the driving device is configured to drive the outer layer board to adjust the evaporation range. Therefore, the evaporation device can adjust the evaporation rate of the evaporation device, thereby adjusting the thickness of the film formed by evaporation, so as to realize the adjustment of the thickness of the film formed by evaporation, and improve the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本技术的实施例涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
随着显示技术的发展，有机发光二极管显示器(OrganicLight-EmittingDiodeDisplay，OLEDDisplay)由于其具有自发光、广视角、高对比度、低功耗、高反应速度等优点越来越受到重视。有机发光二极管是由多种功能层堆叠组成的发光器件。目前，有机发光二极管的制作工艺包括蒸镀工艺，即通过蒸镀工艺来蒸镀有机发光二极管中的功能层，例如有机发光层。
技术实现思路
本技术实施例提供一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括蒸镀源、内层板、外层板以及驱动装置。蒸镀源包括至少一个蒸发孔；内层板位于蒸发孔的两侧；外层板设置在内层板远离蒸发孔的一侧；驱动装置与外层板相连，驱动装置被配置为驱动外层板以调节蒸镀范围。由此，该蒸镀装置可调节该蒸镀装置的蒸镀速率，从而可调节待蒸镀形成的膜层的厚度，实现迅速地对待蒸镀形成的膜层的厚度的调节，提高生产效率。本技术至少一个实施例提供一种蒸镀装置，其包括蒸镀源，包括至少一个蒸发孔；内层板，设置在所述蒸镀源上且位于所述蒸发孔的两侧；外层板，设置在所述内层板远离所述蒸发孔的一侧；以及驱动装置，与所述外层板相连，所述驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀源，包括至少一个蒸发孔；内层板，设置在所述蒸发孔的两侧；外层板，设置在所述内层板远离所述蒸发孔的一侧；以及驱动装置，与所述外层板相连，其中，所述驱动装置被配置为驱动所述外层板以调节蒸镀范围。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀源，包括至少一个蒸发孔；内层板，设置在所述蒸发孔的两侧；外层板，设置在所述内层板远离所述蒸发孔的一侧；以及驱动装置，与所述外层板相连，其中，所述驱动装置被配置为驱动所述外层板以调节蒸镀范围。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述外层板和所述内层板沿平行于所述蒸发孔的中心线的方向延伸，所述外层板远离所述蒸镀源的端部延伸超过所述内层板远离所述蒸镀源的端部，所述外层板被配置为可相对于所述内层板沿平行于所述蒸发孔的中心线的方向运动。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述驱动装置包括升降装置，所述升降装置被配置为驱动所述外层板沿所述平行于所述蒸发孔的中心线的方向运动。4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述驱动装置包括旋转装置，所述外层板包括：本体部，设置在所述内层板远离所述蒸发孔的一侧，且所述本体部和所述内层板沿所述平行于所述蒸发孔的中心线的方向延伸，所述本体部远离所述蒸镀源的端部延伸超过所述内层板远离所述蒸镀源的端部；以及转动部，所述转动部的一端与所述本体部远离所述蒸镀源的端部铰接，其中，所述旋转装置被配置为驱动所述转动部向靠近和远离所述蒸镀源的方向转动。5.根据权利要求1-4中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：膜厚探测器，至少部分设置在所述内层板内，其中，所述膜厚探测器被配置为探测所述蒸镀装置的蒸镀速...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭书鹏，胡长奇，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34