一种线性蒸发源和蒸镀装置制造方法及图纸

技术编号:16686889 阅读:22 留言:0更新日期:2017-12-02 03:33
本实用新型专利技术涉及蒸镀装置技术领域,公开一种线性蒸发源和蒸镀装置;其中,线性蒸发源包括:板状坩埚盖,坩埚盖的两个长边的边缘中,每个边缘上设有至少一对第一插孔;坩埚体,坩埚体开口的两个长边边沿分别设置有凸台,每个凸台上设有与坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔;当坩埚盖盖设于坩埚体上时,相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通;U型楔块,每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部以及位于第一端部和第二端部之间的连接部;连接部可弹性伸缩;第一端部和第二端部分别设有第一通孔和第二通孔;可插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内的插销。上述线性蒸发源的坩埚体和盖锅盖的封装和解封过程很快、效率很高。

A linear evaporation source and evaporation device

The utility model relates to a vapor deposition device technology field, discloses a linear evaporation source and deposition apparatus; wherein, the linear evaporation source comprises a plate shaped crucible cover, two long side edges of the crucible cover, each edge is provided with at least one of the first jack; a crucible body, two long side edges of the crucible body the opening are respectively provided with a boss, each boss has a one-to-one correspondence with the crucible cover on the first jack jack second; when the cover is placed on the crucible crucible, corresponding to the first and second jack jack can be aligned one by one connection; type U wedge, each U type wedge includes a first end portion and a second end opposite set and is located in the junction between the first and second ends of the connecting part; elastic extension; first and second ends are respectively provided with a first and second through holes; can be inserted into the U type wedge The first - hole and second - hole pins. The steam source and linear crucible lid encapsulation and decapsulation process is very fast, the efficiency is very high.

【技术实现步骤摘要】
一种线性蒸发源和蒸镀装置
本技术涉及蒸镀
,特别涉及一种线性蒸发源和蒸镀装置。
技术介绍
线性蒸发源是现有OLED膜层蒸镀设备中常用的一种蒸发源,如图1所示,现有技术中的线性蒸发源,一般主要包括坩埚本体20和盖板10两部分、且坩埚本体20和盖板10之间一般采用沿盖板10边缘设置的多根螺丝30进行密封固定;由于每次向坩埚本体20内添加蒸镀材料时,都需要重新装卸螺丝30,而在螺丝30的拆装过程中,很容易出现螺丝30紧固的松紧度不一致的现象,如螺丝30拧的太松会影响线性蒸发源的气密性,螺丝30拧的过紧则容易导致螺丝30拧不出来或者脱扣断裂,因此,上述封装设计的拆装过程很费时、效率很低,进而,大大增加了坩埚加料过程的用时,严重影响了蒸镀设备的产能。
技术实现思路
本技术公开了一种线性蒸发源和蒸镀装置,用于提高线性蒸发源的拆装效率。为达到上述目的,本技术提供以下技术方案:一种线性蒸发源,包括:坩埚盖,所述坩埚盖呈板状,且所述坩埚盖的两个长边的边缘中,每个边缘上设有至少一对第一插孔;坩埚体,所述坩埚体开口的两个长边边沿上分别设置有凸台,且每个凸台上设有与所述坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通;至少两个U型楔块,每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部、以及位于第一端部和第二端部之间的连接部;其中,所述连接部可弹性伸缩;所述第一端部设有第一通孔,所述第二端部设有第二通孔,所述第一通孔和第二通孔的轴心线重合;至少两个插销,每个插销可插入所述U型楔块的第一通孔和第二通孔内;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,所述U型楔块的第一端部和第二端部可分别贯穿一对第一插孔、以及与该对第一插孔相对应的两个第二插孔,以使所述第一通孔和第二通孔到达所述凸台背离坩埚盖的一侧;且,当每个插销在凸台背离坩埚盖的一侧插入所述第一通孔和第二通孔内时,所述U型楔块的连接部处于拉伸形变的状态。上述线性蒸发源主要包括坩埚盖、坩埚体、U型楔块和插销四种结构,其中,坩埚盖和坩埚体的凸台上对应设有插孔结构(第一插孔和第二插孔),U型楔块的第一端部和第二端部上设有轴心线重合的通孔(第一通孔和第二通孔),U型楔块的第一端部和第二端部可从坩埚盖一侧同时贯穿坩埚盖上的一对第一插孔和坩埚体凸台上的一对第二插孔,并使第一端部的第一通孔和第二端部的第二通孔到达凸台背离坩埚盖的一侧;此时,可以通过插销插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内,以将U型楔块锁定,进而将坩埚盖和坩埚体固定连接;并且,由于此时第一端部和第二端部之间的连接部处于弹性拉伸状态,因此,通过U型楔块连接部的弹性恢复力可以使坩埚盖压紧于坩埚体上,进而实现坩埚盖和坩埚体之间的密封。上述线性蒸发源的封装设计中,由于U型楔块和插销的拆装过程简单一致,且无需进行松紧度的调节,所以上述线性蒸发源的拆装过程很快、效率很高。优选地,每个所述插销具有杆部和沿杆部设置的至少一个插销部,每个插销部包括沿杆部方向依次设置的第一通孔部和第二通孔部;当所述插销插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内时,所述第一通孔部和第二通孔部可分别与所述第一通孔和第二通孔对应插合匹配。优选地,每个U型楔块中,第一端部上设有用于使插销能够嵌入第一通孔内的第一嵌入口;第二端部上设有用于使插销能够嵌入第二通孔内的第二嵌入口;所述第一嵌入口和第二嵌入口沿所述第一通孔和第二通孔的轴心线方向对齐设置。优选地,所述U型楔块中,第一通孔为螺纹孔,第二通孔为锥形孔;所述插销的插销部中,第一通孔部为螺纹部,第二通孔部为锥体部。优选地,所述U型楔块中,锥形孔的顶部开口一端朝向螺纹孔一侧设置;所述插销的插销部中,锥体部的顶面一端朝向螺纹部一侧设置。优选地,每个插销具有两个插销部,所述两个插销部之间的间距等于坩埚盖上相邻的两对第一插孔之间的间距;所述两个插销部中的第一通孔部和第二通孔部沿杆部的排列方向相同。优选地,所述插销中,至少部分杆部的径向尺寸大于所述第一通孔部的径向尺寸、且大于所述第二通孔部的径向尺寸。优选地,所述插销上的插销部与所述坩埚盖一个长边边缘上的第一插孔对一一对应,每相邻的两个插销部之间的间距等于与该两个插销部相对应的两对第一插孔之间的间距。优选地,所述坩埚盖的两个长边边缘上的第一插孔对称设置。一种蒸镀装置,包括上述任一技术方案中所述的线性蒸发源。附图说明图1为现有技术中一种线性蒸发源的结构示意图;图2为本技术实施例提供的一种线性蒸发源沿其长边方向上的剖面结构示意图;图3为图2中的线性蒸发源在装配过程中的剖面结构示意图;图4为图2中的线性蒸发源的俯视结构示意图;图5为图2中的线性蒸发源的在垂直于其长边方向上的剖面结构示意图;图6为本技术实施例提供的一种线性蒸发源中坩埚盖的俯视结构示意图;图7为本技术实施例提供的一种线性蒸发源的坩埚体的俯视结构示意图;图8为本技术实施例提供的一种线性蒸发源的U型楔块的剖面结构示意图;图9为本技术实施例提供的一种线性蒸发源中U型楔块的第一端部的剖面结构示意图;图10为本技术实施例提供的一种线性蒸发源中U型楔块的第二端部的剖面结构示意图;图11为本技术实施例提供的一种线性蒸发源的插销的结构示意图;图12为本技术另一实施例提供的一种线性蒸发源沿其长边方向上的剖面结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参考图2~图12。如图2~图8、图12所示,本技术实施例提供的一种线性蒸发源,该线性蒸发源包括:坩埚盖1,该坩埚盖1呈板状,且该坩埚盖1的两个长边的边缘中,每个边缘上设有至少一对贯穿坩埚盖1的第一插孔11,每对第一插孔11中的两个第一插孔11相邻设置;坩埚体2,该坩埚体2的开口边沿设有两个凸台21,该两个凸台21分别沿坩埚体2开口的两个长边边沿设置,且每个凸台21上设有与坩埚盖1上的第一插孔11一一对应的第二插孔22,该第二插孔22贯穿凸台21;当坩埚盖1盖设于坩埚体2上时,相互对应的第一插孔11和第二插孔22可以一一对齐相通;至少两个U型楔块3,每个U型楔块3包括相对设置的第一端部31和第二端部32、以及位于第一端部31和第二端部32之间的连接部33;其中,连接部33可弹性伸缩;第一端部31设有第一通孔310,第二端部32设有第二通孔320,第一通孔310和第二通孔320的轴心线o重合;至少两个插销4,每个插销4可同时插入U型楔块3的第一通孔310和第二通孔320内;当坩埚盖1盖设于坩埚体2上时,U型楔块3的第一端部31和第二端部32可分别插入坩埚盖1上的一对第一插孔11内,并可分别贯穿坩埚体2凸台21上与该对第一插孔11相对应的两个第二插孔22,以使第一通孔310和第二通孔320暴露于凸台21背离坩埚盖1的一侧;且,当每个插销4在凸台21背离坩埚盖1的一侧插入第一通孔310和第二通孔320内时,U型楔块3的连接部33处于拉伸形变的本文档来自技高网...
一种线性蒸发源和蒸镀装置

【技术保护点】
一种线性蒸发源,其特征在于,包括:坩埚盖,所述坩埚盖呈板状,且所述坩埚盖的两个长边的边缘中,每个边缘上设有至少一对第一插孔;坩埚体,所述坩埚体开口的两个长边边沿上分别设置有凸台,且每个凸台上设有与所述坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通;至少两个U型楔块,每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部、以及位于第一端部和第二端部之间的连接部;其中,所述连接部可弹性伸缩;所述第一端部设有第一通孔,所述第二端部设有第二通孔,所述第一通孔和第二通孔的轴心线重合;至少两个插销,每个插销可插入所述U型楔块的第一通孔和第二通孔内;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,所述U型楔块的第一端部和第二端部可分别贯穿一对第一插孔、以及与该对第一插孔相对应的两个第二插孔,以使所述第一通孔和第二通孔到达所述凸台背离坩埚盖的一侧;且,当每个插销在凸台背离坩埚盖的一侧插入所述第一通孔和第二通孔内时,所述U型楔块的连接部处于拉伸形变的状态。

【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源,其特征在于,包括:坩埚盖,所述坩埚盖呈板状,且所述坩埚盖的两个长边的边缘中,每个边缘上设有至少一对第一插孔;坩埚体,所述坩埚体开口的两个长边边沿上分别设置有凸台,且每个凸台上设有与所述坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通;至少两个U型楔块,每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部、以及位于第一端部和第二端部之间的连接部;其中,所述连接部可弹性伸缩;所述第一端部设有第一通孔,所述第二端部设有第二通孔,所述第一通孔和第二通孔的轴心线重合;至少两个插销,每个插销可插入所述U型楔块的第一通孔和第二通孔内;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,所述U型楔块的第一端部和第二端部可分别贯穿一对第一插孔、以及与该对第一插孔相对应的两个第二插孔,以使所述第一通孔和第二通孔到达所述凸台背离坩埚盖的一侧;且,当每个插销在凸台背离坩埚盖的一侧插入所述第一通孔和第二通孔内时,所述U型楔块的连接部处于拉伸形变的状态。2.根据权利要求1所述的线性蒸发源,其特征在于,每个所述插销具有杆部和沿杆部设置的至少一个插销部,每个插销部包括沿杆部方向依次设置的第一通孔部和第二通孔部;当所述插销插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内时,所述第一通孔部和第二通孔部可分别与所述第一通孔和第二通孔对应插合匹配。3.根据权利要求2所述的线性蒸发源,其特征在于,每个U...

【专利技术属性】
技术研发人员:雷东
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
类型:新型
国别省市:北京,11

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