The utility model relates to a vapor deposition device technology field, discloses a linear evaporation source and deposition apparatus; wherein, the linear evaporation source comprises a plate shaped crucible cover, two long side edges of the crucible cover, each edge is provided with at least one of the first jack; a crucible body, two long side edges of the crucible body the opening are respectively provided with a boss, each boss has a one-to-one correspondence with the crucible cover on the first jack jack second; when the cover is placed on the crucible crucible, corresponding to the first and second jack jack can be aligned one by one connection; type U wedge, each U type wedge includes a first end portion and a second end opposite set and is located in the junction between the first and second ends of the connecting part; elastic extension; first and second ends are respectively provided with a first and second through holes; can be inserted into the U type wedge The first - hole and second - hole pins. The steam source and linear crucible lid encapsulation and decapsulation process is very fast, the efficiency is very high.
【技术实现步骤摘要】
一种线性蒸发源和蒸镀装置
本技术涉及蒸镀
,特别涉及一种线性蒸发源和蒸镀装置。
技术介绍
线性蒸发源是现有OLED膜层蒸镀设备中常用的一种蒸发源,如图1所示,现有技术中的线性蒸发源,一般主要包括坩埚本体20和盖板10两部分、且坩埚本体20和盖板10之间一般采用沿盖板10边缘设置的多根螺丝30进行密封固定;由于每次向坩埚本体20内添加蒸镀材料时,都需要重新装卸螺丝30,而在螺丝30的拆装过程中,很容易出现螺丝30紧固的松紧度不一致的现象,如螺丝30拧的太松会影响线性蒸发源的气密性,螺丝30拧的过紧则容易导致螺丝30拧不出来或者脱扣断裂,因此,上述封装设计的拆装过程很费时、效率很低,进而,大大增加了坩埚加料过程的用时,严重影响了蒸镀设备的产能。
技术实现思路
本技术公开了一种线性蒸发源和蒸镀装置,用于提高线性蒸发源的拆装效率。为达到上述目的,本技术提供以下技术方案:一种线性蒸发源,包括:坩埚盖,所述坩埚盖呈板状,且所述坩埚盖的两个长边的边缘中,每个边缘上设有至少一对第一插孔;坩埚体,所述坩埚体开口的两个长边边沿上分别设置有凸台,且每个凸台上设有与所述坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通;至少两个U型楔块,每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部、以及位于第一端部和第二端部之间的连接部;其中,所述连接部可弹性伸缩;所述第一端部设有第一通孔,所述第二端部设有第二通孔,所述第一通孔和第二通孔的轴心线重合;至少两个插销,每个插销可插入所述U型楔块的第一通孔和第二通孔内;当所述坩埚盖盖设于 ...
【技术保护点】
一种线性蒸发源,其特征在于,包括:坩埚盖,所述坩埚盖呈板状,且所述坩埚盖的两个长边的边缘中,每个边缘上设有至少一对第一插孔;坩埚体,所述坩埚体开口的两个长边边沿上分别设置有凸台,且每个凸台上设有与所述坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通;至少两个U型楔块,每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部、以及位于第一端部和第二端部之间的连接部;其中,所述连接部可弹性伸缩;所述第一端部设有第一通孔,所述第二端部设有第二通孔,所述第一通孔和第二通孔的轴心线重合;至少两个插销,每个插销可插入所述U型楔块的第一通孔和第二通孔内;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,所述U型楔块的第一端部和第二端部可分别贯穿一对第一插孔、以及与该对第一插孔相对应的两个第二插孔,以使所述第一通孔和第二通孔到达所述凸台背离坩埚盖的一侧;且,当每个插销在凸台背离坩埚盖的一侧插入所述第一通孔和第二通孔内时,所述U型楔块的连接部处于拉伸形变的状态。
【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源,其特征在于,包括:坩埚盖,所述坩埚盖呈板状,且所述坩埚盖的两个长边的边缘中,每个边缘上设有至少一对第一插孔;坩埚体,所述坩埚体开口的两个长边边沿上分别设置有凸台,且每个凸台上设有与所述坩埚盖上的第一插孔一一对应的第二插孔;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,相互对应的第一插孔和第二插孔可以一一对齐相通;至少两个U型楔块,每个U型楔块包括相对设置的第一端部和第二端部、以及位于第一端部和第二端部之间的连接部;其中,所述连接部可弹性伸缩;所述第一端部设有第一通孔,所述第二端部设有第二通孔,所述第一通孔和第二通孔的轴心线重合;至少两个插销,每个插销可插入所述U型楔块的第一通孔和第二通孔内;当所述坩埚盖盖设于所述坩埚体上时,所述U型楔块的第一端部和第二端部可分别贯穿一对第一插孔、以及与该对第一插孔相对应的两个第二插孔,以使所述第一通孔和第二通孔到达所述凸台背离坩埚盖的一侧;且,当每个插销在凸台背离坩埚盖的一侧插入所述第一通孔和第二通孔内时,所述U型楔块的连接部处于拉伸形变的状态。2.根据权利要求1所述的线性蒸发源,其特征在于,每个所述插销具有杆部和沿杆部设置的至少一个插销部,每个插销部包括沿杆部方向依次设置的第一通孔部和第二通孔部;当所述插销插入U型楔块的第一通孔和第二通孔内时,所述第一通孔部和第二通孔部可分别与所述第一通孔和第二通孔对应插合匹配。3.根据权利要求2所述的线性蒸发源,其特征在于,每个U...
【专利技术属性】
技术研发人员:雷东,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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