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一种采用激光清理坩埚口的方法及装置制造方法及图纸

技术编号:16714448 阅读:9 留言:0更新日期:2017-12-05 14:23
本发明专利技术涉及一种采用激光清理坩埚口的方法及装置,其中,方法包括以下步骤:包括以下步骤:发射低功率激光生成对应的光斑;移动光斑至坩埚口边缘;生成环形光圈;调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径;提高激光功率,进行加热。本发明专利技术提供一种采用激光清理坩埚口的方法,该方法采用激光对坩埚口边缘的有效部位进行快速加热,可以方便、快捷的清理坩埚口附着的蒸发料,清理周期短,可避免延误工期。

A method and device for cleaning the mouth of the crucible with a laser

The invention relates to a method and device, cleaning up the mouth of the crucible by laser wherein the method comprises the following steps: includes the following steps: emitting a low power laser to generate the corresponding spot; mobile spot to the crucible edge; generating annular aperture adjustment ring; the size of the aperture, the inner circle of the annular aperture diameter is equal to or less than the mouth of pot edge diameter, outer diameter greater than the diameter of the edge of the mouth of the crucible; the increase of the laser power, heating. The invention provides a laser cleaning method for the crucible mouth. The method uses laser to rapidly heat the effective part of the edge of the crucible mouth, and can conveniently and quickly clean the evaporating material attached to the crucible mouth, and the cleaning period is short, so that the delay time can be avoided.

【技术实现步骤摘要】
一种采用激光清理坩埚口的方法及装置
本专利技术涉及坩埚清理
,更具体地说,涉及一种采用激光清理坩埚口的方法及装置。
技术介绍
在使用坩埚的蒸发镀膜工艺中,由于坩埚口离加热丝较远,在坩埚口处的温度往往低于坩埚内部,使得在加热蒸发过程中,蒸发料容易在坩埚口处凝结甚至堵塞坩埚口,出现这种情况时,为保证材料蒸镀速率可控,必须终止工艺。在清理坩埚口附着蒸发料时,现有的技术一般可分为以下两种:1、使用分段加热丝对坩埚上半部分进行升温处理,使结料融化,落入坩埚,但该方式一是清理慢且效果不明显,二是由于加热丝热量也会通过坩埚壁传到蒸发料中,使得材料蒸发速率迅速增加,加快凝结,堵死坩埚口,甚至造成材料喷射和变性;2、打开腔室清理坩埚口,该方式需抽真空、保温,清理周期较长,容易耽误工期。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述现有技术中清理慢且效果不明显、清理周期长的缺陷,提供一种采用激光清理坩埚口的方法,该方法采用激光对坩埚口边缘的有效部位进行快速加热,可以方便、快捷的清理坩埚口附着的蒸发料,清理周期短,可避免延误工期。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种采用激光清理坩埚口的方法,包括以下步骤:发射低功率激光并生成对应的光斑;移动光斑至坩埚口边缘;生成环形光圈;调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径;提高激光功率,进行加热。作为本专利技术的一个优选方案,所述步骤“发射低功率激光并生成对应的光斑”具体为:发射激光功率低于50W的激光并生成对应的光斑。作为本专利技术的一个优选方案,所述步骤“生成环形光圈”具体为:通过光斑转动生成环形光圈。作为本专利技术的一个优选方案,所述步骤“调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径”具体为:调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径小于等于坩埚口边缘直径,外圆直径比坩埚口边缘直径大于等于0.1-50mm。作为本专利技术的一个优选方案,所述步骤“提高激光功率,进行加热”之后还包括:判断清理效果是否达到预设的要求;若是,则停止加热;若否,则继续提高激光功率,直至清理效果达到预设的要求。同时,本专利技术实施例还提供了一种采用激光清理坩埚口的装置,包括:激光件,用于发射激光;全反射棱镜组件,用于所述激光件发射的激光的射入,且生成环形光圈;移动件,固定所述激光件,且与所述全反射棱镜组件连接,用于移动所述激光件、所述全反射棱镜组件;升降机构,一端与所述移动件连接,一端与所述全反射棱镜组件连接,用于上下移动所述全反射棱镜组件。作为本专利技术的一个优选方案,所述全反射棱镜组件设于所述激光件的下端,其包括壳体、全反射棱镜、与全反射棱镜连接的用于驱动所述全反射棱镜转动的旋转件,所述壳体与所述移动件连接,所述旋转件固定在所述壳体上,所述全反射棱镜包括用于所述激光件发射的激光射入的第一侧面、用于全反射射入的激光的第二侧面、用于经过全反射后的激光射出的第三侧面。作为本专利技术的一个优选方案,所述旋转件、所述全反射棱镜上分别设有相互啮合的第一齿轮、第二齿轮。作为本专利技术的一个有选方案,所述全反射棱镜上设有轴承,所述壳体内壁设有与所述轴承相配合的轴承固定夹。作为本专利技术的一个优选方案,所述移动件为机械手。实施本专利技术实施例提供的采用激光清理坩埚口的方法,具有以下有益效果:该方法采用激光对坩埚口边缘的有效部位进行快速加热,可以方便、快捷的清理坩埚口附着的蒸发料,清理周期短,可避免延误工期。附图说明下面将结合附图及实施例对本专利技术作进一步说明,附图中:图1是本专利技术实施例1中采用激光清理坩埚口的方法的流程示意图;图2是本专利技术实施例1中采用激光清理坩埚口的方法的流程示意图;图3是本专利技术实施例2中采用激光清理坩埚口的装置的结构示意图;图4是本专利技术实施例2中采用激光清理坩埚口的装置的结构示意图。具体实施方式实施例1如图1所示,本实施例提供一种采用激光清理坩埚口的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:发射低功率激光并生成对应的光斑;具体的,步骤S1中,由于环形光圈需要与坩埚口定位后再加热,故发射低功率激光一是可以节约能源、成本,二是可以起到保证安全的作用,避免环形光圈在与坩埚口定位的过程中,出现激光加热、灼伤其它部件或者其它区域的情况,或者是灼烧到操作人员的情况。S2:移动光斑至坩埚口边缘;上述,具体的,蒸发料在附着时,往往都是在坩埚口上附着有蒸发料,而后的蒸发料大都是附着在早先的蒸发料上,进而当早先的蒸发料从坩埚口上脱落时,而后的蒸发料也会脱落;故在本实施例中,只需要对坩埚口有效区域进行加热,使得附着在坩埚口上的蒸发料升华、脱落,即可使得大部分的蒸发料脱落;而即使得光斑位于坩埚口边缘处,进而下后续步骤中,只需使得光斑转动,即可得到与坩埚口边缘处基本吻合的环形光圈,而后对环形光圈调整,即可较大程度的实现利用到发射的激光,减少资源浪费。S3:生成环形光圈;S4:调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径;具体的,环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径,能较大程度的使得环形光圈的覆盖区域与附着在坩埚口的蒸发料区域吻合,加热效率高。S5:提高激光功率,进行加热。具体的,此时环形光圈与坩埚口的定位已经完成,提高激光功率,进行加热,坩埚口加热后,附着在上面的蒸发料会升华或者脱落,进而达到清理的目的。优选的,步骤S1具体为:发射激光功率低于50W的激光并生成对应的光斑。上述,具体的,经过试验验证,发射低功率激光并生成光斑,此时该激光功率低于50W即可。优选的,步骤S3具体为:通过光斑旋转生成环形光圈。上述,具体的,光斑形成后,通过转动光斑即可生成环形光圈。优选的,步骤S4具体为:调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径小于等于坩埚口边缘直径,外圆直径比坩埚口边缘直径大于等于0.1-50mm。上述,具体的,由于不同的坩埚口附着的蒸发料的大小不一样,进而在进行步骤S4时,即调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径时,可以对环形光圈的大小进行调整,以适用于不同情况,当然根据实验数据,更具体的,可以使得环形光圈的内圆直径小于等于坩埚口边缘直径,外圆直径比坩埚口边缘直径大于等于0.1-50mm,此时加热效果、清理效果更佳。优选的,如图2所示,在步骤S5之后还包括:S6:判断清理效果是否达到预设的要求;若是,则停止加热;若否,则继续提高激光功率,直至清理效果达到预设的要求。上述,具体的,在进行S5步骤后,有时可能会出现清理的效果未达到操作人员预期的效果,即清理效果未达到预设的要求,此时可能是由于激光功率不够造成,故在步骤S5之后,可检查判断清理效果是否达到预设的要求可根据实际情况由操作人员而定,当达到后,即可停止加热,关闭激光发射,完成清理操作如通过机械手将相关部件移动至闲置位置;当未达到时,即可继续提高激光功率,直至清理效果达到预设的要求。实施本实施例提供的采用激光清理坩埚口的方法,具有以下有益效果:该方法采用激光对坩埚口边缘的有效部位进行快速加热,可以方便、快捷的清理坩埚口附着的蒸发料,清理周期本文档来自技高网...
一种采用激光清理坩埚口的方法及装置

【技术保护点】
一种采用激光清理坩埚口的方法,其特征在于,包括以下步骤:发射低功率激光并生成对应的光斑;移动光斑至坩埚口边缘;生成环形光圈;调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径;提高激光功率,进行加热。

【技术特征摘要】
1.一种采用激光清理坩埚口的方法,其特征在于,包括以下步骤:发射低功率激光并生成对应的光斑;移动光斑至坩埚口边缘;生成环形光圈;调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径;提高激光功率,进行加热。2.如权利要求1所述的采用激光清理坩埚口的方法,其特征在于,所述步骤“发射低功率激光并生成对应的光斑”具体为:发射激光功率低于50W的激光并生成对应的光斑。3.如权利要求1所述的采用激光清理坩埚口的方法,其特征在于,所述步骤“生成环形光圈”具体为:通过光斑转动生成环形光圈。4.如权利要求1所述的采用激光清理坩埚口的方法,其特征在于,所述步骤“调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径,外圆直径大于坩埚口边缘直径”具体为:调整环形光圈的大小,使得环形光圈的内圆直径小于等于坩埚口边缘直径,外圆直径比坩埚口边缘直径大于等于0.1-50mm。5.如权利要求1所述的采用激光清理坩埚口的方法,其特征在于,所述步骤“提高激光功率,进行加热”之后还包括:判断清理效果是否达到预设的要求;若是,则停止加热;若否,则继续提高激光功率,直至清理效果达到预设的要求。6.一种采用激光清理坩埚口的装置,其特征在于,包括:激光件(1),用于发射激光;全反射棱镜组件(2),用于所述激光件(1)发射的激光的射入,且...

【专利技术属性】
技术研发人员:茆胜
申请(专利权)人:茆胜
类型:发明
国别省市:广东,44

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