一种蒸镀材料开关组件以及真空蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，公开了一种蒸镀材料开关组件以及真空蒸镀设备，该蒸镀材料开关组件包括蒸镀材料入口本体和防护罩，其中：蒸镀材料入口本体的一侧具有第一腔体，第一腔体上设置有进料口；防护罩置于第一腔体的内部、且与蒸镀材料入口本体之间可拆卸连接，防护罩的顶壁与第一腔体的顶壁紧密结合，且防护罩的顶壁具有与进料口连通的输送孔。当需要对蒸镀材料开关组件进行清洗时只需要把防护罩拆卸下来进行清洗即可，而并不用拆卸蒸镀材料入口本体，即不用拆卸整个蒸镀材料开关组件，上述蒸镀材料开关组件不仅大大节省了设备维护时间和工作人员的劳动量，而且提高了工程师的工作效率。

A kind of steamed material switch module and vacuum evaporation equipment

The utility model relates to the field of semiconductor technology, discloses a deposition material switch assembly and vacuum evaporation equipment, the deposition material deposition material entrance switch assembly includes a main body and a protective cover, wherein the side plating material: steam entrance body has a first cavity and the first cavity body is provided with a feed port between the door; the first cover is arranged in the cavity, and evaporation materials entrance body removably connected closely with the top wall and the top wall of the protective cover of the first cavity, and the top wall of the protective cover is connected with the material inlet conveying hole. When the plating material switch assembly cleaning only need to cover removed and cleaned, and without removing the deposition material entrance ontology, without removing the whole evaporation materials of switch components, the vapor deposition material switch assembly not only greatly saves labor time and equipment maintenance staff, and improve the the engineer's work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀材料开关组件以及真空蒸镀设备
本技术涉及半导体
，特别涉及一种蒸镀材料开关组件以及真空蒸镀设备。
技术介绍
在半导体行业中，有机发光二极管面板在蒸镀腔室内的蒸镀材料入口需要定期更换，但由于实验线第一腔体的体积较小，工作人员很难进入，从而工作人员在有限的空间内进行入口地拆卸工作就更加困难，这不但加大了设备的维护时间，而且极大地消耗了人的体力。最重要的是，工作人员在拆卸蒸镀材料入口时不可避免的会导致入口上材料的掉落，近而污染蒸发源。
技术实现思路
本技术提供了一种蒸镀材料开关组件以及真空蒸镀设备，该蒸镀材料开关组件中，免去了拆卸蒸镀材料入口的时间，有利于简化操作流程、缩短工作人员的工作时间以及提升工作效率。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案：一种蒸镀材料开关组件，包括，蒸镀材料入口本体和防护罩，其中：所述蒸镀材料入口本体的一侧具有第一腔体，所述第一腔体上设置有进料口；所述防护罩置于所述第一腔体的内部、且与所述蒸镀材料入口本体之间可拆卸连接，所述防护罩的顶壁与所述第一腔体的顶壁紧密结合，且所述防护罩的顶壁具有与所述进料口连通的输送孔。上述蒸镀材料开关组件中，蒸镀材料入口本体的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀材料开关组件，其特征在于，包括，蒸镀材料入口本体和防护罩，其中：所述蒸镀材料入口本体的一侧具有第一腔体，所述第一腔体上设置有进料口；所述防护罩置于所述第一腔体的内部、且与所述蒸镀材料入口本体之间可拆卸连接，所述防护罩的顶壁与所述第一腔体的顶壁紧密结合，且所述防护罩的顶壁具有与所述进料口连通的输送孔。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀材料开关组件，其特征在于，包括，蒸镀材料入口本体和防护罩，其中：所述蒸镀材料入口本体的一侧具有第一腔体，所述第一腔体上设置有进料口；所述防护罩置于所述第一腔体的内部、且与所述蒸镀材料入口本体之间可拆卸连接，所述防护罩的顶壁与所述第一腔体的顶壁紧密结合，且所述防护罩的顶壁具有与所述进料口连通的输送孔。2.根据权利要求1所述的蒸镀材料开关组件，其特征在于，所述防护罩与所述蒸镀材料入口本体间为磁性连接。3.根据权利要求2所述的蒸镀材料开关组件，其特征在于，所述防护罩与所述蒸镀材料入口本体间设置有配合使用、用于确保所述防护罩与所述蒸镀材料入口本体之间相对位置的定位组件。4.根据权利要求3所述的蒸镀材料开关组件，其特征在于，所述定位组件包括设置于所述蒸镀材料入口本体上的对位孔和设置于所述防护罩顶壁的对位销；和/或，所述定位组件包括设置于所述第一腔体顶壁的对位销和设置于所述防护罩上的对位...

【专利技术属性】
技术研发人员：付文悦，陈立强，王小虎，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11