一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置，外坩埚包括外埚体和盖设在外埚体上的外埚盖，外埚体内设隔热板，隔热板中部开设有供搅拌轴穿入的通孔，搅拌轴与电机驱动连接，电机安装在外埚体内，并位于隔热板下方，搅拌轴外周套装有搅拌叶片；外埚体内填设有保温材料，保温材料位于隔热板上方，外埚盖中部贯穿地开设有圆孔；内坩埚包括内埚体和盖设在内埚体上的内埚盖，内埚盖上贯穿地开设有多个喷射孔，内埚体通过外埚盖的圆孔套装在外埚盖内，内埚体与外埚体之间设有辅助加热管，内埚体内卡装有导热管，导热管两端依次穿出内埚体和外埚体，并与高温流体供应部连通。本实用新型专利技术公开的全彩OLED微显示器件蒸镀装置，热量损失小，加热效率高。

A full color OLED micro display device steaming device

The utility model discloses a full color OLED microdisplay evaporation device, the outer crucible comprises an outer crucible body and the lid is arranged in an outer crucible crucible body outer cover on the outer pot body is provided with insulation board, insulation board is arranged in the middle hole for the stirring shaft penetrates, the stirring shaft and the motor drive motor is installed on the connection the outer crucible body, and is located in the heat insulation plate and the stirring shaft is sheathed on the periphery of the stirring blade; the outer pot body is stuffed with insulation materials, insulation materials, insulation board located above the outer crucible cover are provided with central through hole; the crucible comprises an inner crucible body and cover the inner crucible crucible body cover on the inner crucible through cover is provided with a plurality of injection holes in the crucible body through the outer crucible cover hole is sheathed in the outer Gene, auxiliary heating pipe is arranged between the inner pot body and the outer crucible body, inner crucible body is clamped with a heat pipe, heat pipe ends inside the body and out of the crucible The outer crucible body, and connected with the high temperature fluid supply. The full color OLED micro display device is disclosed by the utility model, and the heat loss is small and the heating efficiency is high.

【技术实现步骤摘要】
一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置
本技术涉及OLED显示屏制造领域，尤其涉及一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置。
技术介绍
蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。在全彩OLED(有机发光二极管)微显示器件制造过程中，需要通过坩埚向基板0上逐层蒸镀有机或无机材料。现行的蒸镀装置热量利用率低，加热效率低下，过程中造成了大量的热量浪费。上述问题亟待解决。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，提供一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置。本技术通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置，包括真空箱，所述真空箱内设蒸镀组件，所述蒸镀组件包括外坩埚、内坩埚、导热管、高温流体供应部；所述外坩埚包括外埚体和盖设在外埚体上的外埚盖，所述外埚体内设隔热板，所述隔热板中部开设有供搅拌轴穿入的通孔，所述搅拌轴与电机驱动连接，所述电机安装在外埚体内，并位于所述隔热板下方，所述搅拌轴外周套装有搅拌叶片；所述外埚体内填设有保温材料，所述保温材料位于隔热板上方，所述外埚盖中部贯穿地开设有圆孔；所述内坩埚包括内埚体和盖设在内埚体上的内埚盖，所述内埚盖上贯穿地开设有多个喷射孔，所述内埚体通过外埚盖的圆孔套装在外埚盖内，并位于所述搅拌叶片外侧，所述内埚体与外埚体之间具有间隙，所述间隙内设有辅助加热管，所述内埚体内壁设有卡槽，所述卡槽呈螺旋盘状，所述导热管卡装在所述卡槽内，其两端依次穿出内埚体和外埚体，并与高温流体供应部连通，所述高温流体供应部内盛装有高温流体。进一步地，所述外埚盖的圆孔内周设有橡胶垫，所述外埚盖与橡胶垫之间通过胶合方式连接，所述内埚体通过橡胶垫卡装在外埚盖上。进一步地，所述喷射孔具有圆形截面，所述喷射孔绕内埚盖中心呈环形辐射。进一步地，所述外埚体、内埚体和搅拌轴同轴设置。进一步地，所述内埚体两端开口，所述内埚体一端卡装在隔热板上。进一步地，所述隔热板上开设有圆环形槽，所述内埚体底部通过圆环槽卡装在隔热板上。进一步地，所述辅助加热管为螺旋盘状的电加热管，所述辅助加热管套装在内埚体外侧。本技术与现有技术相比较，本技术的实施效果如下：在真空条件下，高温流体供应部通过管道向导热管内供应高温流体，高温流体在导热管与高温流体供应部之间循环，并在循环过程中向内埚体内放热，以使内埚体内的有机或无机材料受热挥发，挥发物通过喷射孔向坩埚上方的基板上沉积。由于导热管设置在内埚体内，加热效率更高，有助于提高蒸镀效率。辅助加热管能够对内埚体内的有机或无机材料进行辅助加热，与导热管相配合，进一步提高了加热效率。内埚体套装在外埚体内，辅助加热管以及导热管产生的热量被维持在内埚体以及内埚体与外埚体之间的间隙内，热量损失小，加热效率高。保温材料能够防止热量向外埚体外侧辐射，减少了热量损失，有助于节能和提高加热效率。蒸镀过程中，电机驱动搅拌轴转动，搅拌轴在转动过程中通过搅拌叶片搅动有机或无机材料，使得有机或无机材料能够充分暴露在内埚体内，从而提高了加热效率。附图说明图1是本技术提出的一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置的结构示意图。图2是图1中内埚盖的结构示意图。图3是图1中隔热板所在部分的结构示意图。具体实施方式下面将结合具体的实施例来说明本技术的内容。如图1～3所示，本技术提出的一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置，包括真空箱14，所述真空箱14内设蒸镀组件，所述蒸镀组件包括外坩埚、内坩埚、导热管11、高温流体供应部12；所述外坩埚包括外埚体1和盖设在外埚体1上的外埚盖2，所述外埚体1内设隔热板3，所述隔热板3中部开设有供搅拌轴4穿入的通孔，所述搅拌轴4与电机5驱动连接，所述电机5安装在外埚体1内，并位于所述隔热板3下方，所述搅拌轴4外周套装有搅拌叶片6；所述外埚体1内填设有保温材料7，所述保温材料7位于隔热3板上方，所述外埚盖2中部贯穿地开设有圆孔；所述内坩埚包括内埚体8和盖设在内埚体8上的内埚盖9，所述内埚盖9上贯穿地开设有多个喷射孔91，所述内埚体8通过外埚盖2的圆孔套装在外埚盖2内，并位于所述搅拌叶片6外侧，所述内埚体8与外埚体1之间具有间隙，所述间隙内设有辅助加热管10，所述内埚体8内壁设有卡槽，所述卡槽呈螺旋盘状，所述导热管11卡装在所述卡槽内，其两端依次穿出内埚体8和外埚体1，并与高温流体供应部12连通，所述高温流体供应部12内盛装有高温流体。上述方案中，在真空条件下，高温流体供应部12通过管道向导热管11内供应高温流体，高温流体在导热管11与高温流体供应部12之间循环，并在循环过程中向内埚体8内放热，以使内埚体8内的有机或无机材料受热挥发，挥发物通过喷射孔91向坩埚上方的基板0上沉积。由于导热管22设置在内埚体8内，加热效率更高，有助于提高蒸镀效率。辅助加热管10能够对内埚体8内的有机或无机材料进行辅助加热，与导热管11相配合，进一步提高了加热效率。内埚体8套装在外埚体1内，辅助加热管10以及导热管11产生的热量被维持在内埚体8以及内埚体8与外埚体1之间的间隙内，热量损失小，加热效率高。保温材料7能够防止热量向外埚体1外侧辐射，减少了热量损失，有助于节能和提高加热效率。蒸镀过程中，电机5驱动搅拌轴4转动，搅拌轴4在转动过程中通过搅拌叶片6搅动有机或无机材料，使得有机或无机材料能够充分暴露在内埚体8内，从而提高了加热效率。在有的实施例中，所述外埚盖2的圆孔内周设有橡胶垫，所述外埚盖2与橡胶垫之间通过胶合方式连接，所述内埚体8通过橡胶垫卡装在外埚盖2上，内埚体8与外埚盖2之间的连接更加地牢靠。所述喷射孔91具有圆形截面，所述喷射孔91绕内埚盖9中心呈环形辐射，此设计有助于使对坩埚上方的基板0蒸镀更为均匀。所述外埚体1、内埚体8和搅拌轴4同轴设置，设计更加合理，搅拌以及对内埚体8内的有机或无机材料加热更加地均匀。所述内埚体8两端开口，所述内埚体8一端卡装在隔热板3上。进一步地，所述隔热板3上开设有圆环形槽，所述内埚体8底部通过圆环槽卡装在隔热板3上，此设计有助于节省内埚体8的生产制造成本，并使内埚体8牢固地卡在隔热板3上。所述辅助加热管10为螺旋盘状的电加热管，所述辅助加热管10套装在内埚体8外侧，有助于提高加热效率。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置，包括真空箱，所述真空箱内设蒸镀组件，其特征在于，所述蒸镀组件包括外坩埚、内坩埚、导热管、高温流体供应部；所述外坩埚包括外埚体和盖设在外埚体上的外埚盖，所述外埚体内设隔热板，所述隔热板中部开设有供搅拌轴穿入的通孔，所述搅拌轴与电机驱动连接，所述电机安装在外埚体内，并位于所述隔热板下方，所述搅拌轴外周套装有搅拌叶片；所述外埚体内填设有保温材料，所述保温材料位于隔热板上方，所述外埚盖中部贯穿地开设有圆孔；所述内坩埚包括内埚体和盖设在内埚体上的内埚盖，所述内埚盖上贯穿地开设有多个喷射孔，所述内埚体通过外埚盖的圆孔套装在外埚盖内，并位于所述搅拌叶片外侧，所述内埚体与外埚体之间具有间隙，所述间隙内设有辅助加热管，所述内埚体内壁设有卡槽，所述卡槽呈螺旋盘状，所述导热管卡装在所述卡槽内，其两端依次穿出内埚体和外埚体，并与高温流体供应部连通，所述高温流体供应部内盛装有高温流体。

【技术特征摘要】
1.一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置，包括真空箱，所述真空箱内设蒸镀组件，其特征在于，所述蒸镀组件包括外坩埚、内坩埚、导热管、高温流体供应部；所述外坩埚包括外埚体和盖设在外埚体上的外埚盖，所述外埚体内设隔热板，所述隔热板中部开设有供搅拌轴穿入的通孔，所述搅拌轴与电机驱动连接，所述电机安装在外埚体内，并位于所述隔热板下方，所述搅拌轴外周套装有搅拌叶片；所述外埚体内填设有保温材料，所述保温材料位于隔热板上方，所述外埚盖中部贯穿地开设有圆孔；所述内坩埚包括内埚体和盖设在内埚体上的内埚盖，所述内埚盖上贯穿地开设有多个喷射孔，所述内埚体通过外埚盖的圆孔套装在外埚盖内，并位于所述搅拌叶片外侧，所述内埚体与外埚体之间具有间隙，所述间隙内设有辅助加热管，所述内埚体内壁设有卡槽，所述卡槽呈螺旋盘状，所述导热管卡装在所述卡槽内，其两端依次穿出内埚体和外埚体，并与高温流体供应部连通，所述高温流体供应部内盛装有高...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐平，侯丽华，
申请(专利权)人：长春理工大学光电信息学院，
类型：新型
国别省市：吉林,22