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一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置制造方法及图纸
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下载一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置的技术资料
文档序号:16661630
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本实用新型公开了一种全彩OLED微显示器件蒸镀装置,外坩埚包括外埚体和盖设在外埚体上的外埚盖,外埚体内设隔热板,隔热板中部开设有供搅拌轴穿入的通孔,搅拌轴与电机驱动连接,电机安装在外埚体内,并位于隔热板下方,搅拌轴外周套装有搅拌叶片;外埚体...
该专利属于长春理工大学光电信息学院所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学光电信息学院授权不得商用。
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