一种持续均匀进料的真空蒸镀源制造技术

本实用新型专利技术涉及了一种持续均匀进料的真空蒸镀源。一种持续均匀进料的真空蒸镀源，它包括蒸镀源本体；蒸镀源本体左侧固定加压气泵，右侧固定进料仓，底部设有源料加热圆板；源料加热圆板上分布有多个盛料碗，下设有环形加热管；源料加热圆板上设有铺料杆；蒸镀源本体的顶部设喷嘴；进料仓下连接有进料装置；进料装置包括管腔；管腔的左端插至蒸镀源本体的内部、中间设有从加料仓进料的进料口；管腔中设有送料杆；送料杆的左端设为螺杆旋转送料部、右端设为直杆推料部。本实用新型专利技术的一种持续均匀进料的真空蒸镀源，可持续均匀的进料，保证了气密性，防止空气进入管腔，最大限度利用加热管产生的热能，减少了能耗损失，降低成本。

A vacuum evaporation source with continuous uniform feeding

The utility model relates to a vacuum evaporation source for continuous uniform feeding. A continuous uniform feeding vacuum evaporation source, it includes the evaporation source body; evaporation source of pressurized pump body is fixed on the left side, right side fixed into the hopper, at the bottom of a source material heating plate; material distribution of heated circular plate is provided with a plurality of material holding bowl, a ring-shaped heating tube; heat source material a circular plate paving rod; the top plating source ontology with steam nozzle; into the hopper is connected below the feeding device; the feeding device comprises a lumen; the lumen of the left inserted to the evaporation source of the body, the middle is provided with a feed feed from the feed bin; the lumen is provided with a feeding rod; feeding the left bar set screw rotation feeding part, the right end is provided with a straight bar for pushing the ministry. A continuous uniform feed vacuum evaporation source of the utility model has continuous and uniform feed, ensures air tightness, prevents air from entering the cavity, maximizes the heat energy generated by the heating pipe, reduces energy consumption loss and reduces the cost.

【技术实现步骤摘要】
一种持续均匀进料的真空蒸镀源
本技术涉及真空蒸镀领域，特别是涉及一种持续均匀进料的真空蒸镀源。
技术介绍
现有的真空蒸镀源，不能持续进料，在长时间不间断的进行真空蒸镀时，容易发生源料不足的情况，只能停止后，再添加后，才能继续蒸镀，给生产带来一定不便。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供了一种持续均匀进料的真空蒸镀源，可连续均匀的进料，并可最大限度利用热能对源料进行加热，减少了能耗损失，降低成本。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种持续均匀进料的真空蒸镀源，它包括蒸镀源本体；所述蒸镀源本体的左侧固定有与蒸镀源本体气路连接的加压气泵，右侧固定有进料仓；所述进料仓下连接有进料装置；所述蒸镀源本体的底部设置有源料加热圆板；所述源料加热圆板上呈圆形一圈一圈向外扩散式分布有多个盛料碗；相邻的两圈盛料碗之间设置有环形加热管；所述源料加热圆板上方还设置有铺料杆；所述铺料杆的中间与设置在蒸镀源本体下方的伺服电机连接；所述蒸镀源本体的顶部呈圆锥形并在尖端处设置喷嘴；所述进料装置包括管腔；管腔的左端插至蒸镀源本体的内部、中间设置有从加料仓进料的进料口；所述管腔中设置有送料杆；所述送料杆的左端设置为螺杆旋转送料部、右端设置为直杆推料部。所述进料仓的顶部设置有密封盖。所述送料杆的直杆推料部从螺杆旋转送料部的右端与进料口右边缘平齐右移至螺杆旋转送料部的左端与进料口左边缘平齐，进料仓的源料进入管腔并填满螺杆旋转送料部与管腔的空隙；送料杆的直杆推料部从螺杆旋转送料部的左端与进料口左边缘平齐左移至螺杆旋转送料部的左端与管腔左端口平齐时，直杆推料部旋转带动螺杆旋转送料部旋转，将填满在螺杆旋转送料部与管腔的空隙的源料旋出至源料加热圆板上，此时直杆推料部的左端位于进料口左边缘的左侧。所述铺料杆为直杆或S型弯杆。本技术的有益效果：本技术的一种持续均匀进料的真空蒸镀源，采用的进料装置可在蒸镀源加压的情况下，依然可持续均匀的进料，保证了气密性，防止空气进入管腔，而且采用了多个盛料碗排列的源料加热圆板，并设置环形的加热管，由于填入盛料碗的量均一且定量，可最大限度利用加热管产生的热能，减少了能耗损失，降低成本。附图说明图1为实施例的一种持续均匀进料的真空蒸镀源的示意图；图2为实施例的一种持续均匀进料的真空蒸镀源的源料加热圆板部分的示意图。具体实施方式为了加深对本技术的理解，下面将结合附图和实施例对本技术做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本技术，并不对本技术的保护范围构成限定。实施例如图1和图2所示，本实施例提供了一种持续均匀进料的真空蒸镀源，它包括蒸镀源本体1；所述蒸镀源本体1的左侧固定有与蒸镀源本体1气路连接的加压气泵2，右侧固定有进料仓3；所述进料仓3下连接有进料装置4；所述蒸镀源本体1的底部设置有源料加热圆板5；所述源料加热圆板5上呈圆形一圈一圈向外扩散式分布有多个盛料碗7；相邻的两圈盛料碗7之间设置有环形加热管6；所述源料加热圆板5上方还设置有铺料杆9；所述铺料杆9的中间与设置在蒸镀源本体1下方的伺服电机连接；所述蒸镀源本体1的顶部呈圆锥形并在尖端处设置喷嘴10；所述进料装置4包括管腔；管腔的左端插至蒸镀源本体1的内部、中间设置有从加料仓进料的进料口；所述管腔中设置有送料杆；所述送料杆的左端设置为螺杆旋转送料部11、右端设置为直杆推料部12；所述进料仓3的顶部设置有密封盖13；所述送料杆的直杆推料部12从螺杆旋转送料部11的右端与进料口右边缘平齐右移至螺杆旋转送料部11的左端与进料口左边缘平齐，进料仓的源料进入管腔并填满螺杆旋转送料部11与管腔的空隙；送料杆的直杆推料部12从螺杆旋转送料部11的左端与进料口左边缘平齐左移至螺杆旋转送料部11的左端与管腔左端口平齐时，直杆推料部12旋转带动螺杆旋转送料部11旋转，将填满在螺杆旋转送料部11与管腔的空隙的源料旋出至源料加热圆板5上，此时直杆推料部12的左端位于进料口左边缘的左侧；所述铺料杆9为直杆或S型弯杆。本实施例的一种持续均匀进料的真空蒸镀源，采用的进料装置可在蒸镀源加压的情况下，依然可持续均匀的进料，保证了气密性，防止空气进入管腔，而且采用了多个盛料碗排列的源料加热圆板，并设置环形的加热管，由于填入盛料碗的量均一且定量，可最大限度利用加热管产生的热能，减少了能耗损失，降低成本。上述实施例不应以任何方式限制本技术，凡采用等同替换或等效转换的方式获得的技术方案均落在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种持续均匀进料的真空蒸镀源，其特征在于：它包括蒸镀源本体；所述蒸镀源本体的左侧固定有与蒸镀源本体气路连接的加压气泵，右侧固定有进料仓；所述进料仓下连接有进料装置；所述蒸镀源本体的底部设置有源料加热圆板；所述源料加热圆板上呈圆形一圈一圈向外扩散式分布有多个盛料碗；相邻的两圈盛料碗之间设置有环形加热管；所述源料加热圆板上方还设置有铺料杆；所述铺料杆的中间与设置在蒸镀源本体下方的伺服电机连接；所述蒸镀源本体的顶部呈圆锥形并在尖端处设置喷嘴；所述进料装置包括管腔；管腔的左端插至蒸镀源本体的内部、中间设置有从加料仓进料的进料口；所述管腔中设置有送料杆；所述送料杆的左端设置为螺杆旋转送料部、右端设置为直杆推料部。

【技术特征摘要】
1.一种持续均匀进料的真空蒸镀源，其特征在于：它包括蒸镀源本体；所述蒸镀源本体的左侧固定有与蒸镀源本体气路连接的加压气泵，右侧固定有进料仓；所述进料仓下连接有进料装置；所述蒸镀源本体的底部设置有源料加热圆板；所述源料加热圆板上呈圆形一圈一圈向外扩散式分布有多个盛料碗；相邻的两圈盛料碗之间设置有环形加热管；所述源料加热圆板上方还设置有铺料杆；所述铺料杆的中间与设置在蒸镀源本体下方的伺服电机连接；所述蒸镀源本体的顶部呈圆锥形并在尖端处设置喷嘴；所述进料装置包括管腔；管腔的左端插至蒸镀源本体的内部、中间设置有从加料仓进料的进料口；所述管腔中设置有送料杆；所述送料杆的左端设置为螺杆旋转送料部、右端设置为直杆推料部。2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭标辉，
申请(专利权)人：苏州博亚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32