一种复合镀膜装置制造方法及图纸
Composite coating device
The invention belongs to the technical field of coating, provides a composite coating device, coating device including: Taiwan, Taiwan coating device side end is provided with a fixed plate, the device provided with an evaporation mechanism, sputtering mechanism and chemical coating mechanism, evaporation mechanism is located in the middle of the device, sputtering mechanism in evaporation mechanism the upper left, chemical coating mechanism is positioned in the evaporation mechanism at the lower left. Compared with the prior art, the invention has the advantages that the device provided with an evaporation mechanism, sputtering mechanism and chemical coating mechanism of these three kinds of coating mechanism, workpiece in the coating can be coated in different ways according to the workpiece material, composite coating device simplifies the coating process, provides a variety of coating methods, improve the film stability.
【技术实现步骤摘要】
一种复合镀膜装置
本专利技术属于镀膜
，具体涉及一种复合镀膜装置。
技术介绍
汽车零配件ACC功能主要是实现雷达穿透及保护功能，制造加工工艺比较复杂，镀膜是其中一项很关键的环节，镀膜工艺的偏差或不稳定性都可能影响雷达穿透功能。对应以上问题，现在传统镀膜工艺特别复杂，且镀膜的稳定性差，这就很可能会影响到雷达穿透以及保护的效果，所以需要开发一种工艺简单，稳定性高的镀膜装置。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术的现状，而提供一种复合镀膜装置。本专利技术解决上述技术问题所采用的技术方案为：提出一种复合镀膜装置，包括镀膜装置台，所述镀膜装置台的侧端设有固定板，镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构以及化学镀膜机构，所述蒸发镀膜机构位于镀膜装置台中间，所述溅射镀膜机构位于蒸发镀膜机构左上方，所述化学镀膜机构位于蒸发镀膜机构左下方。在上述的一种复合镀膜机构中，所述蒸发镀膜机构具有第一真空罩体，所述真空第一罩体下端开设有第一真空系统，所述第一真空罩体内下端固设有支撑架，所述支撑架上架设有坩埚，所述第一真空罩体内上端设有第一连接杆，所述第一连接杆下端设有...
【技术保护点】
一种复合镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜装置台，所述镀膜装置台的侧端设有固定板，镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构以及化学镀膜机构，所述蒸发镀膜机构位于镀膜装置台中间，所述溅射镀膜机构位于蒸发镀膜机构左上方，所述化学镀膜机构位于蒸发镀膜机构左下方。
【技术特征摘要】
1.一种复合镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜装置台，所述镀膜装置台的侧端设有固定板，镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构以及化学镀膜机构，所述蒸发镀膜机构位于镀膜装置台中间，所述溅射镀膜机构位于蒸发镀膜机构左上方，所述化学镀膜机构位于蒸发镀膜机构左下方。2.根据权利要求1所述的一种复合镀膜装置，其特征在于，所述蒸发镀膜机构具有第一真空罩体，所述真空第一罩体下端开设有第一真空系统，所述第一真空罩体内下端固设有支撑架，所述支撑架上架设有坩埚，所述第一真空罩体内上端设有第一连接杆，所述第一连接杆下端设有连接板，所述连接板下侧固定有第一基片，且所述第一基片位于坩埚上方。3.根据权利要求1所述的一种复合镀膜装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢立峰，姚卫平，
申请(专利权)人：嘉兴敏胜汽车零部件有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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