一种线性蒸发源系统及蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及显示技术领域，公开了一种线性蒸发源系统及蒸镀装置，该线性蒸发源系统中包括：坩埚和与坩埚连接的称重装置，称重装置包括支撑平台，坩埚设于支撑平台上，且坩埚背离支撑平台的一侧设有多个喷嘴。上述线性蒸发源系统中，利用称重装置在蒸镀工作开始前后称量的坩埚的重量值进行简单计算，可以较准确地测量出坩埚内材料的剩余量。

A linear evaporation source system and evaporation device

The utility model relates to the technical field of display, discloses a linear evaporation source system and evaporation device, the steam system including linear source: the crucible and the crucible and connected with the weighing device, the weighing device comprises a supporting platform, the crucible is arranged on the supporting platform, and one side of the crucible deviated from the support platform is provided with a plurality of nozzles. In the linear evaporation source system, the weight value of the crucible weighing by weighing device before and after the beginning of the evaporation work is calculated simply, and the residual amount of the material in the crucible can be accurately measured.

【技术实现步骤摘要】
一种线性蒸发源系统及蒸镀装置
本技术涉及显示
，特别涉及一种线性蒸发源系统及蒸镀装置。
技术介绍
在半导体行业中，OLED被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术，应用广泛，OLED的蒸镀一般为OLED线性蒸发源将有机材料添加到坩埚中，经坩埚加热将有机材料喷出蒸镀到玻璃基板上，在现有技术中，线性坩埚直接放在蒸镀装置内部支撑柱上，蒸镀环境为真空状态，坩埚内的材料的剩余量通过上次蒸镀的时间进行推算得出，但是通过估计蒸镀时间来判断材料的剩余量，会产生很大的误差。
技术实现思路
本技术提供了一种线性蒸发源系统及蒸镀装置，该线性蒸发源系统中，称重装置对坩埚的质量进行称量，进而可以较准确地获得坩埚内材料的剩余量。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案：一种线性蒸发源系统，包括：坩埚和与所述坩埚连接的称重装置，所述称重装置包括支撑平台，所述坩埚设于所述支撑平台上，且所述坩埚背离所述支撑平台的一侧设有多个喷嘴。上述线性蒸发源系统中，坩埚连接有称重装置，其中，坩埚设置在称重装置的支撑平台上，坩埚背离支撑平台的一侧设置有多个喷嘴，进行蒸镀工作时，称重装置可以对坩埚进行称量，坩埚中加入材料，在蒸镀工作将要开始时，称重装置对坩埚的重量进行称量，进而获取坩埚的重量，通过坩埚前后的重量之差获得坩埚内材料的剩余量。如，在坩埚中加入材料，在蒸镀工作将要开始时，称重装置对坩埚进行一次称重，蒸镀开始后，材料从坩埚的喷嘴喷出，材料减少，再通过称重装置对坩埚进行称量。因此，上述线性蒸发源系统中，利用称重装置在蒸镀工作开始前后称量的坩埚的重量值进行简单计算，可以较准确地测量出坩埚内材料的剩余量，进而还可以根据材料的剩余量推测蒸镀时间。进一步地，所述称重装置包括第一承载板，所述第一承载板上设有压力传感器，且所述第一承载板朝向所述坩埚的一侧形成所述支撑平台。进一步地，所述支撑平台与所述坩埚之间设有平坦层。进一步地，所述称重装置包括第二承载板、第三承载板和激光装置；所述第二承载板朝向所述坩埚的一侧形成所述支撑平台；所述第二承载板和第三承载板相对设置，且所述第二承载板位于所述第三承载板朝向所述坩埚的一侧，所述第二承载板与所述第三承载板间设有弹性装置；所述激光装置与所述第三承载板相对固定，且所述激光装置设于所述坩埚的周侧，所述坩埚与所述激光装置相对的外侧面上设有多个沿垂直于所述支撑平台方向排列的刻度标识。进一步地，刻度标识包括刻度线。进一步地，所述第二承载板上设置有压力传感器。进一步地，所述支撑平台与所述坩埚间设有平坦层。进一步地，所述弹性装置包括弹簧，所述弹簧的一端与所述第二承载板连接，所述弹簧的另一端与所述第三承载板连接。进一步地，所述弹簧包括压缩弹簧。本技术还提供了一种蒸镀装置，包括上述技术方案中所述的任意一种线性蒸发源系统。附图说明图1为本技术提供的线性蒸发源系统的一种结构示意图；图2为图1中本技术提供的线性蒸发源系统的侧面示意图；图3为本技术提供的线性蒸发源系统的另一种结构示意图。图标：1-坩埚；2-称重装置；3-平坦层；11-喷嘴；12-刻度标识；21-第一承载板；22-第二承载板；23-第三承载板；24-激光装置；25-弹性装置。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图1和图2，本技术实施例提供的线性蒸发源系统，包括：坩埚1和与坩埚1连接的称重装置2，称重装置2包括支撑平台，坩埚1设于支撑平台上，且坩埚1背离支撑平台的一侧设有多个喷嘴11。上述线性蒸发源系统中，坩埚1连接有称重装置2，其中，坩埚1设置在称重装置2的支撑平台上，坩埚1背离支撑平台的一侧设置有多个喷嘴11，进行蒸镀工作时，称重装置2可以对坩埚1进行称量，坩埚1中加入材料，在蒸镀工作将要开始时，称重装置2对坩埚1的重量进行称量，进而获取坩埚1的重量，通过坩埚1前后的重量之差获得坩埚1内材料的剩余量。如，在坩埚1中加入材料，在蒸镀工作将要开始时，称重装置2对坩埚1进行一次称重，蒸镀开始后，材料从坩埚1的喷嘴11喷出，材料减少，再通过称重装置2对坩埚1进行称量。因此，上述线性蒸发源系统中，利用称重装置2在蒸镀工作开始前后称量的坩埚1的重量值进行简单计算，可以较准确地测量出坩埚1内材料的剩余量，进而还可以根据材料的剩余量推测蒸镀时间。上述称重装置2的结构可以有多种选择方式，如：方式一：如图2所示，上述称重装置2可以包括第一承载板21，第一承载板21上设有压力传感器，且第一承载板21朝向坩埚1的一侧形成支撑平台。第一承载板21朝向坩埚1的一侧形成支撑平台，即，坩埚1设置在第一承载板21上，第一承载上设置有压力传感器，压力传感器可以直接、实时感测坩埚1的重力，进而使称重装置2可以直接、实时称量出坩埚1的重量，使称量过程简单方便；另外，压力传感器测量范围广、精度高，则感应的坩埚1的重力信号准确，有利于提高称量装置对坩埚1的称量的准确度，且压力传感器稳定性可靠、使用寿命长，频率响应特性好，可以实时输出感应的压力信号，使称重装置2可以实时得出坩埚1的重量数据，有利于对坩埚1内的材料的剩余量实时称量，提高材料的利用率。如图2所示，在上述方式一的基础上，支撑平台与坩埚1之间可以设置平坦层3。平坦层3平整地铺设在支撑平台上，坩埚1设置在平坦层3上，平坦层3与坩埚1接触均匀，使坩埚1平稳的置于支撑平台上，提高坩埚1在支撑平台上的稳定性；且使第一承载板21上的压力传感器受力均匀，有利于提高称量数据的准确性。方式二：如图3所示，上述称重装置2可以包括第二承载板22、第三承载板23和激光装置24；第二承载板22朝向坩埚1的一侧形成支撑平台；第二承载板22和第三承载板23相对设置，且第二承载板22位于第三承载板23朝向坩埚1的一侧，第二承载板22与第三承载板23间设有弹性装置25；激光装置24与第三承载板23相对固定，且激光装置24设于坩埚1的周侧，坩埚1与激光装置24相对的外侧面上设有多个沿垂直于支撑平台方向排列的刻度标识12。上述方式二中，第二承载板22的一侧形成支撑平台，坩埚1设置在支撑平台上，即，坩埚1设置在第二承载板22上，第三承载板23设置在第二承载板22的背离坩埚1的一侧，第二承载板22与第三承载板23之间设置弹性装置25，即将第三承载板23固定，第三承载板23通过弹性装置25支撑第二承载板22，当坩埚1的重量减小时，弹性装置25的受力减小，弹性装置25形变量变小，则第二承载板22相对第三承载板23的高度增大，基于相同的原理，受力原理不再赘述，当坩埚1的重量增大时，第二承载板22先对第三承载板23的高度会减小；在坩埚1的周侧设置激光装置24，激光装置24与第三承载板23相对固定，激光装置24的激光线照射与坩埚1的一外侧面上，且与激光装置24相对的外侧面上设置与激光装置24对应的多个沿垂直于支撑平台方向排列的刻度标识12，激光装置24的激光线可以感应刻度标识12，当坩埚1的重量减小时，坩埚1的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线性蒸发源系统，其特征在于，包括：坩埚和与所述坩埚连接的称重装置，所述称重装置包括支撑平台，所述坩埚设于所述支撑平台上，且所述坩埚背离所述支撑平台的一侧设有多个喷嘴。

【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源系统，其特征在于，包括：坩埚和与所述坩埚连接的称重装置，所述称重装置包括支撑平台，所述坩埚设于所述支撑平台上，且所述坩埚背离所述支撑平台的一侧设有多个喷嘴。2.根据权利要求1所述的线性蒸发源系统，其特征在于，所述称重装置包括第一承载板，所述第一承载板上设有压力传感器，且所述第一承载板朝向所述坩埚的一侧形成所述支撑平台。3.根据权利要求2所述的线性蒸发源系统，其特征在于，所述支撑平台与所述坩埚之间设有平坦层。4.根据权利要求1所述的线性蒸发源系统，其特征在于，所述称重装置包括第二承载板、第三承载板和激光装置；所述第二承载板朝向所述坩埚的一侧形成所述支撑平台；所述第二承载板和第三承载板相对设置，且所述第二承载板位于所述第三承载板朝向所述坩埚的一侧，所述第二承载板与所述第三承载板间设有弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海兵，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11