一种玻璃镀膜生产线制造技术

技术编号:14395193 阅读:168 留言:0更新日期:2017-01-11 09:29
玻璃镀膜生产线,所述玻璃镀膜生产线沿玻璃物料传送方向,依次包括进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室;且均铺设有与玻璃物料相平行的传送辊,并设置有与真空系统连接的抽气口;进口过渡室与出口过渡室设置有隔离装置,所述隔离装置包括上隔离装置与下隔离装置,所述上隔离装置具有自上而下延伸至玻璃物料传送平面上方的上隔离板,所述下隔离装置具有自下而上延伸至玻璃物料传送平面下方的下隔离板,所述上隔离板的下缘高于传送辊上表面,所述下隔离板的上缘低于传送辊上表面,上隔离板与下隔离板之间形成容玻璃物料通过的物料通道,所述上隔离板与下隔离板正对或斜对玻璃物料传送方向。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及玻璃镀膜生产设备领域。
技术介绍
玻璃镀膜是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜,以改变玻璃的光学性能,满足某种特定要求。玻璃镀膜是通过在真空环境中,充入少量工作气体(例如Ar、O2、N2等),通过电极之间的放电在溅射室中形成等离子体,通过离子轰击金属靶材,使得金属靶材中的金属粒子溢出,逐步沉积在玻璃表面,形成金属膜或金属化合物膜。由于玻璃镀膜工艺需要在高度真空的环境下进行,并且需要排除空气杂质对工作气体的影响,以保证镀膜质量,因此玻璃物料在进入玻璃镀膜生产线的溅射室前需要一系列的过渡腔室,逐步抽去空气提升环境真空度,在玻璃物料镀膜完成离开溅射室时,也需要一系列的过渡腔室,逐步降低真空度,进入正常大气环境。因此在玻璃镀膜生产线中,沿玻璃物料传送方向,依次包括进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室;从进口室到溅射室,真空度逐步提高,从溅射室到出口室,真空度逐步下降。在物料从大气环境进入进口室,从进口室进入进口缓冲室,从进口缓冲室进入进口过渡室,从出口过渡室进入出口缓冲室,从出口缓冲室进入出口室,从出口室进入大气环境,这些过渡阶段,均需要两个环境之间气压达到平衡才能打开物料门,进行玻璃的传送。例如从大气环境进入进口室时,先对进口室放气,使进口室的压强等于外界大气压强,然后打开进口室与外界的物料门,将玻璃物料传输到进口室中,然后关闭进口室与外界的物料门,对进口室抽真空,待进口室的真空度与进口缓冲室的真空度平衡之后,打开进口室与进口缓冲室之间的物料门,将玻璃物料传输到进口缓冲室中……玻璃物料镀膜后输送出生产线经过出口缓冲室与出口室也需要类似的气压平衡过程。实现本专利技术的过程中,专利技术人发现现有技术中存在如下问题:由于在现有技术中,进口室与大气环境之间的压差较大,因此进口室放气-抽真空的周期明显长于其他腔室放气-抽真空的周期,所以导致提高整个玻璃镀膜生产线效率的瓶颈在于进口室的放气-抽真空周期,若该时间周期不能有效缩短,则玻璃镀膜生产线效率无法有效提升,影响产品生产速度,并导致靶材的浪费。
技术实现思路
为此,需要提供一种能有效提升玻璃镀膜生产效率,减少靶材浪费的玻璃镀膜生产线。为实现上述目的,专利技术人提供了一种玻璃镀膜生产线,所述玻璃镀膜生产线沿玻璃物料传送方向,依次包括进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室;所述进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室中铺设有与玻璃物料相平行的传送辊,并设置有与真空系统连接的抽气口;进口过渡室与出口过渡室设置有隔离装置,所述隔离装置包括上隔离装置与下隔离装置,所述上隔离装置具有自上而下延伸至玻璃物料传送平面上方的上隔离板,所述下隔离装置具有自下而上延伸至玻璃物料传送平面下方的下隔离板,所述上隔离板的下缘高于传送辊上表面,所述下隔离板的上缘低于传送辊上表面,上隔离板与下隔离板之间形成容玻璃物料通过的物料通道,所述上隔离板与下隔离板正对或斜对玻璃物料传送方向。可选的,所述上隔离装置包括上底板以及与上底板两端或中部连接的上隔离板,所述下隔离装置包括下底板以及与下底板两端或中部连接的下隔离板。可选的,所述上隔离装置中,上底板与上隔离板围成中空的上隔离腔,所述下隔离装置中,下底板与下隔离板围成中空的下隔离腔,所述上隔离腔与下隔离腔端部开口,所述进口过渡室与出口过渡室的抽气口位置与上隔离腔与下隔离腔端部相对应。可选的,所述进口室与出口室与机械真空泵连接,通过机械真空泵抽真空,所述进口缓冲室与出口缓冲室与罗茨泵及机械真空泵连接,通过串联的罗茨泵与机械真空泵抽真空,所述进口过渡室与出口过渡室与分子泵、罗茨泵以及机械真空泵连接,通过串联的分子泵、罗茨泵与机械真空泵抽真空,所述溅射室与分子泵、罗茨泵以及机械真空泵连接,通过串联的分子泵、罗茨泵与机械真空泵抽真空。可选的,所述进口过渡室与出口过渡室的抽气口包括独立抽气口与并联抽气口,所述并联抽气口较独立抽气口更靠近溅射室的抽气口,并联抽气口与溅射室的抽气口并联抽真空。可选的,所述进口室与进口缓冲室之间的开门压强,以及出口室与出口缓冲室之间的开门压强为10-30mbar,所述进口缓冲室与进口过渡室之间的开门压强为1-12×10-2mbar。可选的,所述进口室与进口缓冲室之间的开门压强,以及出口室与出口缓冲室之间的开门压强为15-25mbar,所述进口缓冲室与进口过渡室之间的开门压强为5-8×10-2mbar。可选的,所述进口室与进口缓冲室之间的开门压强,以及出口室与出口缓冲室之间的开门压强为20mbar,所述进口缓冲室与进口过渡室之间的开门压强为7×10-2mbar。区别于现有技术,上述技术方案所述的玻璃镀膜生产线可以降低进口室与出口室的真空度,缩小进口室与出口室相对于大气环境的压差,因此有效缩短进口室与出口室的放气-抽真空周期。本专利技术中,由于降低了进口室与出口室的真空度,因此进口缓冲室与出口缓冲室的真空度也随之下降,从而加大了进口缓冲室与进口过渡室,出口缓冲室与出口过渡室之间的压差,如果采用传统的玻璃镀膜生产线结构,当开启进口缓冲室与进口过渡室之间的物料门以及出口缓冲室与出口过渡之间的物料门时,较大的压差导致较强的气流冲击,从而使得来自进口缓冲室与出口缓冲室的气流对进口过渡室,出口过渡室的气体环境造成冲击,而进口过渡室,出口过渡室与溅射室之间通常没有设置物料门隔绝,因此气流对进口过渡室,出口过渡室的冲击会影响溅射室的气体环境,从而影响玻璃镀膜的质量。本专利技术在进口过渡室与出口过渡室中设置了隔离装置,因此当开启进口缓冲室与进口过渡室之间的物料门以及出口缓冲室与出口过渡之间的物料门时,冲击气流会被上隔离装置与下隔离装置所阻挡,上下延伸的上隔离板与下隔离板起到了阻挡冲击气流的作用。附图说明图1为具体实施方式所述进口过渡室或出口过渡室侧面结构示意图;图2为具体实施方式所述玻璃镀膜生产线各腔室真空系统的连接示意图;图3为具体实施方式中作为对比的玻璃镀膜生产线各腔室真空系统的连接示意图。附图标记说明:21、上隔离装置,210、上隔离腔211、上隔离板,212、上底板22、下隔离装置,221、下隔离板,222、下底板,31、机械泵,32、罗茨泵,33、分子泵50、物料通道80、传送辊,91、独立抽气口,92、并联抽气口具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果,以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1,本实施例提供了一种玻璃镀膜生产线,所述玻璃镀膜生产线沿玻璃物料传送方向,依次包括进口室C1,进口缓冲室C2,进口过渡室C3,溅射室C4,出口过渡室C5,出口缓冲室C6,出口室C7;所述进口室C1,进口缓冲室C2,进口过渡室C3,溅射室C4,出口过渡室C5,出口缓冲室C6,出口室C7中铺设有与玻璃物料相平行的传送辊80,并设置有与真空系统连接的抽气口;进口过渡室C3与出口过渡室C5设置有隔离装置,所述隔离装置包括上隔离装置21与下隔离装置22,所述上隔离装置21具有自上而下延伸至玻璃物料传送平面上方的上隔离板211,所述下隔离装置22具有自下而上延伸至玻璃物料传送平面下方的下隔离板221,所述上隔离板的下缘高于本文档来自技高网
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一种玻璃镀膜生产线

【技术保护点】
玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述玻璃镀膜生产线沿玻璃物料传送方向,依次包括进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室;所述进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室中铺设有与玻璃物料相平行的传送辊,并设置有与真空系统连接的抽气口;进口过渡室与出口过渡室设置有隔离装置,所述隔离装置包括上隔离装置与下隔离装置,所述上隔离装置具有自上而下延伸至玻璃物料传送平面上方的上隔离板,所述下隔离装置具有自下而上延伸至玻璃物料传送平面下方的下隔离板,所述上隔离板的下缘高于传送辊上表面,所述下隔离板的上缘低于传送辊上表面,上隔离板与下隔离板之间形成容玻璃物料通过的物料通道,所述上隔离板与下隔离板正对或斜对玻璃物料传送方向。

【技术特征摘要】
1.玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述玻璃镀膜生产线沿玻璃物料传送方向,依次包括进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室;所述进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室中铺设有与玻璃物料相平行的传送辊,并设置有与真空系统连接的抽气口;进口过渡室与出口过渡室设置有隔离装置,所述隔离装置包括上隔离装置与下隔离装置,所述上隔离装置具有自上而下延伸至玻璃物料传送平面上方的上隔离板,所述下隔离装置具有自下而上延伸至玻璃物料传送平面下方的下隔离板,所述上隔离板的下缘高于传送辊上表面,所述下隔离板的上缘低于传送辊上表面,上隔离板与下隔离板之间形成容玻璃物料通过的物料通道,所述上隔离板与下隔离板正对或斜对玻璃物料传送方向。2.根据权利要求1所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述上隔离装置包括上底板以及与上底板两端或中部连接的上隔离板,所述下隔离装置包括下底板以及与下底板两端或中部连接的下隔离板。3.根据权利要求2所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述上隔离装置中,上底板与上隔离板围成中空的上隔离腔,所述下隔离装置中,下底板与下隔离板围成中空的下隔离腔,所述上隔离腔与下隔离腔端部开口,所述进口过渡室与出口过渡室的抽气口位置与上隔离腔与下隔离腔端部相对应。4.根据权利要求1所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述进口室...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈玉平杨斌陈小华陈娟
申请(专利权)人:福建新福兴玻璃有限公司
类型:发明
国别省市:福建;35

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