【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种硅片烘干箱，包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯；所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接，另一端与箱体底端贯通连接，所述管道风机贯通连接在所述回流管道中；所述箱体上设置有门体。本专利技术通过红外线灯对硅片进行烘烤，不采用电热丝，维修方便，而且红外灯的数量根据需求投入，使用方便；通过在箱体上设置回流管道，使箱内气体循环，提高了硅片烘烤效率。【专利说明】
本专利技术涉及一种硅片烘干箱。 硅片烘干箱
技术介绍
在硅片制作工艺中，传统的硅片烘烤都采用专用烤箱，但烤箱成本高，结构复杂， 维修困难，如果发生损坏，需要返厂维修，不仅维修成本高，而且对生产造成影响，而且，烤 箱内的气体也不能循环流动，硅片烘烤时间长。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点，本专利技术的目的在于提供一种结构简单，维修 方便，烤箱内气体可循环流动的硅片烘干箱。 为了解决上述问题，本专利技术采用以下技术方案：一种硅片烘干箱，其特征在于，包 括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体...
【技术保护点】
一种硅片烘干箱，其特征在于，包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯；所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接，另一端与箱体底端贯通连接，所述管道风机贯通连接在所述回流管道中；所述箱体上设置有门体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：彭雷，
申请(专利权)人：济南晶博电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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