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一种硅片烘干箱，包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯；所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接，另一端与箱体底端贯通连接，所述管道风机贯通连接在所述回流管道中；所述箱体上设置有门体。本发明通...
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