一种微小尺寸芯片固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体制造行业的失效分析领域，尤其涉及一种应用于光发射显微镜的固定装置，包括底座和位于该底座上的若干条挡块，且该底座与所述若干条挡块共同构成承载主体；所述若干条挡块之间形成了多个样品槽，且每相邻的两条挡块之间分别设置有一条滑块。该结构使得本发明专利技术的芯片测试结构不会被胶带遮挡而影响到探针扎针，芯片表面也不会受到污染；同时，芯片背面与固定装置底座充分接触，不会因倾斜而影响光发射显微镜的镜头聚焦；再次，当探针进行扎针时，针尖与芯片不会发生相对滑动，而且整个操作过程不涉及化学物品，安全无害。从而可以帮助分析人员快速、高效、安全地进行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。

【技术实现步骤摘要】
—种微小尺寸芯片固定装置
本专利技术涉及半导体制造行业的失效分析领域，尤其涉及一种微小尺寸芯片固定装置。
技术介绍
光发射显微镜(Photo Emission Microscope,以下简称为PEM)是一种非常灵敏的芯片缺陷定位工具，当芯片内部有过量的电子-电洞产生式，会因电子-电洞的跃迁二产生红外光子，此可被PEM检测到。当芯片故障是由于氧化层崩溃、静电放电破坏、闩锁效应、撞击游离及饱和的晶体管时，将会产生过量的电子-电洞对，而伴随由于电子-电洞跃迁产生的光子，可由PEM精确地定位出此种故障位置。当使用PEM对微小尺寸的芯片进行失效定位时，现有的方法是用胶带将芯片两端固定在一透明的载玻片上，且该载玻片架设于具有顶部开口结构的样品台上。这样的操作将会引入以下问题:1、由于芯片长度过小，在芯片两端粘贴胶带时容易遮挡住测试结构，从而对为分析结构而进行扎针加电处理造成影响；2、由于芯片底面积较小，使用胶带固定时，芯片底部与载玻片或样品台不能充分接触，容易造成倾斜，导致PEM镜头无法对待分析结构聚焦，从而影响分析结果的准确性；3、实用胶带固定芯片不够牢固，利用PEM附带的探针台对样品扎针施加电性条件时。探针的接触压力会使芯片发生滑动，造成探针与芯片无法完全接触，从而导致电性条件无法施加；4、最小芯片的表面积只有几平方毫米，操作时十分不方便，容易接触并污染芯片上的目标区域，而且在剥离胶带时还会留下残留物。为了解决上述问题，人们采取的方法是使用热熔胶带来替代传统胶带，这种方法虽然贴合牢固，但粘贴和剥离芯片时需要借助加热台进行加热，而且剥离胶带后还需要将芯片浸入丙酮来去除残留的热熔胶，因此操作较为繁琐，更严重的问题是丙酮具有一定的毒性，对人体将会产生危害。中国专利(公布号:200310122969.8)记载了一种用于发光显微镜查找芯片缺陷的芯片固定装置，包括:一个印有复数条电气连接线的印刷线路板；一个由透明材料制成的观察窗，设于该印刷线路板上；复数条电气连接线向粘贴于观察窗上的芯片提供电源连接；还设有一个固定板，位于所述印刷线路板的下层，与印刷线路板为上下二层的结构；复数条电气连接线印制于观察窗周围且彼此相互绝缘，每条电气连接线在观察窗周围分别设有复数个接触点，向芯片就近提供电源，每条电气连接线在印刷线路板的边缘分别设有一个接线端子；本芯片固定装置可将芯片直接粘贴在观察窗上，观察窗的尺寸可适用于各种规格芯片；上下两层的结构可避免芯片接线所带来的杂乱，且下层固定板使得重心稳定，从而使得缺陷查找迅速、简便、可靠性高、适用性好。该用于发光显微镜查找芯片缺陷的芯片固定装置结构较为复杂，操作起来较为繁琐，不利于操作人员使用。中国专利(公布号:201020647090.0)记载了一种偏心显微镜的UV光镜头固定装置。包括偏心显微镜上的支架安装板，以及相配套的高度调节杆、水平调节杆、镜头固定座和固定螺栓，其中高度调节杆安装在偏心显微镜上的支架安装板的竖孔内，并用固定螺栓锁紧，水平调节杆安装在高度调节杆的横孔内，用固定螺栓锁紧，镜头固定座用固定螺栓安装在水平调节杆上，UV光镜头用固定螺栓锁紧安装在镜头固定座上。本技术具有结构简单，实用性强，将UV光镜头与偏心显微镜稳定连接，且镜头可灵活调节的特点。该专利文献并未提到如何固定微小尺寸的芯片。
技术实现思路
本专利技术记载了一种微小尺寸芯片固定装置，应用于采用光发射显微镜对芯片进行的失效定位测试中，其特征在于，所述固定装置包括承载主体、滑块和固定螺栓，所述滑块通过所述固定螺栓与所述承载主体连接；所述承载主体包括一底座和若干个固定设置于所述底座上表面的挡块，位于任意两个相邻所述挡块之间的底座表面和该两个相邻挡块共同形成一样品槽；所述固定螺栓贯穿所述挡块的中部，伸入所述样品槽内；所述固定螺栓的位于所述样品槽内的一端与一个所述滑块的中部实现可脱卸连接，且所述螺栓并未穿通所述滑块；其中，所述底座由透明材料制成。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，所述底座为一载玻片。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，所述挡块为3个，并形成2个所述样品槽，且所述滑块为2个。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，每相邻的两个所述挡块之间的距离相等。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，所述挡块的长度与所述滑块的长度以及所述载玻片的宽度一致。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，所述挡块与所述滑块的高度相同且小于所述芯片的厚度。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，所述挡块侧面的中心位置设置有通孔。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，所述挡块的通孔于水平方向贯穿所述挡块。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，所述滑块侧面的中心位置设置有盲孔。上述的一种应用于光发射显微镜的固定装置，其中，所述挡块的通孔与所述滑块的盲孔通过所述固定螺栓连接。本专利技术由于采用了上述技术方案，本专利技术一种应用于光发射显微镜的固定装置的芯片测试结构不会被胶带遮挡而影响到探针扎针，芯片表面也不会受到污染；同时，芯片背面与固定装置底座充分接触，不会因倾斜而影响光发射显微镜的镜头聚焦；再次，当探针进行扎针时，针尖与芯片不会发生相对滑动，而且整个操作过程不涉及化学物品，安全无害。从而可以帮助分析人员快速、高效、安全地进行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。【附图说明】图1是本专利技术中承载主体的结构俯视图；图2是本专利技术中承载主体的结构侧视图；图3是本专利技术中挡块的结构侧视图；图4是在图1的基础上增加滑块后的结构俯视图；图5是本专利技术中滑块的结构侧视图；图6是在图4的基础上增加了固定螺栓后的结构俯视图；图7是在图2的基础上增加了滑块和固定螺栓后的结构侧视图；图8是在图6基础上加入样品后的结构俯视图；图9是在图7基础上加入样品后的结构侧视图；图10是在图8的基础上将滑块贴紧样品后的结构俯视图；图11是在图9的基础上将滑块贴紧样品后的结构侧视图；图12是在图10的基础上用固定螺栓将滑块固定后的结构俯视图；图13是在图11的基础上用固定螺栓将滑块固定后的结构侧视图。【具体实施方式】下面结合附图对本专利技术的一种应用于光发射显微镜的固定装置进行详细说明:图1是本专利技术的承载主体的俯视图；如图1所示，一种应用于光发射显微镜的固定装置包括底座11和固定于该底座11上的3条挡块，该3条挡块中的1条挡块121被固定于底座11的中心位直，另外两条挡块122和123则分别固定于底座11的左右两边，且挡块122与挡块121之间的距离和挡块123与挡块121之间的距离相等；其中，被固定于底座11中心位置的挡块121的宽度大于另外两条挡块122和123的宽度；底座11和被固定于底座11上的挡块12共同构成承载主体10。如图2所示，a为挡块的高度，b为底座的高度，挡块的宽度不应过宽且挡块的长度应与底座11的宽度保持一致，从而为样品预留出一定的空间。进一步的，如图1所示，挡块122的侧面的中心位置还设置有第一通孔31，挡块123的侧面的中心位置还设置有第二通孔32，两挡块的侧视结构均如图3所示。其中，挡块的闻度a不应超过样品的闻度c。优选的，底座为矩形透明载玻片，以方便对样品进行检测。如图4、图6、图7所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微小尺寸芯片固定装置，应用于采用光发射显微镜对芯片进行的失效定位测试中，其特征在于，所述固定装置包括承载主体、滑块和固定螺栓，所述滑块通过所述固定螺栓与所述承载主体连接；所述承载主体包括一底座和若干个固定设置于所述底座上表面的挡块，位于任意两个相邻所述挡块之间的底座表面和该两个相邻挡块共同形成一样品槽；所述固定螺栓贯穿所述挡块的中部，伸入所述样品槽内；所述固定螺栓的位于所述样品槽内的一端与一个所述滑块的中部实现可脱卸连接，且所述螺栓并未穿通所述滑块；其中，所述底座由透明材料制成。

【技术特征摘要】
1.一种微小尺寸芯片固定装置，应用于采用光发射显微镜对芯片进行的失效定位测试中，其特征在于，所述固定装置包括承载主体、滑块和固定螺栓，所述滑块通过所述固定螺栓与所述承载主体连接；所述承载主体包括一底座和若干个固定设置于所述底座上表面的挡块，位于任意两个相邻所述挡块之间的底座表面和该两个相邻挡块共同形成一样品槽；所述固定螺栓贯穿所述挡块的中部，伸入所述样品槽内；所述固定螺栓的位于所述样品槽内的一端与一个所述滑块的中部实现可脱卸连接，且所述螺栓并未穿通所述滑块；其中，所述底座由透明材料制成。2.如权利要求1所述的用于光发射显微镜的固定装置，其特征在于，所述底座为一载玻片。3.如权利要求1所述的用于光发射显微镜的固定装置，其特征在于，所述挡块为3个，并形成2个所述样品槽，且所述滑块为2个。4.如权利要求3所述的用于光...

【专利技术属性】
技术研发人员：白月，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：