一种用于SRAM的P型传输栅极晶体管及其制作方法技术

技术编号:9296501 阅读:98 留言:0更新日期:2013-10-31 00:52
本发明专利技术提供一种用于SRAM的P型传输栅极晶体管及其制作方法。该制作方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上形成有P型栅极;在所述P型栅极一侧的所述半导体衬底中的第一区域内形成应力层,所述应力层用于提高载流子的迁移率;在所述第一区域内形成漏极且在所述P型栅极另一侧的所述半导体衬底中的第二区域内形成源极。本发明专利技术通过在P型栅极一侧的半导体衬底的第一区域内即形成能够提高载流子迁移率的应力层又形成漏极,且在P型栅极另一侧的半导体衬底的第二区域内形成源极,即仅通过简单的工艺步骤就可以使漏极至源极的电流大于源极至漏极的电流,进而增大读/写电流差。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于SRAM的P型传输栅极晶体管的制作方法,其特征在于,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上形成有P型栅极;在所述P型栅极一侧的所述半导体衬底中的第一区域内形成应力层,所述应力层用于提高载流子的迁移率;在所述第一区域内形成漏极且在所述P型栅极另一侧的所述半导体衬底中的第二区域内形成源极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:甘正浩冯军宏
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司
类型:发明
国别省市:

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