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本发明提供一种用于SRAM的P型传输栅极晶体管及其制作方法。该制作方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上形成有P型栅极;在所述P型栅极一侧的所述半导体衬底中的第一区域内形成应力层,所述应力层用于提高载流子的迁移率;在所述第一区域内形成漏...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种用于SRAM的P型传输栅极晶体管及其制作方法。该制作方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上形成有P型栅极;在所述P型栅极一侧的所述半导体衬底中的第一区域内形成应力层,所述应力层用于提高载流子的迁移率;在所述第一区域内形成漏...