硅片抓取机械手制造技术

本实用新型专利技术提供一种硅片抓取机械手，包括直管、机械密封和真空吸盘，所述直管的一端密封，所述直管密封的一端设有传动轴，所述传动轴的端部设有外花键，所述直管的另一端端面开设有出气口，所述机械密封安装在所述出气口上，所述直管的侧壁设有进气孔，所述进气孔周向均布且轴向等距排列在所述直管的侧壁，所述真空吸盘安装在所述进气孔上。本实用新型专利技术硅片抓取机械手，结构简单，驱动稳定，抓取效率高且效果好，提高了生产效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅片抓取机械手，其特征在于：包括直管（4）、机械密封（8）和真空吸盘（6），所述直管（4）的一端密封，所述直管（4）密封的一端设有传动轴（2），所述传动轴（2）的端部设有外花键（1），所述直管（4）的另一端端面开设有出气口，所述机械密封（8）安装在所述出气口上，所述直管（4）的侧壁设有进气孔（5），所述进气孔（5）周向均布且轴向等距排列在所述直管（4）的侧壁，所述真空吸盘（6）安装在所述进气孔（5）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：俞超，
申请(专利权)人：浙江金乐太阳能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：