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本实用新型提供一种硅片抓取机械手,包括直管、机械密封和真空吸盘,所述直管的一端密封,所述直管密封的一端设有传动轴,所述传动轴的端部设有外花键,所述直管的另一端端面开设有出气口,所述机械密封安装在所述出气口上,所述直管的侧壁设有进气孔,所述进...该专利属于浙江金乐太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江金乐太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种硅片抓取机械手,包括直管、机械密封和真空吸盘,所述直管的一端密封,所述直管密封的一端设有传动轴,所述传动轴的端部设有外花键,所述直管的另一端端面开设有出气口,所述机械密封安装在所述出气口上,所述直管的侧壁设有进气孔,所述进...