一种用于叠层封装的基板制造技术

技术编号:9172215 阅读:132 留言:0更新日期:2013-09-19 21:27
本发明专利技术披露了一种用于叠层封装的基板,所述基板的表面包含凹陷的腔体,所述腔体包含一个以上。本发明专利技术提供的用于叠层封装的基板,在基板的一侧或两侧设置有凹陷的腔体,该腔体用来组装芯片。由于腔体内部与基板边缘存在一定的高度差,互连焊球设置基板边缘上,可以允许采用窄节距、小直径的互连焊球,从而能够提高两层封装单元之间的互连密度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于叠层封装的基板,其特征在于,所述基板的表面包含凹陷的腔体,所述腔体包含一个以上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙晓峰万里兮
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:

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