【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于叠层封装的基板,其特征在于,所述基板的表面包含凹陷的腔体,所述腔体包含一个以上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:孙晓峰,万里兮,
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所,
类型:发明
国别省市:
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