【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体器件,包括:后钝化层,设置在衬底上方,所述衬底具有热膨胀系数失配的第一方向;以及第一开口,穿过所述后钝化层,所述第一开口包括多个细长孔隙,所述多个细长孔隙中的最长孔隙包括第一尺寸,其中,所述第一尺寸基本上与所述热膨胀系数失配的第一方向垂直对准。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:陈宪伟,梁世纬,
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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