用于芯片尺寸封装的电连接件制造技术

技术编号:9144490 阅读:186 留言:0更新日期:2013-09-12 05:53
本发明专利技术公开了一种用于芯片尺寸封装的电连接件。在一个实施例中,半导体器件包括设置在衬底上方的后钝化层,衬底具有热膨胀系数失配的第一方向。半导体器件包括穿过后钝化层的第一开口,第一开口包括多个细长孔隙。多个细长孔隙中的最长孔隙包括第一尺寸,其中,第一尺寸基本上与热膨胀系数失配的第一方向垂直对准。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体器件,包括:后钝化层,设置在衬底上方,所述衬底具有热膨胀系数失配的第一方向;以及第一开口,穿过所述后钝化层,所述第一开口包括多个细长孔隙,所述多个细长孔隙中的最长孔隙包括第一尺寸,其中,所述第一尺寸基本上与所述热膨胀系数失配的第一方向垂直对准。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:陈宪伟梁世纬
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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