【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片制造设备
，尤其是涉及一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统。
技术介绍
化学腐蚀是当今硅片的制造过程中非常重要的工艺。现今生产中使用的主流设备都是日本出产，基本上能满足生产中的需要。可随着设备在日常中的使用，动力控制部分中的一些不足及程序上的一些不合理的就逐步显现出来。原化腐机的搬运系统为汽缸传动。通过控制气阀的通断来控制汽缸活塞的运动，利用螺纹与螺母的运动达到机械臂运动的效果。制动部分采用光耦限位开关及保险硬限位块，制动动作存在一定安全隐患。而且传统的气缸中活塞的密封由于往复运动存在老化，致使气缸内部窜气，活塞卡住运动不到位。另外，原化腐机控制机械手进入酸液的深度都是采用外部限位开关控制的。这就导致腐蚀不同尺寸的抛光片时，需要调节限位开关的不同位置，工序繁琐。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是提供一种采用电机控制能精确定位的硅片自动化学腐蚀机的控制系统。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是:一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统，包括机械手，其特征在于:还包括伺服电机、伺服电机驱动器、伺服驱动模块和PC控制器，所述PLC控制器连接所述...
【技术保护点】
一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统，包括机械手，其特征在于：还包括伺服电机、伺服电机驱动器、伺服驱动模块和PLC控制器，所述PLC控制器连接所述伺服驱动模块，所述伺服驱动模块还所述伺服电机驱动器相连，所述伺服电机驱动器与所述伺服电机相连，所述伺服电机与所述机械手相连。
【技术特征摘要】
1.一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统，包括机械手，其特征在于:还包括伺服电机、伺服电机驱动器、伺服驱动模块和PLC控制器，所述PLC控制器连接所述伺服驱动模块，所述伺服驱动模块还所述伺服电机驱动器相连，所述伺服电机驱动器与所述伺服电机相连，所述伺服电机与所述机械手相连。2.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于:所述伺服驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，王国瑞，于书瀚，张基龙，
申请(专利权)人：天津市环欧半导体材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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