一种具有防撞功能的硅片台制造技术

一种具有防撞功能的硅片台，该硅片台含有硅片台台体和线缆台，线缆台安装在硅片台的一个侧面，硅片台含有三个气囊、四个阻尼缓冲元件和气源，三个气囊串联布置，并分别通过气囊支架固定在硅片台的另外三个侧面上；相邻两个气囊之间通过一个阻尼缓冲元件和气体管路相连通，气体管路固定在线缆台上与气源相连通。当两个硅片台发生碰撞时，两个硅片台的气囊首先撞上，内部气体受到挤压，部分通过两侧阻尼缓冲原件的调节排出气囊，既缓冲了冲击力，又使得了硅片台不被反弹出去。由于该防撞结构具有可伸缩性，与机械式防撞相比刚度低，且结构简单紧凑，可应用于光刻机双台交换系统。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统应用于半导体光刻机中，属于半导体制造设备

技术介绍
在光刻机磁浮硅片台双台交换系统中，由于两个硅片台没有推杆或是其它限位，完全依靠传感器的位置测量来控制硅片台在平衡块上的位置和姿态；此外，由于硅片台结构精密，所以，若在交换时或者控制系统失灵时，两个硅片台发生碰撞，损失将无法估量，因此，硅片台的防撞结构非常重要。另外，在两个硅片台发生碰撞时，除了会损坏零部件之外，还有可能发生反弹，如果发生这种情况时，测量系统将无法正常工作，必须重新寻向和归零，严重影响生产效率，因此，防撞系统需要安装有稳定的缓冲结构，可使发生碰撞的硅片台可以迅速停止运动。现有技术的防撞结构采用在双侧加装悬臂杆，在悬臂杆上加装位置传感器，如果两个硅片台距离过近，传感器发生报警，可以快速反应使运动的硅片台迅速停止，但如果控制系统失控，则会先撞坏悬臂杆，再撞到硅片台，无法实现双重保护。在结构设计上，如果在硅片台外围加装防撞杆、距离传感器和缓冲器等，就会使硅片台的尺寸变得很大，并且增加了大量的零部件和传感器，对于集成度要求极高的设备来说，结构变更会变得非常复杂，无疑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有防撞功能的硅片台，该硅片台含有硅片台台体（1）和线缆台（2），所述的线缆台安装在硅片台的一个侧面，其特征在于：所述硅片台还含有三个气囊（3）、四个阻尼缓冲元件（4）和气源（6），所述的三个气囊串联布置，并分别通过气囊支架（5）固定在硅片台的另外三个侧面上；相邻两个气囊之间通过一个阻尼缓冲元件（4）和气体管路相连通，所述的气体管路与气源（6）相连通，气体管路固定在线缆台上。

【技术特征摘要】
1.一种具有防撞功能的硅片台，该硅片台含有硅片台台体(I)和线缆台(2)，所述的线缆台安装在硅片台的一个侧面，其特征在于所述硅片台还含有三个气囊(3)、四个阻尼缓冲元件(4)和气源(6)，所述的三个气囊串联布置，并分别通过气囊支架(5)固定在硅片台的另外三个侧面上；相邻两个气囊之间通过一...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱煜，张鸣，刘召，杨开明，徐登峰，田丽，张利，秦慧超，王平安，尹文生，胡金春，穆海华，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：