温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种具有防撞功能的硅片台，该硅片台含有硅片台台体和线缆台，线缆台安装在硅片台的一个侧面，硅片台含有三个气囊、四个阻尼缓冲元件和气源，三个气囊串联布置，并分别通过气囊支架固定在硅片台的另外三个侧面上；相邻两个气囊之间通过一个阻尼缓冲元件和气体...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。