一种曝光机制造技术

本发明专利技术涉及工程曝光设备技术领域，公开了一种曝光机。所述曝光机包括：载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。在曝光时载物框不会反射穿过被曝光物的光线，因而避免了载物台斑点。另外，曝光机采用竖直曝光的方式，仅需在现有的光源装置中增加一个三棱镜，就可以实现双向曝光，大大提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及工程曝光设备
，特别是涉及ー种曝光机。
技术介绍
随着有机膜在光刻エ艺中的广泛应用，曝光需要的时间越来越长并且曝光效果也有待提高，因此曝光成为整个光刻エ艺的瓶颈，严重影响了工程效率。现有的工程曝光机都是采用水平曝光方式，如图1所示，被曝光物03水平放置在载物台04上，光02从光源装置01中射出，从上向下对物体曝光。这种曝光机的载物台为实体结构，载物台与被曝光物的整个表面接触，这种曝光机的弊端为，如图2所示，当光线02通过被曝光物03后，仍有少量的光05被载物台04反射到被曝光物03上，因此在被曝光物03上形成载物台斑点。载物台斑点，是ー种很严重的斑点，使得产品显示效果出现异常。另外，由于被曝光物是直接接触载物台，容易产生很多不良，被曝光物上除载物台斑点外，还容易有颗粒附着，并且被曝光物与载物台接触摩擦还容易产生静电等。
技术实现思路
本专利技术提供了一种曝光机，以避免在被曝光物上形成载物台斑点，提高曝光质量。本专利技术的曝光机，包括载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的ー侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光机，其特征在于，包括：载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。

【技术特征摘要】
1.一种曝光机，其特征在于，包括 载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件； 光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。2.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述载物框为吸光材料的载物框。3.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述吸光材料的载物框具体为铝合金载物框或银纳米材料载物框。4.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述固定件为卡夹或真空吸盘。5.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，还包括 水平设置的托台，所述载物框竖直设置于所述托台上。6.如权利要求5所述的曝光机，其特征在于，所述托台上...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆忠，李炳天，黄丽娟，靳福江，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：