一种曝光机制造技术

本发明专利技术涉及工程曝光设备技术领域，公开了一种曝光机。所述曝光机包括：载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。在曝光时载物框不会反射穿过被曝光物的光线，因而避免了载物台斑点。另外，曝光机采用竖直曝光的方式，仅需在现有的光源装置中增加一个三棱镜，就可以实现双向曝光，大大提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及工程曝光设备
，特别是涉及ー种曝光机。
技术介绍
随着有机膜在光刻エ艺中的广泛应用，曝光需要的时间越来越长并且曝光效果也有待提高，因此曝光成为整个光刻エ艺的瓶颈，严重影响了工程效率。现有的工程曝光机都是采用水平曝光方式，如图1所示，被曝光物03水平放置在载物台04上，光02从光源装置01中射出，从上向下对物体曝光。这种曝光机的载物台为实体结构，载物台与被曝光物的整个表面接触，这种曝光机的弊端为，如图2所示，当光线02通过被曝光物03后，仍有少量的光05被载物台04反射到被曝光物03上，因此在被曝光物03上形成载物台斑点。载物台斑点，是ー种很严重的斑点，使得产品显示效果出现异常。另外，由于被曝光物是直接接触载物台，容易产生很多不良，被曝光物上除载物台斑点外，还容易有颗粒附着，并且被曝光物与载物台接触摩擦还容易产生静电等。
技术实现思路
本专利技术提供了一种曝光机，以避免在被曝光物上形成载物台斑点，提高曝光质量。本专利技术的曝光机，包括载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的ー侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。所述载物框为吸光材料的载物框。优选的，所述吸光材料的载物框具体为铝合金载物框或银纳米材料载物框。所述固定件为卡夹或真空吸盘。所述的曝光机，还包括水平设置的托台，所述载物框竖直设置于所述托台上。所述托台上设置有轨道，所述载物框滑动装配于所述轨道上。所述轨道包括位于所述光源装置的两侧且互相平行的两条轨道，所述载物框包括分别滑动装配于一条轨道上的两个载物框。所述托台包括ー个固定台和分别位于所述固定台两侧的两个水平旋转台，每一条所述轨道分为三段，分别设置于所述固定台和两个所述水平旋转台上，且当任一所述水平旋转台旋转180度吋，轨道对接。所述光源装置包括光源；三棱镜,位于所述光源下方，将所述光源射出的光线由竖直方向反射为水平方向。在本专利技术技术方案中，将现有技术的载物台以载物框代替，载物框内侧设置有固定件，被曝光物通过固定件固定于载物框中，在曝光时载物框不会反射穿过被曝光物的光线，因而避免了载物台斑点，提高了曝光质量。附图说明图1为现有技术的曝光机结构示意图；图2为现有技术的曝光机产生载物台斑点的示意图；图3为本专利技术一实施例曝光机结构示意图； 图4a、图4b为本专利技术曝光机载物框结构示意图，其中，图4a为卡夹关闭状态，图4b为卡夹打开状态；图5为本专利技术另ー实施例曝光机结构示意图；图6为本专利技术曝光机光源装置结构示意图；图7a-图7e为本专利技术实施例曝光机竖直双向曝光流程示意图。附图标记01-光源；02、74_光线；03、2_被曝光物；04、1_载物台；05_反射光；3-卡夹；4-托台；5_水平旋转台；6_固定台；7_光源装置；8_轨道；9_固定件；71_三棱镜；72_反光板；73-光源。具体实施例方式为了避免曝光时产生的载物台斑点，本专利技术实施例提供了一种曝光机。该技术方案中，曝光机的载物台采用载物框结构，载物框内侧设置有固定件，被曝光物通过固定件固定于载物框中，曝光时光通过被曝光物后不能被反射，因而避免了被曝光物上的载物台斑点，提高了曝光质量。为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举具体实施例对本专利技术作进ー步详细说明。如图3所示，本专利技术实施例的曝光机，包括载物框1，载物框I的边框内侧设置有固定被曝光物2的固定件9 ；光源装置7，位于载物框I所在平面的ー侧，且出光方向垂直于载物框I所在平面。在本专利技术技术方案中，将现有技术中的载物台以载物框I代替，当光线垂直射入被曝光物2时，光线不会被载物框I重新反射，因而解决了载物台斑点问题，并且载物框I和被曝光物2接触面积较少，減少了摩擦产生的静电。此外，载物框I为框架结构，节省了材料。载物框I可以为水平放置，也可以为竖直放置，只要光线通过被曝光物2后不被载物框I反射即可。优选的，载物框I的材料为吸光材料，该吸光材料可以为铝合金或银纳米材料，其中银纳米材料为银与ニ氧化硅复合而成。被曝光物2边缘与载物框I接触的地方可能被载物框I反射光线产生载物台斑点,若载物框I的材料为吸光材料,被曝光物2边缘也不会产生载物台斑点。固定件9只要可以实现固定被曝光物即可，可以为卡夹或真空吸盘。图4a、图4b为采用卡夹3卡固被曝光物2的方式，图4a为卡夹3关闭时，被曝光物2固定于载物框I中，图4b为卡夹3打开时，此时被曝光物2可以从载物框I中取出；也可以采用真空吸盘吸附被曝光物2，真空吸盘和卡夹安装位置相同，但需要増加ー个真空源，真空源与真空吸盘通过细管连接，实现真空吸附被曝光物2。当然，上述所述的固定件的设置位置并不以图4a和图4b中描述的为限，可以根据固定需求进行设置，上述真空吸盘的真空源只要可以实现固定被曝光物即可，并不以上述描述为限。如图5所示，本专利技术另一实施例的曝光机，还包括水平设置的托台4，所述载物框I竖直设置于所述托台4上。载物框I竖直放置，被曝光物2固定于载物框I中，颗粒不容易附着在被曝光物2上。继续參照图5，优选的，托台4上设置有轨道8，载物框I滑动装配于轨道8上。载物框I在轨道8上滑动，可以实现曝光的连续性。优选的，轨道包括位于光源装置7的两侧且互相平行的两条轨道8，载物框I包括分别滑动装配于一条轨道8上的两个载物框I。在本专利技术技术方案中，在两个轨道8上分別各设置有ー个载物框I，光源装置7射出的光线分两路垂直射入两个被曝光物2，实现双向曝光。光线从光源装置7两侧射出，垂直射入到光源装置7两侧的被曝光物2上，由于载物框I为框架结构，光线不能被载物框I反射，避免了载物台斑点，提高了曝光质量，并且实现了两个被曝光物2同时曝光，大大提高了生产效率。如图5所示，优选的，托台4包括ー个固定台6和分别位于固定台6两侧的两个水平旋转台5，每一条軌道8分为三段，分别设置于固定台6和两个水平旋转台5上，且当任一水平旋转台5旋转180度吋，轨道对接。水平旋转台5可以在动力驱动下以其几何中心为中心水平旋转，通过马达驱动水平旋转台5，图示水平旋转台5可以以矩形两条对角线交点为中心旋转，从而使位于水平旋转台5的轨道8上的载物框I水平旋转，水平旋转台5与固定台6之间有ー个间距，使水平旋转台5有足够的空间旋转。当任一水平旋转台5旋转180度吋，轨道对接，载物框I可由水平旋转台5的轨道滑动至固定台6的轨道上，固定台6上放置有光源装置7，可以对载物框I中的被曝光物2曝光。水平旋转台5旋转可以使载物框I水平方向机械运动，节省人力，提高连续操作性。如图6所示，为本专利技术图5所示的曝光机光源装置7的内部结构，包括光源73 ；三棱镜71,位于光源73下方,将光源73射出的光线由竖直方向反射为水平方向。光源73射出的光线74 一部分被反光板72反射，一部分直接射到三棱镜71上，三棱镜作为反光镜，实现竖直光路变为水平光路。只需在现有技术的光源装置中増加ー个三棱镜71就可以实现。当然上述光源装置的实现方式并不仅限于这ー种，还可以通过其他光学结构实现，只要可以实现为被曝光物提供垂直于被曝光物的光源即可，如果为双向曝光吋，还可以为ー对出光方向相反的光源为其提供双向曝光光源。为了进一歩解释本专利技术双向曝光的连续性生产，列举具体的实施方式。如图7a_图7e所示，步骤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光机，其特征在于，包括：载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件；光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。

【技术特征摘要】
1.一种曝光机，其特征在于，包括 载物框，所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件； 光源装置，位于所述载物框所在平面的一侧，且出光方向垂直于所述载物框所在平面。2.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述载物框为吸光材料的载物框。3.如权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述吸光材料的载物框具体为铝合金载物框或银纳米材料载物框。4.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述固定件为卡夹或真空吸盘。5.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，还包括 水平设置的托台，所述载物框竖直设置于所述托台上。6.如权利要求5所述的曝光机，其特征在于，所述托台上...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆忠，李炳天，黄丽娟，靳福江，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：