化学气相沉积法涂层系统及工艺技术方案

本发明专利技术涉及化学气相沉积法涂层系统及工艺。采用的技术方案是：涂层工艺如下：将基体置于托盘内，然后将托盘码于支撑筒内的沉积区；控制系统控制不同的反应气体分别经气体入口引入气体混合室；混合后的反应气体经进气管进入反应炉内，经预热区预热，挡板和隔板的分散，进入沉积区；控制系统控制加热炉升温，控制沉积区反应温度为900～2000℃，于常压下对基体涂层；产生的尾气经排气帽、尾气入口Ⅰ，预热板和尾气出口Ⅰ进入点火装置，中和液经喷淋装置喷淋，吸收中和尾气，净化后的尾气经尾气出口Ⅱ排出，吸收液经吸收液出口收集，集中处理。采用本发明专利技术，基体涂层具有较高的均匀度和附着力，提高了产品的耐磨损性和耐缺损性，保护了环境。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术创造涉及一种给模具或刀片涂层的系统及工艺，具体地涉及一种采用化学气相沉积法对模具或刀片或金属零件的表面均匀涂层的系统及工艺。
技术介绍
在机加工企业，大量使用钢质模具，硬质合金模具，硬质合金刀片及金属零部件，现有产品，大都是直接采用钢材或合金加工 后，即使用，由于表面无涂层，其耐磨损性能差，使用寿命短，给企业造成生产成本提高，也有对钢质模具，硬质合金模具，硬质合金刀片及金属零部件等表面进行涂层的，但大都采用的是物理法，涂层不均匀，附着力低，因此同样影响使用寿命。
技术实现思路
为了解决以上问题，本专利技术创造提供一种采用化学气相沉积原理的涂层系统及工艺，采用本专利技术创造，基体涂层均匀度高，涂层具有较高的附着力，提高了产品的耐磨损性和耐缺损性。本专利技术创造采用的技术方案是化学气相沉积法涂层系统由控制系统、气体混合室、加热炉、反应炉和尾气吸收塔组成。气体混合室上设有若干气体入口。反应炉置于加热炉内。反应炉内设有支撑筒，支撑筒的上端连接排气帽，支撑筒内从上向下依次分为沉积区、气体分配区和预热区；沉积区内设有若干托盘，托盘上设有若干通气孔I ;气体分配区内设有挡板，挡板上端安装至本文档来自技高网...

【技术保护点】
化学气相沉积法涂层系统，其特征在于：由控制系统（1）、气体混合室（2）、加热炉（4）、反应炉（5）和尾气吸收塔（16）组成；气体混合室（2）上设有若干气体入口（3）；反应炉（5）置于加热炉（4）内；反应炉（5）内设有支撑筒（7），支撑筒（7）的上端连接排气帽（6），支撑筒（7）内从上向下依次分为沉积区、气体分配区和预热区；沉积区内：设有若干托盘（8），托盘（8）上设有若干通气孔Ⅰ；气体分配区内：设有挡板（10），挡板（10）上端安装至少三层隔板（9），隔板（9）上设有若干通气孔Ⅱ；预热区内：安装若干层预热板（13），进气管（11）的出气端与气体分配区相通，支撑筒（7）在预热区部位的下端设有尾气...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朴万成，黄宇哲，李成哲，金哲男，金上万，李权星，王宏刚，
申请(专利权)人：沈阳金研机床工具有限公司，
类型：发明
国别省市：