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本发明涉及化学气相沉积法涂层系统及工艺。采用的技术方案是：涂层工艺如下：将基体置于托盘内，然后将托盘码于支撑筒内的沉积区；控制系统控制不同的反应气体分别经气体入口引入气体混合室；混合后的反应气体经进气管进入反应炉内，经预热区预热，挡板和隔板...
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