【技术实现步骤摘要】
本技术主要涉及一种化学气相沉积法中,用于尾气排放的装置,具体涉及一种尾气吸收塔。
技术介绍
化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,是在相当高的温度下,混合气体与基体表面相互作用,使混合气体中的某些成分分解,并在基体上形成一种金属或化合物的固态薄膜或镀层。近年来,为了提高金属切削工具及金属材料的耐磨性,也采用CVD 技术进行表面薄膜或镀层。在CVD方法中,基本组成包含初始气源,而初始起源包括惰性气体(如氮或氩),还原气体(如氢气)以及各种反应气体(如甲烷、二氧化碳、水蒸气、氨)。大量混合气体进入反应室,CVD的反应温度通常为900~2000℃,因此,高温下,产生大量的酸性气体,如果将这些尾气直接排入大气中,势必对环境造成很大的破坏。
技术实现思路
为了解决以上问题,本技术提供一种净化尾气,减少对环境造成危害的尾气吸收塔。本技术是通过如下技术方案实现的:尾气吸收塔,包括塔体,塔体上、下两端分别设有尾气入口和尾气出口,其特征在于:塔体下端设有吸收液出口,点火装置安装在尾气入口的下端,在塔体内尾气入口的上端安装伞形挡板,伞形挡板上端安装喷淋装置Ⅰ,尾气出口通过管路与引风机连接。上述的尾气吸收塔,为了进一步净化进入大气中的尾气,在塔体内还设有喷淋装置Ⅱ,喷淋装置Ⅱ安装在尾气出口的下端。本技术的有益效果是:本技术由于设置了点火装置,CVD反应产生的尾气经管道进入点火装置,点火后产生的烟气,在引风机的作用下,从尾气入口进入塔体内。由于设有喷淋装置,由喷淋装置喷淋碱性中和液, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.尾气吸收塔,包括塔体(3),塔体(3)上、下两端分别设有尾气入口(6)和尾气出口(1),其特征在于:塔体(3)下端设有吸收液出口(9),点火装置(8)安装在尾气入口(6)的下端,在塔体(3)内尾气入口(6)的上端安装伞形...
【专利技术属性】
技术研发人员:朴万成,黄宇哲,李成哲,金哲男,金上万,李权星,王宏刚,王树才,申光哲,梁旭光,
申请(专利权)人:沈阳金研机床工具有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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