一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于纳米结构薄膜材料制备技术领域，涉及一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置；包括具有反应腔室的沉积系统、自制水冷系统、自制风冷系统、电极控制系统和气体控制系统；自制水冷系统由铜管、冷却循环水机和冷却水管组成；自制风冷系统由风冷隔绝气罩和风冷机组成；电极控制系统由电阻丝加热板、两个不锈钢支撑架和两个符合条件的绝缘云母片组成；电极控制系统由电阻丝加热板、两个不锈钢支撑架和两个绝缘云母片组成；气体控制系统由气体质量流量计、依次排列的氢气发生器、氩气气瓶、甲烷气瓶、氢气气瓶组成；本实用新型专利技术安置符合条件的电阻丝加热板、不锈钢支撑架及绝缘隔绝原件，减小了原有装置对温度的限制。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于纳米结构薄膜材料制备
，涉及一种CVD(等离子增强化学气相沉积PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置。
技术介绍
石墨烯，近几年发现一种具有很多奇特性质的材料。它是由六边形的网状结构碳原子构成，碳原子之间的排列与石墨单原子层排列是相同的，具有极好的结晶性，是构建其它碳质材料不同维数的基本单元。其C-C之间以SP2键相连，具有大的比表面积。目前自然界不存在自由状态石墨烯片，这种二维原子晶体，是碳的基本结构单元，通常它会堆叠成体相石墨、卷曲成富勒烯或者纳米碳管。自从AndreK.Geim团队在2004年第一次成功的制备石墨烯以来，这种特殊材料优良的物理和化学性质就备受人们关注。掀起了世界范围内的研究热潮，目前，石墨烯这种具有优良特性的特殊材料已经是物理、化学工业和材料科学界等众多领域最热门研究主题。石墨烯是现在世界上所发现的最薄但最坚硬的一种纳米级别材料，石墨烯同时具有很多非常好的性能，包括超大比表面积、导电性、透光性和导热性能，在众多领域有着广泛的潜在应用，可利用于军工、航天、新能源、电子、半本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置，包括具有反应腔室的沉积系统，其特征在于：还包括自制水冷系统、自制风冷系统、电极控制系统和气体控制系统；所述自制水冷系统主要由铜管、冷却循环水机和冷却水管组成；所述铜管“一字型”横向排列、“U”形回旋、并且紧密贴合在沉积系统的反应腔室外侧，所述冷却循环水机连接冷却水管，将冷却循环水机制冷生成的冷却水循环流通于所述铜管中；所述自制风冷系统主要由风冷隔绝气罩和风冷机组成；所述风冷隔绝气罩设置在沉积系统的反应腔室外部，所述风冷机生成的冷气通过气管循环流通于风冷隔绝气罩之内；所述电极控制系统主要由电阻丝加热板、两个不锈钢支撑架和两个绝缘云母片组成；所述两...

【技术特征摘要】
1.一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置，包括具有反应腔室的沉积系统，其特征在于：还包括自制水冷系统、自制风冷系统、电极控制系统和气体控制系统；所述自制水冷系统主要由铜管、冷却循环水机和冷却水管组成；所述铜管“一字型”横向排列、“U”形回旋、并且紧密贴合在沉积系统的反应腔室外侧，所述冷却循环水机连接冷却水管，将冷却循环水机制冷生成的冷却水循环流通于所述铜管中；所述自制风冷系统主要由风冷隔绝气罩和风冷机组成；所述风冷隔绝气罩设置在沉积系统的反应腔室外部，所述风冷机生成的冷气通过气管循环流通于风冷隔绝气罩之内；所述电极控制系统主要由电阻丝加热板、两个不锈钢支撑架和两个绝缘云母片组成；所述两个不锈钢支撑架设置于沉积系统的反应腔室内部，两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘石，崔海宁，刘啸宇，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：新型
国别省市：吉林;22