温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于纳米结构薄膜材料制备技术领域，涉及一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置；包括具有反应腔室的沉积系统、自制水冷系统、自制风冷系统、电极控制系统和气体控制系统；自制水冷系统由铜管、冷却循环水机和冷却水管组成；自制风冷系...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。