【技术实现步骤摘要】
一种防硅片错位的扩散石英舟
本技术涉及一种扩散石英舟，具体的涉及一种防硅片错位的扩散石英舟。
技术介绍
制造功率硅整流元件的关键工艺是硅单晶片的杂质扩散，纸源扩散是将两种纸源与硅片交替叠放于扩散石英舟，在进行高温纸源扩散过程中，纸源的燃烧会发生轻微的沸动，由纸源燃烧所产生大量热能转化而来的动能会使得硅片产生位移而错位，硅片放置在传统的扩散石英舟内会发生较大的位移而错位，并且传统扩散石英舟很容易发生变形，这样导致硅片与扩散石英舟之间的间隙变得很小，纸源扩散后硅片不易从扩散石英舟内取出，这样在进行后续浸泡氢氟酸的工序时，需要将整个扩散石英舟与硅片一起浸泡入氢氟酸内，而氢氟酸对石英有较强的腐蚀性，这样大大减少了扩散石英舟的寿命。传统的扩散石英舟采用的是四根石英棒作为定位点，在高温的作用下，石英棒较易变形从而易断裂，减少了石英舟的整体寿命。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述存在的缺陷而提供一种防硅片错位的扩散石英舟，该种扩散石英舟既解决高温纸源扩散后硅片发生较大错位后难以从扩散石英舟内取片的问题；又解决了高温纸源扩散后用来定位的石英棒易变形断裂的问题。本技术的技...
【技术保护点】
一种防硅片错位的扩散石英舟，包括舟体，其特征在于，所述舟体内设有若干个挡板，该挡板包括若干石英片；所述挡板为中间低两端高；所述舟体底部纵向一侧的外表面上固定有支撑结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈思太，盛春芳，周涛，
申请(专利权)人：淄博晨启电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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