一种硅片PN扩散用碳化硅舟制造技术

本发明专利技术涉及硅片PN扩散积层用存放工装，具体涉及一种硅片PN扩散用碳化硅舟。它包括舟体、圆形隔板、圆形隔块，舟体是长方体状，舟体中间开有一个长方形孔，长方形孔内两侧对应开有若干卡槽，长方形孔两侧卡槽之间的舟体设计成坡面，圆形隔板装在卡槽内，最两端圆形隔板之间装有圆形隔块。优点是设计简单，使用方便，结构合理，适合于待扩散硅片积层放置用工装，其特点是：纯度高，硬度大，耐碱腐蚀；因为经过硅片PN扩散后有残留的杂质源沾在工装表面上，必须以强碱液去除，所以新型工装必须耐碱腐蚀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅片PN扩散积层用存放工装，具体涉及一种硅片PN扩散用碳化硅舟。
技术介绍
高压二极芯片核心是PN结，它是由原始单晶片两面分别涂上P源、N源，然后将若干片涂源后的硅片置于专用工装上夹紧进行积层，再放入高温扩散炉中进行扩散，扩散温度一般在1250°C以上，时间超过40H，因此对积层用工装有很高的要求。目前一般硅片PN扩散用多晶硅舟，每次使用前必须用KOH溶液进行洗净，多晶硅不耐碱腐蚀，多次清冼后变形、寿命短，且对积层质量(不易积紧，表面杂质源挥发)造成影响，从而使扩散后参数变差，最终影响制品良率。
技术实现思路
、 为了解决上述问题，本专利技术提出了一种硅片PN扩散用碳化硅舟，设计简单，使用方便，是一种待扩散硅片积层用工装，纯度高，硬度大，耐碱腐蚀，使用寿命长。为了达到上述专利技术目的，本专利技术提出了以下的技术方案: 一种硅片PN扩散用碳化硅舟，它包括舟体、圆形隔板、圆形隔块，舟体是长方体状，舟体中间开有一个长方形孔，长方形孔内两侧对应开有若干卡槽，长方形孔两侧卡槽之间的舟体设计成坡面，圆形隔板装在卡槽内，最两端圆形隔板之间装有圆形隔块。所述的舟体两端还开有推拉孔。所述的舟体整体呈板状，横向中间凸起状。所述的长方形孔两侧卡槽之间的舟体设计成坡面，即长方形孔两侧长边设计成坡面，两侧坡面相配合形成托面。所述的舟体采用碳化硅制作一体成型。本专利技术的优点是设计简单，使用方便，结构合理，适合于待扩散硅片积层放置用工装，其特点是:纯度高，硬度大，耐碱腐蚀。因为经过硅片PN扩散后有残留的杂质源沾在工装表面上，必须以强碱液去除，所以新型工装必须耐碱腐蚀。由原多晶硅舟改为碳化硅舟(高纯)。可解决以上问题。碳化硅纯度高，扩散时不导入其它杂质污染；与碱液无任何作用，耐腐蚀；熔点高于多晶硅，耐高温性能更优；硬度大，积层紧硅片不易变形。碳化娃舟因其耐喊腐，恪点尚，其使用寿命远尚于多晶娃舟。多晶娃舟寿命为积层扩散30次，碳化硅则达到150次左右。碳化硅舟积层扩散后的硅片无翘曲变形，硅片表面附着杂质源不易挥发，扩散后硅片表面浓度均一性好。制成品良率高于多晶硅舟2.5%。【附图说明】图1是本专利技术的示意图。图2是本专利技术的舟体的示意图。【具体实施方式】为了对本专利技术进一步的说明，下面结合说明书附图来介绍: 参照附图，一种硅片PN扩散用碳化硅舟，它包括舟体1、圆形隔板2、圆形隔块3，舟体I是长方体状，舟体I中间开有一个长方形孔3，长方形孔3内两侧对应开有若干卡槽4，长方形孔两侧卡槽4之间的舟体I设计成坡面6，圆形隔板2装在卡槽4内，最两端圆形隔板2之间装有圆形隔块3。所述的舟体I两端还开有推拉孔5。所述的舟体I整体呈板状，横向中间凸起状。所述的长方形孔3两侧卡槽4之间的舟体设计成坡面6，即长方形孔两侧长边设计成坡面6，两侧坡面6相配合形成托面7。所述的舟体I采用碳化硅制作一体成型。本专利技术的使用时，先把若干圆形隔板插在舟体上在卡槽内，然后把两端圆形隔块放在最两端圆形隔板之间，圆形隔块下端坐在托面上，其他隔板之间舟体上端托面上放置硅片8，本碳化硅舟用于积层三英寸扩散硅片8，每舟可积层硅片数量为500片。圆形隔块用来两端防护压紧中间的积层硅片8，圆形隔块通过两端的圆形隔板固定夹紧，如果之间有松动，圆形隔块与圆形隔板之间继续插状圆形隔板，保证夹紧。【主权项】1.一种硅片PN扩散用碳化硅舟，它包括舟体、圆形隔板、圆形隔块，其特征是舟体是长方体状，舟体中间开有一个长方形孔，长方形孔内两侧对应开有若干卡槽，长方形孔两侧卡槽之间的舟体设计成坡面，圆形隔板装在卡槽内，最两端圆形隔板之间装有圆形隔块。2.根据权利要求1所述的一种硅片PN扩散用碳化硅舟，其特征是所述的舟体两端还开有推拉孔。3.根据权利要求1所述的一种硅片PN扩散用碳化硅舟，其特征是所述的舟体整体呈板状，横向中间凸起状。4.根据权利要求1所述的一种硅片PN扩散用碳化硅舟，其特征是所述的长方形孔两侧卡槽之间的舟体设计成坡面，即长方形孔两侧长边设计成坡面，两侧坡面相配合形成托面。5.根据权利要求1所述的一种硅片PN扩散用碳化硅舟，其特征是所述的舟体采用碳化硅制作一体成型。【专利摘要】本专利技术涉及硅片PN扩散积层用存放工装，具体涉及一种硅片PN扩散用碳化硅舟。它包括舟体、圆形隔板、圆形隔块，舟体是长方体状，舟体中间开有一个长方形孔，长方形孔内两侧对应开有若干卡槽，长方形孔两侧卡槽之间的舟体设计成坡面，圆形隔板装在卡槽内，最两端圆形隔板之间装有圆形隔块。优点是设计简单，使用方便，结构合理，适合于待扩散硅片积层放置用工装，其特点是：纯度高，硬度大，耐碱腐蚀；因为经过硅片PN扩散后有残留的杂质源沾在工装表面上，必须以强碱液去除，所以新型工装必须耐碱腐蚀。【IPC分类】H01L21/673【公开号】CN105070677【申请号】CN201510576289【专利技术人】陈许平 【申请人】南通皋鑫电子股份有限公司【公开日】2015年11月18日【申请日】2015年9月11日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片PN扩散用碳化硅舟，它包括舟体、圆形隔板、圆形隔块，其特征是舟体是长方体状，舟体中间开有一个长方形孔，长方形孔内两侧对应开有若干卡槽，长方形孔两侧卡槽之间的舟体设计成坡面，圆形隔板装在卡槽内，最两端圆形隔板之间装有圆形隔块。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈许平，
申请(专利权)人：南通皋鑫电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32