【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅片扩散工艺中用的石英舟。
技术介绍
硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和POCL3 等气体，在高温下分解后在硅片表面形成P-N 结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将硅片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。目前的石英舟都是纵向排列硅片的，由于气体在管道中横向流通，因此纵向排列的硅片对气体有阻挡，影响硅片的扩散，而且，现有的石英舟的一端仅有一个圆环，在用带钩的石英杆或金属杆将石英舟从管道中拉出时，石英杆或金属杆上的钩很难对准圆环，而且盲目的操作杆子可能会损坏石英舟和硅片。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点，本技术的目的在于提供一种可横向排列硅片，方便用石英杆推拉的用于硅片扩散的石英舟。 为了解决上述问题，本技术采用以下技术方案：一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组硅片座的横梁...
【技术保护点】
一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。
技术研发人员：陈文学，
申请(专利权)人：济南晶博电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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