一种硅片高效扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片高效扩散炉，包括炉体和炉门，炉体内设有石英舟，在炉体的上端开设有进气口，进气口连接进气管，在炉体的底部开设有出气口，且出气口连接尾气排放管，在炉体的炉口处设有炉门，炉门的中心设有转轴，炉门的外壁上固定设有凸起，在炉门上开设有两个与转轴对称的窗口，在炉体的炉口处还设有与窗口相匹配的石英挡块，在炉体的外侧固定有U形支架，在U形支架上分别设有第一伸缩气缸、第二伸缩气缸、第三伸缩气缸，且第一伸缩气缸和第二伸缩气缸分别紧贴凸起，第三伸缩气缸连接石英推拉杆，本实用新型专利技术结构原理简单、操作方便，能够实现自动开关炉门，自动进出石英舟，自动化程度高，提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池硅片加工
，具体为一种硅片高效扩散炉。
技术介绍
太阳能电池需要一个大面积的 PN 结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池 PN 结的专用设备。扩散炉一般包括设置有炉门的炉体，炉体内设有石英舟，硅片放置于石英舟上，炉体上设有用于扩散气体进入炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管，所述排放管上连接有抽风机，扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源，把P型硅片放在扩散炉的石英舟内，在 850-900 摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英舟，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子，经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了 N 型半导体和 P型半导体的交界面，也就是PN结。这种方法制出的PN结均匀性好，方块电阻的不均匀性小于百分之十，少子寿命可大于10μs，制造PN结是太阳电池生产最基本也是最关键的工序。因为正是PN结的形成，才使电子和空穴在流动后不再回到原处，这样就形成了电流，用导线将电流引出，就是直流电。由于扩散炉的炉门通常较重，人工打开或关闭较为困难，为了将方便将硅片放入炉体内和从炉体内取出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片高效扩散炉, 包括炉体（1）和炉门（2），其特征在于：所述炉体（1）内设有石英舟（3），在所述炉体（1）的上端开设有进气口（4），所述进气口（4）连接进气管（5），在所述炉体（1）的底部开设有出气口（6），且所述出气口（6）连接尾气排放管（7），在所述炉体（1）的炉口处设有炉门（2），所述炉门（2）的中心设有转轴（8），所述炉门（2）的外壁上固定设有凸起（9），在所述炉门（2）上开设有两个与转轴（8）对称的窗口（10），在所述炉体（1）的炉口处还设有与窗口（10）相匹配的石英挡块（11），在所述炉体（1）的外侧固定有U形支架（12），在所述U形支架（12）上分别设有第一伸缩气缸（13）...

【技术特征摘要】
1.一种硅片高效扩散炉, 包括炉体（1）和炉门（2），其特征在于：所述炉体（1）内设有石英舟（3），在所述炉体（1）的上端开设有进气口（4），所述进气口（4）连接进气管（5），在所述炉体（1）的底部开设有出气口（6），且所述出气口（6）连接尾气排放管（7），在所述炉体（1）的炉口处设有炉门（2），所述炉门（2）的中心设有转轴（8），所述炉门（2）的外壁上固定设有凸起（9），在所述炉门（2）上开设有两个与转轴（8）对称的窗口（10），在所述炉体（1）的炉口处还设有与窗口（10）相匹配的石英挡块（11），在所述炉体（1）的外侧固定有U形支架（12），在所述U形支架（12）上分别设有第一伸缩气缸（13）、第二伸缩气缸（14）、第三伸缩气缸（15），且所述第一伸缩气缸（13）和所述第二伸缩气缸（14）分别紧贴凸起（9），所述第三伸缩气缸（15）连接石英推拉杆（16），所述石英推拉杆（16）与石英舟（3）在同一直线上...

【专利技术属性】
技术研发人员：周士杰，陈圣铁，
申请(专利权)人：温州隆润科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33