【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏
,具体涉及一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉。
技术介绍
随着晶体硅太阳能电池制作技术的日益发展与成熟,在保证现有电池产品光电转换效率及质量的基础上如何有效降低制造成本、提高自身产品市场竞争力已成为光伏界各电池生产厂家决策者所普遍关注和急需解决的一个世纪问题。扩散炉是大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。在对硅片进行加工时,硅片一般是放置在硅舟中,硅舟放置于扩散炉内,然而加工过程中,硅舟两端的硅片与硅舟中间的硅片技术参数差异较大,甚至会导致加工出来的硅片出现不合格。因此,常用的扩散炉加工出来的硅片技术参数一致性较差。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
的不足,本技术提供一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉,主要解决了现有扩散炉中加工出来的硅片技术参数一致性较差的问题,该用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉结构设计合理简单,硅舟四周设有设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部,从而减小硅舟上硅片受不均匀气流而导致的不合格品量,提高加工出来的硅片的技术参数的一致性,提高硅片质量,同时设有扩散炉本体内设有漏斗状抽气罩,排掉出舟时散发的大量高温有毒气体,确保作业的安全性能。本技术所采用的技术方案是:一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉,所述推舟装置包括硅舟,所述硅舟置于悬臂推拉舟机构上,所述悬臂推拉舟机构均匀排列有栅栏,所述栅栏置于硅舟四周,栅栏外侧面设有棱角结构 。所述悬臂推拉舟机构包括有伺服电机、减速机、同步带及同步带的传动机构。所述推舟装置置于扩散炉本体内,通过 ...
【技术保护点】
一种用于扩散炉的推舟装置,所述推舟装置包括硅舟(1),其特征在于:所述硅舟(1)置于悬臂推拉舟机构(2)上,所述悬臂推拉舟机构(2)均匀排列有栅栏(3),所述栅栏(3)置于硅舟(1)四周,栅栏(3)外侧面设有棱角结构(4)。
【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉的推舟装置,所述推舟装置包括硅舟(1),其特征在于:所述硅舟(1)置于悬臂推拉舟机构(2)上,所述悬臂推拉舟机构(2)均匀排列有栅栏(3),所述栅栏(3)置于硅舟(1)四周,栅栏(3)外侧面设有棱角结构(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的推舟装置,其特征在于:所述悬臂推拉舟机构(2)包括有伺服电机、减速机、同步带及同步带的传动机构...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡伦,
申请(专利权)人:温州巨亮光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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