一种扩散炉暂存区冷却装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扩散炉
，尤其涉及一种扩散炉暂存区冷却装置。
技术介绍
在光伏电池行业中，暂存区指的是扩散炉或PECVD设备内设置在机械手立柱上、用于待工艺舟和已工艺舟存放的一套机械结构。暂存区的作用有多种，例如：1、提高机械手传输舟的效率，减少已工艺石英舟与待工艺石英舟输送替换的时间；2、用于已工艺舟的自然冷却，由于已工艺舟从石英管出来后温度非常高，当设备为侧向出舟方式时，已工艺的舟需先放置在暂存区上冷却至一定温度后，方可通过人工取放或侧向出舟机构传送至自动插片机内。现有技术中的扩散炉暂存区一般未设置有效的散热冷却结构，导致工艺舟冷却时间非常长，严重影响加工效率。因此，如何设计一种结构简洁、冷却效率高的扩散炉暂存区冷却装置是业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出一种扩散炉暂存区冷却装置，该冷却装置通过吹风的方式进行散热，快速有效的降低载片舟及硅片的温度。本技术采用的技术方案是，设计一种扩散炉暂存区冷却装置，包括：至少一个用于放置载片舟的暂存区、设置暂存区外的风机、设置在各暂存区下方的吹风支管、将所有吹风支管连接至风机的出风口的通风主管道，吹风支管上排列设有开口朝上的通风孔。优选的，风机的进风口和/或出风口连接有过滤器。优选的，风机为高压风机，高压风机的进风口或出风口连接有释压阀。本技术在各个暂存区下方均设置有吹风支管，在吹风支管上设置有位于暂存区上载片舟摆放位置下方的通风孔，由风机提供风量经通风孔吹向载片舟及硅片，从而带走热量，既能快速有效的降低载片舟和硅片的温度，又能降低扩散炉内部的温度，本技术能很好的适用于扩散炉。附图说明下...
【技术保护点】
一种扩散炉暂存区冷却装置，包括：至少一个用于放置载片舟（5）的暂存区（1），其特征在于，还包括：设置暂存区（1）外的风机（2）、设置在各暂存区（1）下方的吹风支管（3）、将所有吹风支管（3）连接至所述风机（2）的出风口的通风主管道（4），所述吹风支管（3）上排列设有开口朝上的通风孔。
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉暂存区冷却装置，包括：至少一个用于放置载片舟（5）的暂存区（1），其特征在于，还包括：设置暂存区（1）外的风机（2）、设置在各暂存区（1）下方的吹风支管（3）、将所有吹风支管（3）连接至所述风机（2）的出风口的通风主管道（4），所述吹风支管（3）上排列...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖岳南，张勇，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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