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本实用新型公开了一种扩散炉暂存区冷却装置，包括：至少一个用于放置载片舟的暂存区、设置暂存区外的风机、设置在各暂存区下方的吹风支管、将所有吹风支管连接至风机的出风口的通风主管道，吹风支管上排列设有开口朝上的通风孔。本实用新型通过吹风的方式进行...
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