一种石英舟制造技术

本用新型涉及一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。这样能够便于机械手将石英舟从扩散炉中搬运到插片机上以及便于插片机对石英舟进行定位并装卸硅片。与现有石英舟相比，本实用新型专利技术的石英舟适用自动化加工，大大提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英制品
，具体涉及一种石英舟。
技术介绍
石英舟是晶硅太阳能电池扩散工序中用于承载硅片，将硅片置于扩散炉中反应的载具，具有耐高温和化学稳定性。传统的硅片，在加工过程中，需要人工将载有硅片的石英舟从扩散炉中搬到插片机上进行装卸片或者需要人工插片，自动化程度低；另外，现有的石英舟装片间距较大(例如间距为4.76mm)，在相同工艺条件下的产能并不高，生产效率低。随着硅片自动化加工程度越来越高，因此，需要一种适应自动化加工、生产效率高的石英舟。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种适用自动化加工、生产效率高的石英舟。本技术是这样实现的，提供一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。进一步地，每一所述槽棒上的卡槽均匀间隔设置，相邻两个卡槽之间的间距为2mm-2.5mm。进一步地，所述槽棒有四根，四根所述槽棒相互平行并垂直于所述石英板的内端面，四根所述槽棒在所述石英板上呈倒等腰梯形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，其特征在于，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，其特征在于，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，每一所述槽棒上的卡槽均匀间隔设置，相邻两个卡槽之间的间距为2mm-2.5mm。3.根据权利要求1或2所述的石英舟，其特征在于，所述槽棒有四根，四根所述槽棒相互平行并垂直于所述石英板的内端面，四根所述槽棒在所述石英板上呈倒等腰梯形分布。4.根据权利要求3所述的石英舟，其特征在于，四根所述槽棒包括两根位于等腰梯形长底边上的第一槽棒和两根位于等腰梯形短底边上的第二槽棒，所述两根第一槽棒分别开设槽口相对、槽宽相同的第一卡槽，所述两根第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊朝，向文山，李军阳，李学文，
申请(专利权)人：深圳丰盛装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44