一种可以增大产能的新型石英舟制造技术

技术编号:9130218 阅读:158 留言:0更新日期:2013-09-06 00:21
一种可以增大产能的新型石英舟,包括舟架,所述舟架顶部对称设置有侧挡杆,舟架内壁底部设置有底部挡杆,挡杆上均设置有放置硅片的齿槽,各齿槽的宽度和间隔均相等。本实用新型专利技术具有结构紧凑、简单易用、方便可靠的特点,当待扩散的硅片放入石英舟进行高温扩散时,舟架顶部的侧挡杆会有效的阻挡硅片在高温下的横向形变,而减少槽齿间距可以在石英舟上放置更多的硅片,提高产能的同时保证扩散气体在硅片之间的填充效果,保证硅片表面扩散的均匀性。本实用新型专利技术降低了硅片高温扩散不均匀的风险,增加量产能,降低了成本,具有很好的推广和应用价值。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种可以增大产能的新型石英舟,包括舟架,其特征是所述舟架顶部对称设置有侧挡杆,舟架内壁底部设置有底部挡杆,挡杆上均设置有放置硅片的齿槽,各齿槽的宽度和间隔均相等。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王晨光李国庆许江峰
申请(专利权)人:湖北弘元光伏科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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