【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池制造
，具体涉及一种扩散用的石英扩散炉管。
技术介绍
近年来，光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。当前，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电。在太阳能电池片的制备工艺中，扩散工艺是核心之一，其直接关系到电池片的核心性能。目前，普遍采用的液态源管式扩散法，即包括石英扩散炉管和喷淋管，使用时需要将喷淋管由炉管上部尾端插入石英扩散炉管，喷淋管通过球碗与石英扩散炉管的尾部连接，其中球碗的前端连接喷淋管，碗部与石英扩散炉管的球头配合连接；因此，喷淋管会经过炉管加热部与非加热部两段区域；由于以上两部分区域温差较为明显，结果便会导致存在于炉管非加热部分空间部位的扩散酸性气氛最终以固体形态沉积于此空间位置的喷淋管外壁上；而该层物质会逐渐腐蚀喷淋管管壁，时间稍长便会导致喷淋管报废，同时也会导致炉管内硅片方阻波动等异常。有鉴于此，开发一种新的扩散用的石英扩散炉管，解决现有技术中在石英炉尾部容易出现偏磷酸结晶体的缺陷，显然是非常必要的。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种扩散用的石英扩散炉管。为达到上述专利技术目的，本技术采用的技术方案是：一种扩散用的石英扩散炉管，所述石英扩散炉管的尾部设有球头，所述石英扩散炉管的尾部还设有至少1个旁路管，且该旁路管与所述石英扩散炉管的内部空间连通。上文中，所述石英扩散炉管的内部空间是指管子内部的空间，因为管子是空心的；该内部空间主要用于通入气体以及用于插入喷淋管。上述技术方案中，所述旁路管与所述球头之间的间距小于...
【技术保护点】
一种扩散用的石英扩散炉管，所述石英扩散炉管(1)的尾部设有球头(3)，其特征在于：所述石英扩散炉管的尾部还设有至少1个旁路管(4)，且该旁路管与所述石英扩散炉管的内部空间连通。
【技术特征摘要】
1.一种扩散用的石英扩散炉管，所述石英扩散炉管(1)的尾部设有球头(3)，其特征在于：所述石英扩散炉管的尾部还设有至少1个旁路管(4)，且该旁路管与所述石英扩散炉管的内部空间连通。2.根据权利要求1所述的扩散用的石英扩散炉管，其特征在于：所述旁路管与所述球头之间的间距小于等于6 cm。3.根据权利要求2所述的扩散用的石英扩散炉管，其特征在于：所述旁路管与所述球头之间的间距为1.5~3 cm。4.根据权利要求2所述的扩散用的石英扩散炉管，其特征在于：所述旁路管与所述球头之间的间距为2 cm。5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐义胜，韩树果，张春华，衡阳，刑国强，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。