一种石英舟制造技术

本发明专利技术公开了一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。本发明专利技术能够快速放入硅片，定位硅片，且不会造成硅片结构的破坏，不影响硅片的质量。

Quartz boat

The invention discloses a quartz boat, including two bearings, connecting rod and a lower connecting rod, two support through the connecting rod and the lower connecting rod are connected into a whole, on the connecting rod is connected on the upper part of the support, under the connecting rod is connected on the lower half bearing, the upper connecting rod and the lower the connecting rod is provided with a plurality of slots, the slot is a rectangular slot, the upper slot is arranged on the inner side of a rectangular fillet. The invention can quickly put into the silicon wafer and position the silicon wafer, and can not cause the damage of the silicon chip structure, and the silicon wafer quality is not affected.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种石英制品用到的设备，尤其涉及一种可存放硅片的石英舟。
技术介绍
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英舟是扩散时用到的工具。授权公告号为CN202503019U，授权公告日为2012年10月24日的中国专利技术专利公开了一种能够承载不同规格硅片的多功能石英舟，属于石英制品
多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨和龙筋，所述龙骨和龙筋上均设置有成排的卡槽，所述龙骨和龙筋上的卡槽均设置在内上角。本专利技术创造性地采用“内上角”技术固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式较之以往发生了改变，使得原本石英舟只适应一种规格大小的硅片变成了可以适应多种大小规格的硅片。但是该专利技术存在如下不足之处：设置的卡槽为矩形槽，硅片在插入时不容易定位，容易破坏硅片两边的结构，影响硅片的质量；该专利技术虽然能够存放不同规格大小的硅片，但是却不能同时存放不同形状的硅片，例如不同既存放矩形硅片又能存放圆形硅片，适用范围较窄。
技术实现思路
为了克服上述石英舟存在的卡槽损坏硅片结构的缺陷，本专利技术提供了一种石英舟，该石英舟改进了卡槽的形状，能够快速放入硅片，定位硅片，且不会造成硅片结构的破坏，不影响硅片的质量。本专利技术为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，其特征在于：所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。所述支座上设置有上横向滑槽和下横向滑槽，上连接杆穿过上横向滑槽，下连接杆穿过下横向滑槽，上连接接杆和下连接杆上均套接有紧固螺母，紧固螺母能够将上连接杆和下连接杆分别固定在上横向滑槽内和下横向滑槽内。所述上连接杆至少有两根，所述下连接杆至少有一根。与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：本专利技术包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，其特征在于：所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。本专利技术的矩形卡槽上端内侧设置有过渡圆角，过渡圆角的优点在于便于硅片准确的插入到矩形卡槽内，而且不会造成硅片的磨损，不会影响硅片的表面质量。本专利技术支座上设置有上横向滑槽和下横向滑槽，上连接杆穿过上横向滑槽，下连接杆穿过下横向滑槽，上连接接杆和下连接杆上均套接有紧固螺母，紧固螺母能够将上连接杆和下连接杆分别固定在上横向滑槽内和下横向滑槽内。上连接杆至少有两根，所述下连接杆至少有一根，通过调节上连接杆之间的距离以及下连接杆的在下横向滑槽的位置，可以满足不同规格和不同形状的硅片的放置。适用范围大大扩大。附图说明图1是本专利技术整体结构示意图；图2是图1的侧视图；图3是本专利技术卡槽的结构示意图。图中标记：1、支座，2、上连接杆，3、下连接杆，4、卡槽，5、过渡圆角，6、紧固螺母，7、上横向滑槽，8、下横向滑槽。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术作进一步的描述，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的其他所用实施例，都属于本专利技术的保护范围。实施例1本实施例包括两个支座1、上连接杆2和下连接杆3，两个支座1通过上连接杆2和下连接杆3连接成一个整体，上连接杆2连接在支座1的上半部，下连接杆3连接在支座1的下半部，上连接杆2和下连接杆3上均设置有多个卡槽4，其特征在于：所述卡槽4为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角5。本实施例的矩形卡槽上端内侧设置有过渡圆角，过渡圆角的优点在于便于硅片准确的插入到矩形卡槽内，而且不会造成硅片的磨损，不会影响硅片的表面质量。上连接杆2有两根，所述下连接杆3有一根。实施例2本实施例包括两个支座1、上连接杆2和下连接杆3，两个支座1通过上连接杆2和下连接杆3连接成一个整体，上连接杆2连接在支座1的上半部，下连接杆3连接在支座1的下半部，上连接杆2和下连接杆3上均设置有多个卡槽4，其特征在于：所述卡槽4为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角5。本实施例的矩形卡槽上端内侧设置有过渡圆角，过渡圆角的优点在于便于硅片准确的插入到矩形卡槽内，而且不会造成硅片的磨损，不会影响硅片的表面质量。上连接杆2有两根，所述下连接杆3有一根。本实施例支座1上设置有上横向滑槽7和下横向滑槽8，上连接杆2穿过上横向滑槽7，下连接杆3穿过下横向滑槽8，上连接接杆2和下连接杆3上均套接有紧固螺母6，紧固螺母6能够将上连接杆2和下连接杆3分别固定在上横向滑槽7内和下横向滑槽8内。上连接杆2有两根，所述下连接杆3有两根，通过调节上连接杆之间的距离以及下连接杆的在下横向滑槽的位置，可以满足不同规格和不同形状的硅片的放置。适用范围大大扩大。实施例3本实施例包括两个支座1、上连接杆2和下连接杆3，两个支座1通过上连接杆2和下连接杆3连接成一个整体，上连接杆2连接在支座1的上半部，下连接杆3连接在支座1的下半部，上连接杆2和下连接杆3上均设置有多个卡槽4，其特征在于：所述卡槽4为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角5。本实施例的矩形卡槽上端内侧设置有过渡圆角，过渡圆角的优点在于便于硅片准确的插入到矩形卡槽内，而且不会造成硅片的磨损，不会影响硅片的表面质量。上连接杆2有两根，所述下连接杆3有两根。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，其特征在于：所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆和下连接杆上均设置有多个卡槽，其特征在于：所述卡槽为矩形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈根法，宋伟宏，
申请(专利权)人：湖州奥博石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33