一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热箱，所述散热箱上还设有用于吸风散热的吸风通道。散热装置侧边设置的吸风通道与设备前门上的进风孔对应，散热装置直接从进风孔吸取外界凉风并吹向石墨舟，实现了石墨舟的高效散热。且散热装置在对二层以下石墨舟散热的同时，被风机冲出的热气还能对第一层石墨舟进行预热，节约了石墨舟的加热能源。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统
本技术涉及一种太阳能光伏行业的散热系统，尤其是一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统。
技术介绍
低压扩散设备和管式CVD设备，是太阳能光伏行业使用最普遍的技术设备，石墨舟和储料架是这两种设备中必不可少的重要部件。石墨舟就是硅片载体，可以把需要做工艺的硅片放于石舟中进行各种镀膜工艺。随着光伏设备技术的发展，降低成本、提高设备的性能和工作可靠性的要求越来越高，现有的石墨舟在储料架上是从下到上叠层放置的，散热风扇直接设置在石墨舟的底部向上吹风进行散热，由于热风冷风之间没有特定的循环路径，下层的热风会直接吹到上层，散热效果不好。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种在石墨舟储料架的散热装置上设置一个用于吸取冷风的吸风通道，将风机的吸风和吹风位置进行隔离，使石墨舟达到一个更好散热效果的扩散和CVD用储舟位并行散热系统。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热箱，所述散热箱上还设有用于吸风散热的吸风通道。作为上述技术方案的改进，所述散热箱上还设有出风通道，所述散热箱内对应出风通道的位置设有散热风机，所述出风通道与散热风机均设置多个。作为上述技术方案的进一步改进，所述储料架还包括立柱和设置在立柱上的连接装置，所述立柱设有多个，每个立柱上对应的水平位置设置一组连接装置，所述连接装置设有多排，每两个立柱之间的连接装置形成一个储舟位。作为上述技术方案的进一步改进，所述储舟位设有两竖列，每竖列设有六个储舟位。作为上述技术方案的进一步改进，所述石墨舟设有多层，所述散热装置设置在首层以下石墨舟的底部。作为上述技术方案的进一步改进，所述PECVD设备框架上还设有便于操作的前门，所述前门设置在PECVD设备框架上，所述前门的位置与储料架的位置对应。作为上述技术方案的进一步改进，所述前门上还设有散热结构，所述散热结构为对应吸风通道设置的进风孔。本技术的有益效果是：本技术设计了一种储料架，储料架上设置了多排石墨舟，且在第二排以下的石墨舟下方设置了散热装置，散热装置的侧边还设置了吸风通道，将散热装置的吹风与吸风位置进行隔离，使吸风通道不受下层吹风通道吹出的热风影响。且设备前门对应通道的地方设置了通风口，散热装置直接从通风口吸取外界凉风吹向石墨舟，实现了石墨舟的高效散热。散热装置在对二层以下石墨舟散热的同时，被风机冲出的热气还能对第一层石墨舟进行预热，节约了石墨舟的加热能源。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术装配示意图；图2是本技术前门结构示意图；图3是本技术储料架装配示意图；图4是本技术散热箱结构示意图。1、散热箱；11、吸风通道；12、出风通道；13、散热风机；2、储料架；21、立柱；22、连接装置；3、PECVD设备框架；4、石墨舟；5、前门；6、进风孔。具体实施方式以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本技术创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。参照图1、图3，一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，包括PECVD设备框架3、石墨舟4和储料架2，所述储料架2上设有用于放置石墨舟4的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟4散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟4的底部，散热装置在石墨舟4的底部对石墨舟4进行吹风散热，使石墨舟4将至可操作温度。所述散热装置包括一个散热箱1，所述散热箱1上还设有用于吸风散热的吸风通道11，散热通道的设置使得散热箱1的进风道和出风道分开，使散热装置吹出的风保持较低的温度，提高散热箱1的散热效率。参照图4，所述散热箱1上还设有出风通道12，所述散热箱1内对应出风通道12的位置设有散热风机13，所述出风通道12与散热风机13均设置多个。多个风机对应石墨舟4的不同位置进行吹风，实现石墨舟4的全面散热，散热范围更广，散热效果更好。参照图3，所述储料架2还包括立柱21和设置在立柱21上的连接装置22，所述立柱21设有多个，每个立柱21上对应的水平位置设置一组连接装置22，所述连接装置22设有多排，每两个立柱21之间的连接装置22形成一个储舟位。优选地所述储舟位设有两竖列，每竖列设有六个储舟位。所述石墨舟4设有多层，所述散热装置设置在首层以下石墨舟4的底部。三根立柱21间隔均匀地固定在PECVD设备框架3内，三根立柱21上均匀地设置六组连接装置22,每两根立柱21之间的连接装置22上放置一个石墨舟4，第二层至第六层的石墨舟4底部设置有散热装置。每层的散热装置内设置的风机均向设置在散热装置上的石墨舟4进行吹风，石墨舟4上的热量被吹向上一层石墨舟4，由于第二层至最后一层石墨舟4的底部均设置有散热箱1，散热箱1的底部可对从下层石墨舟4吹上来的热气进行阻挡，第二层至最后一层的石墨舟4散热情况不会受到影响。首层的两个石墨舟4内放好需要进行加热的冷舟，底部不设置散热装置，位于第二层的散热装置将第二层石墨舟4散发出来的热量吹向首层，实现了首层的预热功能，将石墨舟4自身散发的热量加以利用为首层石墨舟4进行预热，减少了能量的消耗，提高了能量的利用率。参照图1、图2，所述PECVD设备框架3上还设有便于操作的前门5，所述前门5设置在PECVD设备框架3上，所述前门5的位置与储料架2的位置对应。在PECVD设备框架3上对应储料架2设置的前门5便于将PECVD设备框架3打开，对储料架2上的石墨舟4进行操作。所述前门5上还设有散热结构，所述散热结构为对应吸风通道11设置的进风孔6，在散热装置对设置在上方的石墨舟4进行吹风散热时需要利用风机将凉风吸入散热箱1，然后再吹向石墨舟4。如果风机仅在PECVD设备框架3内进行吸风吹风，位于PECVD设备框架3内较热的石墨舟4在不进行特殊散热处理的情况下自身也会散发一定的热量，因此风机吸入的凉风掺杂了石墨舟4散发的热量，温度会升高，再次吹向石墨舟4时散热效果较差。因此将前门5贴合石墨舟4的储料架2设置，位于散热装置上的吸风通道11与设置在前门5上的进风孔6贴合，吸风通道11就可以实现从进风孔6内吸取位于PECVD设备框架3外侧的凉风，不掺杂石墨舟4自身热量的凉风在通过风机吹向石墨舟4时能实现更好的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，其特征在于：包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热箱，所述散热箱上还设有用于吸风散热的吸风通道。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，其特征在于：包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热箱，所述散热箱上还设有用于吸风散热的吸风通道。


2.根据权利要求1所述一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述散热箱上还设有出风通道，所述散热箱内对应出风通道的位置设有散热风机，所述出风通道与散热风机均设置多个。


3.根据权利要求2所述一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述储料架还包括立柱和设置在立柱上的连接装置，所述立柱设有多个，每个立柱上对应的水平位置设置一组连接装置，所述连接装置设有多排，每两...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊朝，寇宗和，
申请(专利权)人：深圳丰盛装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44