一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热箱，所述散热箱上还设有用于吸风散热的吸风通道。散热装置侧边设置的吸风通道与设备前门上的进风孔对应，散热装置直接从进风孔吸取外界凉风并吹向石墨舟，实现了石墨舟的高效散热。且散热装置在对二层以下石墨舟散热的同时，被风机冲出的热气还能对第一层石墨舟进行预热，节约了石墨舟的加热能源。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统
本技术涉及一种太阳能光伏行业的散热系统，尤其是一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统。
技术介绍
低压扩散设备和管式CVD设备，是太阳能光伏行业使用最普遍的技术设备，石墨舟和储料架是这两种设备中必不可少的重要部件。石墨舟就是硅片载体，可以把需要做工艺的硅片放于石舟中进行各种镀膜工艺。随着光伏设备技术的发展，降低成本、提高设备的性能和工作可靠性的要求越来越高，现有的石墨舟在储料架上是从下到上叠层放置的，散热风扇直接设置在石墨舟的底部向上吹风进行散热，由于热风冷风之间没有特定的循环路径，下层的热风会直接吹到上层，散热效果不好。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种在石墨舟储料架的散热装置上设置一个用于吸取冷风的吸风通道，将风机的吸风和吹风位置进行隔离，使石墨舟达到一个更好散热效果的扩散和CVD用储舟位并行散热系统。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，其特征在于：包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热箱，所述散热箱上还设有用于吸风散热的吸风通道。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，其特征在于：包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热箱，所述散热箱上还设有用于吸风散热的吸风通道。


2.根据权利要求1所述一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述散热箱上还设有出风通道，所述散热箱内对应出风通道的位置设有散热风机，所述出风通道与散热风机均设置多个。


3.根据权利要求2所述一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述储料架还包括立柱和设置在立柱上的连接装置，所述立柱设有多个，每个立柱上对应的水平位置设置一组连接装置，所述连接装置设有多排，每两...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊朝，寇宗和，
申请(专利权)人：深圳丰盛装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44