一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；所述的炉门盖在炉口处，且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈，所述的炉门压紧在密封圈上，将反应腔的炉口密封；本实用新型专利技术的有益效果是：能够减缓在炉门打开后反应腔内的热量流失，避免对反应腔的温度造成影响，节省了石墨舟放入反应腔内加热的时间，从而降低了能耗，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构
本技术涉及太阳能电池设备
，更具体的说，本技术涉及一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构。
技术介绍
PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。随着PECVD设备技术的发展，降成本、大产能的要求越来越高，单管的产能也越来越大，相应的真空反应管的直径也越来越大，相应的石墨舟进出的炉门也越来越大。在常见的反应腔中，炉口开口方式是圆形开口，导致反应腔直径有多大，则炉口法兰开口基本就有多大，当炉门打开时，反应腔中的热量就会大量外涌。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，该管式PECVD的反应腔炉口炉门结构提高了反应腔的空间利用率和热能的利用率，达到降低能耗，提高生产效率的目的。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，其改进之处在于：包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；所述的炉门盖在炉口处，且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈，所述的炉门压紧在密封圈上，将反应腔的炉口密封。在上述的结构中，所述的反应腔呈圆柱状，所述炉口朝向炉门的面呈圆形；所述的炉口包括一圆弧边以及连接于圆弧边两端的直线边。在上述的结构中，所述的反应腔具有与之相连接的前支撑板，且前支撑板与反应腔之间设置有保温环；所述前支撑板的另一侧设置有进气法兰，所述的炉口设置在进气法兰上。在上述的结构中，所述的炉门上活动连接有一炉门支撑板，炉门支撑板与炉门之间设置有波纹管和调节螺杆，且所述调节螺杆的一端转动安装在炉门上，调节螺杆的另一端与炉门支撑板螺纹连接。本技术的有益效果是：在炉口打开，将石墨舟放入反应腔内，或者将石墨舟从反应腔内取出时，由于反应腔的温度较高，通过遮挡部位的结构设计，能够减缓在炉门打开后反应腔内的热量流失，避免对反应腔的温度造成影响，节省了石墨舟放入反应腔内加热的时间，从而降低了能耗，提高了生产效率。附图说明图1为本技术的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构的立体结构示意图。图2为本技术的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构的炉口的结构示意图。图3为本技术的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构的具体实施例图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本技术创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。参照图1、图2所示，本技术揭示了一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，具体的，该结构包括反应腔10和炉门20，所述的反应腔10具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口101，该炉口101的顶部设置有一遮挡部位102，该遮挡部位102用于减小反应腔10内的热量流失；本实施例中，所述的反应腔10呈圆柱状，所述炉口101朝向炉门的面呈圆形；如图2所示，所述的炉口101包括一圆弧边1011以及连接于圆弧边1011两端的直线边1012，所述的炉门20的结构与炉口101的结构相同，尺寸略大约炉口101的尺寸；所述的炉门20盖在炉口101处，且炉口101朝向炉门20的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈103，所述的炉门20压紧在密封圈103上，将反应腔10的炉口101密封。因此，在炉口101打开，将石墨舟放入反应腔10内，或者将石墨舟从反应腔10内取出时，由于反应腔10的温度较高，通过遮挡部位102的结构设计，能够减缓在炉门20打开后反应腔10内的热量流失，避免对反应腔10的温度造成影响，节省了石墨舟放入反应腔10内加热的时间，从而降低了能耗，提高了生产效率。另外，在上述实施例的基础上，如图3所示，所述的反应腔10具有与之相连接的前支撑板30，且前支撑板30与反应腔10之间设置有保温环302；所述前支撑板30的另一侧设置有进气法兰303，所述的炉口101设置在进气法兰303上；所述的炉门20上活动连接有一炉门支撑板304，炉门支撑板304与炉门20之间设置有波纹管305和调节螺杆306，且所述调节螺杆306的一端转动安装在炉门20上，调节螺杆306的另一端与炉门支撑板304螺纹连接。通过调节螺杆306的作用，可以对炉门20的平整度进行调整，使得炉门20紧贴在炉口101处，提高真空腔的气密性；通过通过波纹管305的作用，波纹管305具有一定的伸缩量，使得炉门与炉门支撑板为软性连接，便于对炉门的位置进行调整。以上是对本技术的较佳实施进行了具体说明，但本技术创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本技术精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，其特征在于：包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；所述的炉门盖在炉口处，且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈，所述的炉门压紧在密封圈上，将反应腔的炉口密封。

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，其特征在于：包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；所述的炉门盖在炉口处，且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈，所述的炉门压紧在密封圈上，将反应腔的炉口密封。2.根据权利要求1所述的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，其特征在于：所述的反应腔呈圆柱状，所述炉口朝向炉门的面呈圆形；所述的炉口包括一圆弧...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊朝，刘兵吉，李学文，李军阳，
申请(专利权)人：深圳丰盛装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44