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本用新型涉及一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基...
该专利属于深圳丰盛装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳丰盛装备股份有限公司授权不得商用。

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