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预处理硅片湿法制绒的方法技术

技术编号:13511202 阅读:162 留言:0更新日期:2016-08-11 14:11
一种预处理硅片湿法制绒的方法,包括以下步骤:(1)制备亲水性溶液:将亲水性表面活性剂加入到溶剂中,形成互溶的亲水性溶液;(2)预处理硅片:用步骤(1)制备的亲水性溶液均匀地涂覆在待处理硅片的待制绒面上;(3)制绒:将经步骤(2)预处理的硅片进行湿法化学腐蚀,制得绒面。对经步骤(4)处理后的硅片绒面进行全系太阳光谱的反射率测量,所述硅片绒面反射率比现有技术制的绒面反射率低2%左右。采用本发明专利技术,能使硅的腐蚀速率均匀,便于形成陷光结构,从而制得太阳光反射率低于20%的理想绒面,提高光的吸收率,提高光伏电池的转换效率;同时由于腐蚀的均匀可控性,后续电池制作中的色差片的比例也大幅降低。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种,包括以下步骤:(1)制备亲水性溶液:将亲水性表面活性剂加入到溶剂中,形成互溶的亲水性溶液;(2)预处理硅片:用步骤(1)制备的亲水性溶液均匀地涂覆在待处理硅片的待制绒面上;(3)制绒:将经步骤(2)预处理的硅片进行湿法化学腐蚀,制得绒面。对经步骤(4)处理后的硅片绒面进行全系太阳光谱的反射率测量,所述硅片绒面反射率比现有技术制的绒面反射率低2%左右。采用本专利技术,能使硅的腐蚀速率均匀,便于形成陷光结构,从而制得太阳光反射率低于20%的理想绒面,提高光的吸收率,提高光伏电池的转换效率;同时由于腐蚀的均匀可控性,后续电池制作中的色差片的比例也大幅降低。【专利说明】
本专利技术涉及一种硅片制绒的方法,尤其涉及一种。
技术介绍
随着全球经济的快速发展,各行各业对能源的需求日益增多,目前人类所利用能源的绝大多数来源于所谓的矿物燃料,主要有:煤、石油、天然气等,其燃烧都会在空气中释放大量有害气体,如硫氮化合物等,有害气体排放在大气中,使得人类赖以生存的大气环境污染,环境污染对人类的危害越来越严重。我国日益普遍的雾霾天气,就是人们对环境的污染造成的,因此,现在人类保护绿色环境的意识越来越强烈了。因此,减少污染,发展可再生能源已经成为各个国家能源产业的主要方向。太阳通过辐射产生大量的能量传播到地球,它不像化石能源燃烧那样产生有害气体;面对世界能源的急剧匮乏,太阳能越来越受到人们的关注,十三五规划中,我国政府将大力支持光伏产业的发展,规划太阳能等绿色能源将占到能源总需求的20%以上;如何合理有效的实现光伏发电成为可持续发展战略重大组成部分。目前,光伏电池发展的种类已很多,有晶硅电池、薄膜太阳能电池、聚合物太阳能电池、钙钛矿太阳能电池,其中晶硅太阳能电池发展最成熟。晶硅太阳能电池是把太阳光能直接转化为电能的装置,其晶体硅的折射率为3.42,照射在娃基体上的太阳光很大一部分被反射掉,娃电池对太阳光的利用率不高,从而使电池的转化效率降低;人们对电池的表面形貌进一步处理,常用的方法是在电池形成前,在硅片表面形成粗糙的绒面结构,绒面结构可以减少电池表面光的反射从而增加光吸收,太阳能电池的转化效率会有所提高。太阳能电池的减反射膜不仅要有低的减反射率,而且还要具有良好的物理化学性能,以满足后续的工艺要求。在太阳能电池制备中,现有的制绒技术主要有机械刻槽、激光刻蚀、反应离子刻蚀、各向同性的酸腐蚀体系和各向异性的碱腐蚀体系,通常工业上使用碱或者酸化学腐蚀的方法对硅片表面形貌进行修饰,使硅片表面形成凹凸不平的绒面陷光结构。其中多晶硅片在晶硅电池领域中占据了80%以上市场份额,是市场的主流。酸腐蚀制绒体系主要用于多晶电池的制绒中,一般由无机酸、氧化剂、溶剂组成,酸腐蚀系统的优点是过程简单、工艺时间短、材料耗量少、成本低廉,因此多晶硅酸腐蚀制绒被太阳能行业广泛应用。目前广泛应用的是以HF/HN03/H20为基础的酸腐蚀溶液体系,通过腐蚀的硅片一般减重3%左右,同时伴随产生一定量的黄褐色含氮有毒烟雾,且硅在酸腐蚀反应体系中的反应非常复杂,难以控制,由于制绒过程中反应的硅片表面不均匀性,也很容易在后续的PECVD过程中形成色差,反射率的降低程度有限,太阳光的反射率一直在20%以上。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是,克服现有技术存在的上述缺陷,提供一种与湿法腐蚀制绒兼容,腐蚀速率均匀,便于形成良好陷光结构的;应用该方法可以制得太阳光反射率低于20%的绒面,从而提高光的吸收效率,提高光伏电池的光电转换效率。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种,包括以下步骤: (1)制备亲水性溶液:将亲水性表面活性剂加入到溶剂中,进行分散,形成互溶的亲水性溶液,所述亲水性溶液中亲水性表面活性剂的浓度范围为0.00001-lml/ml (优选0.0001-0.0lml/ml),所述溶剂为水或酒精; (2)预处理硅片:用步骤(I)制备的亲水性溶液均匀地涂覆在待处理硅片的待制绒面上,所述亲水性溶液的用量范围是0.05-5ml/片;以此提高该表面的浸润性;若溶液在硅片表面流淌,即为表现出良好的亲水性; (3)制绒:将经步骤(2)预处理后的硅片在湿润状态下进行湿法化学腐蚀,所述化学腐蚀采用富硝酸体系腐蚀溶液对所述硅片进行腐蚀得绒面,所述腐蚀溶液的成分按摩尔配比为H20:HF:HN03=(2-3):1: (3-3.5),腐蚀反应的温度为8-10°C,腐蚀反应的时间为60-90秒。进一步,步骤(I)中,所述亲水性表面活性剂为醚类或酯类或者醇类表面活性剂,在酸性环境下具有很好的稳定性。进一步,步骤(I)中,所述亲水性表面活性剂为Dow公司生产的FC90表面活性剂。进一步,步骤(2)中,所述涂覆的方式为喷淋、涂刷、浸渍中的一种,并且预处理设备安装在制绒设备的前端,实现与制绒设备无缝对接。进一步,所述娃片为多晶娃片。所述步骤(2)预处理硅片的目的在于提高硅片待腐蚀面的亲水性。由于所述亲水性表面活性剂均为水溶性,所以很容易被去除,对完成制绒后的硅片进行喷淋水洗及烘干处理即可;对本专利技术制得的硅片绒面进行全系太阳光谱的反射率测量,所述硅片绒面反射率^ 20%ο所述预处理后的硅片表面的浸润性好,水溶性的酸腐蚀液与硅片表面充分接触,形成相对均匀的氧化还原制绒反应,并且反应产生的气体相对容易脱离,从而制得理想的绒面。将本专利技术方法制备的硅片完成后续扩散、镀膜等电池片工艺,并且检测电池效率,电池绝对效率约有0.05-0.1%左右的提升,主要表现在短路电流的提升,这个主要是入射光吸收增强的原因。与现有技术相比,本专利技术具有以下优点: (1)本专利技术通过对待制绒的硅片进行亲水性预处理,改变了硅片表面的浸润性,使得后续酸制绒过程中,硅的腐蚀速率均匀,从而可以制得太阳光反射率低于20%的理想绒面,增加了光的吸收,进而能够提高光伏电池的光电转换效率; (2)本专利技术操作简单,通过增加一个硅片表面亲水性溶液涂覆装置,与现有技术的湿法链式制绒工艺兼容;生产成本较低,容易实现工业化生产。【附图说明】图1是本专利技术实施例1制备的硅片绒面的扫描电镜图。图2是现有方法制备的硅片绒面的扫描电镜图。【具体实施方式】以下结合附图及具体实施例对本专利技术作进一步说明。实施例1 本实施例之,该方法包括以下步骤: (1)制备亲水性溶液:将亲水性表面活性剂FC90(Dow公司生产的)加入到高纯水中,进行分散,形成互溶的亲水性溶液,所述亲水性溶液中亲水性表面活性剂的浓度范围为0.00001ml/ml; (2)预处理硅片:用步骤(I)制备的亲水性溶液均匀地喷淋在待处理多晶硅片的待制绒面上,以提高该表面的浸润性;所述溶液在硅片表面流淌,表现出了良好的亲水性;所述亲水性溶液的用量为5ml/片;且预处理设备安装在制绒设备的前端,实现与制绒设备无缝对接; (3)制绒:将经步骤(2)预处理后的多晶硅片在湿润状态下进行湿法化学腐蚀,所述化学腐蚀采用富硝酸体系腐蚀溶液对所述硅片进行腐蚀得绒面(绒面的扫描电镜如图1所示,绒面细小且均匀),所述腐蚀溶液的成分按摩尔配比为H2O = HF:ΗΝθ3=2:1:3,腐蚀反应的温度为8V,腐蚀反应的时间为60秒。对本实施例制得的多晶硅片绒面进行D8全系太阳光谱的反射本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种预处理硅片湿法制绒的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)制备亲水性溶液:将亲水性表面活性剂加入到溶剂中,进行分散,形成互溶的亲水性溶液,所述亲水性溶液中亲水性表面活性剂的浓度范围为0.00001‑1ml/ml,所述溶剂为水或酒精;(2)预处理硅片:用步骤(1)制备的亲水性溶液均匀地涂覆在待处理硅片的待制绒面上,所述亲水性溶液的用量范围是0.05‑5ml/片;(3)制绒:将经步骤(2)预处理后的硅片在湿润状态下进行湿法化学腐蚀,所述化学腐蚀采用富硝酸体系腐蚀溶液对所述硅片进行腐蚀,得绒面,所述腐蚀溶液的成分按摩尔配比为H2O:HF:HNO3=(2‑3):1:(3‑3.5),腐蚀反应的温度为8‑10℃,腐蚀反应的时间为60‑90秒。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吕铁铮
申请(专利权)人:吕铁铮
类型:发明
国别省市:湖南;43

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