本实用新型专利技术涉及一种通用型挂架机构，包括花篮和挂架，在花篮的轴向两端各设置有一个滑槽，滑槽包括设置在花篮两侧挡板上的缺口，缺口包括设置在缺口顶部的卡块；挂架包括一个挂钩组件以及设置在挂钩组件轴向两端与滑槽对应的两个挂板，在挂板上设置有与缺口对应的卡条，卡条的一端设置有与卡块对应的卡槽，在卡条定一端设置有一个厚度小于等于卡条的凸台，凸台与卡条之间的夹角大于90°；此挂架横向凸台的设计方式取代了之前的纵向卡槽，在保证花篮装夹稳定的同时，结构也更加简单，同时降低了生产的难度和成本。最终实现来了一种挂架适用多种花篮。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种通用型花篮挂架，属于对晶圆片进行酸洗的放置机构领域。
技术介绍
根据客户要求，有的机台需要满足多种规格的花篮清洗，不同规格的花篮往往需要制造多种对应的花篮挂架，成本较高。因为在以往的机台中，花篮的挂架比较单一，不同的花篮需要专用的挂架，挂架通用性差，在清洗时，需要根据不同的花篮来更换挂架，所以在更换时会占用一些时间，更换过程中也会产生好多不确定因素，如碰撞、摩擦等，会造成零部件的损伤。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:根据所做设备的经验及使用中所产生的问题缺陷，提供一种挂架可以满足至少三种规格的花篮使用。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种通用型挂架机构，包括花篮和挂架，在所述花篮的轴向两端各设置有一个滑槽，所述滑槽包括设置在花篮两侧挡板上的缺口，所述缺口包括设置在缺口顶部的卡块；所述挂架包括一个挂钩组件以及设置在挂钩组件轴向两端与滑槽对应的两个挂板，在所述挂板上设置有与所述缺口对应的卡条，所述卡条的一端设置有与所述卡块对应的卡槽，在卡条定一端设置有一个厚度小于等于卡条的凸台，凸台与卡条之间的夹角大于90。。作为本技术的进一步创新，所述凸台背向卡条的一端设置有倒角。作为本技术的进一步创新，挂架机构还包括用于固定挂架的移动臂，在所述移动臂上设置有用于固定挂架的矩形卡块，所述挂架的挂钩组件包括一个与矩形卡块对应的矩形挂钩。作为本技术的进一步创新，所述挂钩组件包括一个挂钩板，所述挂钩板与挂板之间通过螺钉固定连接。作为本技术的进一步创新，所述卡块的轴向两端同轴设置有两个限位板。作为本技术的进一步创新，所述挂板之间通过一个连接板固定连接。作为本技术的进一步创新，在所述连接板上设置有一个提拉用开口。作为本技术的进一步创新，在所述连接板朝向挂板的一端设置有一个三角形的开口状缺口。本技术的有益效果是:1、此挂架横向凸台的设计方式取代了之前的纵向卡槽，在保证花篮装夹稳定的同时，结构也更加简单，同时降低了生产的难度和成本。最终实现来了一种挂架适用多种花候rm.ο2、连接板上的缺口可以引导液体流动，防止残留在挂架上的液体滴到花篮上，流到花篮中，影响产品的洁净度。3、采用螺丝连接，若挂架出现问题，只需拧开螺丝，把坏掉的那边挂架取下，换上新的即可。同时可以节约大量的时间和成本。4、挂板挂钩出设计了一个提拉用开口，方便手动装载和拆卸。【附图说明】下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构总图；图2是挂板的结构示意图；图3是花篮的结构示意图。图中:挂板1、卡条2、卡槽3、凸台4、连接板5、开口 6、限位板7、缺口 8。【具体实施方式】现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1所示，本技术为一种通用型挂架机构，包括花篮和挂架，在所述花篮的轴向两端各设置有一个滑槽，所述滑槽包括设置在花篮两侧挡板上的缺口，所述缺口包括设置在缺口顶部的卡块；所述挂架包括一个挂钩组件以及设置在挂钩组件轴向两端与滑槽对应的两个挂板1，在所述挂板1上设置有与所述缺口对应的卡条2，所述卡条2的一端设置有与所述卡块对应的卡槽3，在卡条2定一端设置有一个厚度小于等于卡条2的凸台4，凸台4与卡条2之间的夹角大于90°，所述凸台4背向卡条2的一端设置有倒角；挂架机构还包括用于固定挂架的移动臂，在所述移动臂上设置有用于固定挂架的矩形卡块，所述卡块的轴向两端同轴设置有两个限位板7，所述挂架的挂钩组件包括一个与矩形卡块对应的矩形挂钩；所述挂钩组件包括一个挂钩板，所述挂钩板与挂板1之间通过螺钉固定连接，所述挂板1之间通过一个连接板5固定连接，在所述连接板5上还设置有一个提拉用开口 6，在连接板5对应提拉用开口 6下方设置有一个三角形的开口状缺口 8 ;利用4~6寸花篮的长度相同以及侧边都有卡口凸台4的特点。在装夹花篮时，各尺寸凸台4都能很好地与挂架的卡槽3配合，使得每种花篮都能很好的固定在挂架上。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。【主权项】1.一种通用型挂架机构，其特征是:包括花篮和挂架，在所述花篮的轴向两端各设置有一个滑槽，所述滑槽包括设置在花篮两侧挡板上的缺口，所述缺口包括设置在缺口顶部的卡块； 所述挂架包括一个挂钩组件以及设置在挂钩组件轴向两端与滑槽对应的两个挂板，在所述挂板上设置有与所述缺口对应的卡条，所述卡条的一端设置有与所述卡块对应的卡槽，在卡条定一端设置有一个厚度小于等于卡条的凸台，凸台与卡条之间的夹角大于90°。2.如权利要求1所述的一种通用型挂架机构，其特征是:所述凸台背向卡条的一端设置有倒角。3.如权利要求1所述的一种通用型挂架机构，其特征是:挂架机构还包括用于固定挂架的移动臂，在所述移动臂上设置有用于固定挂架的矩形卡块，所述挂架的挂钩组件包括一个与矩形卡块对应的矩形挂钩。4.如权利要求3所述的一种通用型挂架机构，其特征是:所述挂钩组件包括一个挂钩板，所述挂钩板与挂板之间通过螺钉固定连接。5.如权利要求3所述的一种通用型挂架机构，其特征是:所述卡块的轴向两端同轴设置有两个限位板。6.如权利要求1所述的一种通用型挂架机构，其特征是:所述挂板之间通过一个连接板固定连接。7.如权利要求6所述的一种通用型挂架机构，其特征是:在所述连接板上设置有一个提拉用开口。8.如权利要求6所述的一种通用型挂架机构，其特征是:在所述连接板朝向挂板的一端设置有一个三角形的开口状缺口。【专利摘要】本技术涉及一种通用型挂架机构，包括花篮和挂架，在花篮的轴向两端各设置有一个滑槽，滑槽包括设置在花篮两侧挡板上的缺口，缺口包括设置在缺口顶部的卡块；挂架包括一个挂钩组件以及设置在挂钩组件轴向两端与滑槽对应的两个挂板，在挂板上设置有与缺口对应的卡条，卡条的一端设置有与卡块对应的卡槽，在卡条定一端设置有一个厚度小于等于卡条的凸台，凸台与卡条之间的夹角大于90°；此挂架横向凸台的设计方式取代了之前的纵向卡槽，在保证花篮装夹稳定的同时，结构也更加简单，同时降低了生产的难度和成本。最终实现来了一种挂架适用多种花篮。【IPC分类】H01L21/673【公开号】CN205050813【申请号】CN201520644521【专利技术人】卡尔·罗伯特·休斯特 【申请人】硅密（常州）电子设备有限公司【公开日】2016年2月24日【申请日】2015年8月25日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种通用型挂架机构，其特征是：包括花篮和挂架，在所述花篮的轴向两端各设置有一个滑槽，所述滑槽包括设置在花篮两侧挡板上的缺口，所述缺口包括设置在缺口顶部的卡块； 所述挂架包括一个挂钩组件以及设置在挂钩组件轴向两端与滑槽对应的两个挂板，在所述挂板上设置有与所述缺口对应的卡条，所述卡条的一端设置有与所述卡块对应的卡槽，在卡条定一端设置有一个厚度小于等于卡条的凸台，凸台与卡条之间的夹角大于90°。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：卡尔·罗伯特·休斯特，
申请(专利权)人：硅密常州电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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