一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构。包括提篮，至于提篮上的硅片承载器以及驱动提篮晃动的摇动机构；所述提篮包括U形的支架，支架两侧竖臂顶面上均设有向外翻折的安装板；其中一安装板与摇动机构连接，另一安装板与前支撑座连接；所述硅片承载器至于支架的横部上；采用接触面更少的硅片承载器，减少硅片与片盒的接触面。其次增加了摇动机构，让承载器左右摇动，底部兆声波能更好的传递到硅片上每个角落，从而带走硅片表面的颗粒，大大提升清洗的效果。大大提升清洗的效果。大大提升清洗的效果。

A shaking mechanism suitable for wafer free megasonic silicon wafer cleaning

【技术实现步骤摘要】
一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构


[0001]本技术涉及一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构。

技术介绍

[0002]在半导体清洗行业中，采用兆声波清洗去除硅片表面的颗粒是一种很常见的方式。而兆声波通常以纵波的方式在介质内传播。现有的设备大部分都是有片篮清洗，采用兆声波加震荡。由于兆声波在槽底是往上传递。会受到顶部片篮的影响，大大降低清洗的效果。而采用上下震荡的方式，并不能解决这个问题。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本技术的目的是提供清洗更彻底一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构。
[0004]实现本技术的技术方案如下
[0005]一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构，包括提篮，至于提篮上的硅片承载器以及驱动提篮晃动的摇动机构；所述提篮包括U形的支架，支架两侧竖臂顶面上均设有向外翻折的安装板；其中一安装板与摇动机构连接，另一安装板与前支撑座连接；所述硅片承载器至于支架的横部上。
[0006]所述摇动机构包括电机固定座、伺服电机和后支撑座；伺服电机安装在电机固定座上，伺服电机的驱动端通过联轴器与后支撑座连接；所述后支撑座与对应的安装板连接。
[0007]所述后支撑座的侧板上安装有传感器。
[0008]所述硅片承载器包括弧形的放置架以及放置架底面上均布的若干插槽。
[0009]所述前支撑座可转动的安装在墙板上。
[0010]所述后支撑座与对应的安装板之间以及前支撑座与对应的安装板之间均设有三角形的加强板。
[0011]采用了上述技术方案，采用接触面更少的硅片承载器，减少硅片与片盒的接触面。其次增加了摇动机构，让承载器左右摇动，底部兆声波能更好的传递到硅片上每个角落，从而带走硅片表面的颗粒，大大提升清洗的效果。
[0012]本技术，还具有以下优点：
[0013]1.采用硅片承载器，减少硅片与片盒的接触面。
[0014]2.摇动机构与兆声波清洗配合，使兆声波传递更好，清洗更彻底。
[0015]3.摇动机构位于后部，安全无污染。
[0016]4.摇动支架采用PTFE板式连接，耐酸碱，寿命长久。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为本技术的伺服电机结构示意图；
[0019]附图中，1为提篮，2为硅片承载器，3为摇动机构，4为前支撑座，5为传感器，6为加强板；
[0020]1.1为支架，1.2为竖臂，1.3为安装板，1.4为横部；
[0021]2.1为放置架，2.2为插槽；
[0022]3.1为电机固定座，3.2为伺服电机，3.3为后支撑座。
具体实施方式
[0023]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]参见图1示出本申请结构示意图，一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构，包括提篮1，至于提篮上的硅片承载器2以及驱动提篮晃动的摇动机构3；所述提篮包括U形的支架1.1，支架两侧竖臂1.2顶面上均设有向外翻折的安装板1.3；其中一安装板与摇动机构连接，另一安装板与前支撑座4连接；所述硅片承载器至于支架的横部1.4上。提篮采用U形结构，该结构一方面便于和摇动机构连接，另一方面也便于进行摇动；由于硅片承载器置于U形的支架上，因此支架的摇动也将会带动硅片承载器一起摇动，从而使硅片清洗更彻底。
[0025]所述摇动机构包括电机固定座3.1、伺服电机3.2和后支撑座3.3；伺服电机安装在电机固定座上，伺服电机的驱动端通过联轴器与后支撑座连接；所述后支撑座与对应的安装板连接。伺服电机安装在电机座上并驱动与其连接的后支撑座旋转摇动，由于后支撑座与提篮的安装板连接，因此后支撑座旋转摇动也将会带动提篮旋转摇动。
[0026]所述后支撑座的侧板上安装有传感器5。传感器采用光电传感，具体为欧姆龙EE
‑
SX674P。
[0027]所述硅片承载器包括弧形的放置架以及放置架2.1底面上均布的若干插槽2.2，承载器所用的型号为：A220
‑
300BH26
‑
0215。
[0028]所述前支撑座可转动的安装在墙板上。前支撑座一端与提篮连接，前支撑座另一端可转动的安装在墙板上，可与摇动机构配合使用。
[0029]所述后支撑座与对应的安装板之间以及前支撑座与对应的安装板之间均设有三角形的加强板6，增加支撑座与安装板之间的连接强度。
[0030]下面说一下本技术的工作原理：
[0031]将硅片装在承载器内，整体至于提篮上。后部采用伺服电机驱动，左右转动，用联轴器将后支撑座与电机连接，前支撑座固定在墙板上。提篮固定在前后支撑座上。当兆声波清洗工艺开启时，驱动电机正反转，根据传感器定位提篮的位置，控制摆动幅度。使承载器与花篮摇动，超声波传递到硅片上的效果增强。清洗效果更好。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构，其特征在于，包括提篮，至于提篮上的硅片承载器以及驱动提篮晃动的摇动机构；所述提篮包括U形的支架，支架两侧竖臂顶面上均设有向外翻折的安装板；其中一安装板与摇动机构连接，另一安装板与前支撑座连接；所述硅片承载器至于支架的横部上。2.根据权利要求1所述的一种适用于无片篮兆声波硅片清洗的摇动机构，其特征在于，所述摇动机构包括电机固定座、伺服电机和后支撑座；伺服电机安装在电机固定座上，伺服电机的驱动端通过联轴器与后支撑座连接；所述后支撑座与对应的安装板连接。3.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：卡尔，
申请(专利权)人：硅密常州电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：