一种用于立式炉的载片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于立式炉的载片装置，包括升降组件、炉门组件、载片组件和石英舟，升降组件与炉门组件相连，载片组件设置在炉门组件的上方，载片组件用于承托石英舟，还包括导向支撑组件，导向支撑组件包括支撑导向柱和导向块，支撑导向柱设置在载片组件的顶部，导向块设置在石英舟上，支撑导向柱与导向块配合用于实现对石英舟安装时进行导向及安装后的支撑作用。本实用新型专利技术具有电能利用率高、送舟稳定性高、可靠性高等优点。可靠性高等优点。可靠性高等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于立式炉的载片装置


[0001]本技术主要太阳能电池片加工设备，特指一种用于立式炉的载片装置。

技术介绍

[0002]太阳能电池是一种把太阳能直接转换为电能的新型电池。太阳能电池的制备过程中，依次需要经过制绒、扩散、氧化、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。扩散氧化工艺是指硅片以载片装置为载体放入扩散氧化设备的反应炉中，在一定温度下向扩散氧化设备的反应炉中通入氮气和扩散源，从而在硅片表面扩散沉积PN结。
[0003]现有技术中氧化炉大多是卧式结构，通常采用SiC浆作为载体，将硅片和石英舟一起送至反应室内，对应以上方案的软着路方式，需要打开炉门裸露炉管25min左右，散热严重，不仅造成设备内部高温，元器件使用寿命缩短，还需要提升外围配置增加了成本。另外由于Sic浆只作为一个运输载体，由常温进入在750℃左右的环境下停滞25min，需要吸收大量的热能，浪费了电能。采用闭管的方式，SiC浆需要在反应腔内跟随硅片同步进行工艺,温度由常温升至1000℃左右，同样需要消耗大量的电能。
[0004]例如太阳能电池片的重量为26kg，比热容为0.7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于立式炉的载片装置，其特征在于：包括升降组件(1)、炉门组件(2)、载片组件(3)和石英舟(4)，所述升降组件(1)与炉门组件(2)相连，所述载片组件(3)设置在炉门组件(2)的上方，所述载片组件(3)用于承托石英舟(4)，还包括导向支撑组件(5)，所述导向支撑组件(5)包括支撑导向柱(51)和导向块(52)，所述支撑导向柱(51)设置在所述载片组件(3)的顶部，所述导向块(52)设置在石英舟(4)上，所述支撑导向柱(51)与导向块(52)配合用于实现对石英舟(4)安装时进行导向及对安装后的石英舟(4)进行辅助支撑。2.根据权利要求1所述的用于立式炉的载片装置，其特征在于：所述支撑导向柱(51)的顶部设有锥形导向部(511)，所述导向块(52)上开设有用于容置所述锥形导向部(511)的通孔(521)。3.根据权利要求1所述的用于立式炉的载片装置，其特征在于：所述炉门组件(2)包括炉门安装座(21)和炉门(22)，所述炉门(22)安装在炉门安装座(21)上。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴志明，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：