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本实用新型公开了一种用于立式炉的载片装置,包括升降组件、炉门组件、载片组件和石英舟,升降组件与炉门组件相连,载片组件设置在炉门组件的上方,载片组件用于承托石英舟,还包括导向支撑组件,导向支撑组件包括支撑导向柱和导向块,支撑导向柱设置在载片组...该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于立式炉的载片装置,包括升降组件、炉门组件、载片组件和石英舟,升降组件与炉门组件相连,载片组件设置在炉门组件的上方,载片组件用于承托石英舟,还包括导向支撑组件,导向支撑组件包括支撑导向柱和导向块,支撑导向柱设置在载片组...