一种防硅晶片破损的清洗装置制造方法及图纸

技术编号:34944676 阅读:36 留言:0更新日期:2022-09-17 12:19
本实用新型专利技术提供了一种防硅晶片破损的清洗装置,包括横移架、活动安装在横移架上的搬运框以及安装在搬运框上的花篮组件,横移架中设置有若干容置空腔,容置空腔内活动安装有处理模组,花篮组件包括固定架、操控螺杆、承载花篮以及联动件,承载花篮对应处理模组设置,联动件包括安装在固定架上的固定套筒、可转动的套设至固定套筒上的驱动轮以及套设在驱动轮上的驱动条带,驱动轮的内侧配合套设至操控螺杆上,驱动条带驱使驱动轮转动,从而驱使操控螺杆相对固定架产生移动,采用驱动轮控制操控螺杆,控制承载花篮中硅晶片进出处理模组,通过操控螺杆的控制,可保证硅晶片平稳进入处理模组中,避免硅晶片在清洗过程中发生碰撞破损。损。损。

【技术实现步骤摘要】
一种防硅晶片破损的清洗装置


[0001]本技术涉及电子元件处理
,尤其涉及一种防硅晶片破损的清洗装置。

技术介绍

[0002]在对硅晶片进行清洗时,硅晶片需要按照工艺顺序,依次浸泡各种清洗溶液,将杂质从硅晶片上置换清理,在经过烘干后即完成硅晶片的清理加工,而在清洗过程中,硅晶片需要多次放入清洗烘干的容器中,在集中放入时,由于清洗花篮容器中硅晶片数量较多,取放盛装硅晶片的花篮容器时,花篮容器自重过大,极易发生摆动,碰撞到清洗容器的腔壁上,导致花篮容器发生变形,影响硅晶片的清洗效率。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是:盛放硅晶片的花篮容器在上下搬运的过程容易摆动碰撞至清洗容器的腔壁上。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种防硅晶片破损的清洗装置,包括横移架、活动安装在所述横移架上的搬运框以及安装在所述搬运框上的花篮组件,所述横移架中设置有若干容置空腔,所述容置空腔内活动安装有处理模组,所述搬运框可沿所述横移架滑动,所述花篮组件包括固定安装在所述搬运框上的固定架、活动穿插在所述固定架上的操控螺杆、安装在所述操控螺杆上的承载花篮以及固定安装在所述固定架上的联动件,所述承载花篮对应所述处理模组设置,所述联动件包括安装在所述固定架上的固定套筒、可转动的套设至所述固定套筒上的驱动轮以及套设在所述驱动轮上的驱动条带,所述驱动轮的内侧配合套设至所述操控螺杆上,所述驱动条带驱使所述驱动轮转动,从而驱使所述操控螺杆相对所述固定架产生移动。
[0005]进一步的,所述操控螺杆上开有止转槽,所述止转槽内穿插有止转弯柱,所述止转弯柱固定安装至所述固定架上。
[0006]进一步的,所述驱动轮上开有驱动环槽,所述驱动条带张紧套设至所述驱动环槽内,所述驱动条带呈环形结构,所述驱动条带可控制所述驱动轮在所述固定架上转动。
[0007]进一步的,所述固定架呈十字板状结构,所述固定架的端部均固定至所述搬运框上。
[0008]进一步的,所述操控螺杆穿插在所述固定架的中间位置,所述承载花篮安装在所述操控螺杆上远离所述固定架的端部。
[0009]进一步的,所述横移架包括隔板,所述容置空腔由所述隔板间隔形成。
[0010]进一步的,所述横移架还包括长杆和立杆,所述长杆垂直连接在所述隔板的边缘上,所述立杆对应所述隔板固定在所述长杆之间。
[0011]进一步的,所述搬运框包括支柱以及安装在所述支柱上的机框,所述支柱可活动地安装在所述横移架上,所述固定架固定安装在所述机框上。
[0012]本技术的有益效果是,横移架上安装可移动的搬运框,搬运框上设置固定架和操控螺杆,操控螺杆受到联动件中驱动轮的驱动,可相对固定架进行移动,从而带动承载花篮进出处理模组,在处理模组中完成对承载花篮中硅晶片的处理,最终配合搬运框在横移架上的移动过程,可完成对硅晶片的清洗,而在这一过程中,硅晶片进出处理模组的过程始终由操控螺杆和联动件控制,硅晶片可沿固定轨道平稳进入处理模组中,避免硅晶片和处理模组之间发生碰撞,从而可避免硅晶片发生破损。
附图说明
[0013]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0014]图1是清洗装置的立体图;
[0015]图2是图1的主视图;
[0016]图3是图2中A

A的剖视图;
[0017]图4是图2中B

B的剖视图;
[0018]图中:硅晶片清洗装置100、横移架10、搬运框20、花篮组件30、处理模组101、长杆110、立杆120、隔板130、控制板140、容置空腔102、定位块141、导向底板160、导轨161、驱动丝杆162、转板163、支柱210、机框220、定位板211、定位感应器212、操控孔221、升降杆222、调节环板223、调节套筒 224、调节螺柱103、固定架310、操控螺杆320、承载花篮330、联动件340、固定套筒341、驱动轮342、驱动条带343、驱动环槽344、止转槽321、止转弯柱322。
具体实施方式
[0019]下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。相反,本技术的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。
[0020]如图1至图4所示,本技术提供了一种防硅晶片破损的清洗装置100,包括横移架10、可移动的安装在横移架10上的搬运框20以及安装在搬运框20 上的花篮组件30。横移架10中设置有多个处理模组101,搬运框20可沿横移架10相对处理模组101移动,硅晶片盛放在花篮组件30中,花篮组件30跟随搬运框20沿横移架10进行移动,处理模组101中可以是用于逐次清洗硅晶片的清洗溶液,也可以是用于烘干硅晶片的加热装置,在花篮组件30移动的过程中,硅晶片可在花篮组件30的作用下依次进入处理模组101中,完成硅晶片的清洗工艺。
[0021]横移架10包括长杆110、立杆120、隔板130以及控制板140,长杆110至少有四个,各个长杆110相互平行设置,立杆120沿长杆110的长度方向等距排布设置,立杆120的两端分别固定支撑在两个相邻的长杆110之间,长杆110 在立杆120的支撑下形成长方体的框架结构,隔板130平行于立杆120安装在各个长杆110中,隔板130对应立杆120设置在各个长杆110上,在隔板130 的隔离围设下,形成可容纳处理模组101的容置空腔102,处理模组101可放入容置空腔102中,控制板140垂直封堵容置空腔102,控制板140上背离隔板 130的侧面上设置有若干定位块141,定位块141对应容置空腔102设置,每个定位块141均根据容置空
腔102进行标识设置,优选地,定位块141上背离控制板130的侧面上贴设码片,码片上印刷有对应容置空气102的二维码或条形码。
[0022]优选地,横移架10的底部还安装有导向底板160,导向底板160上固定安装有分设在横移架10两侧的导轨161,其中横移架10一侧的导轨161上方平行设置有驱动丝杆162,驱动丝杆162的两端设置有转板163,转板163固定安装在导向底板160上,驱动丝杆162的两端可转动地穿插在转板163中,其中驱动丝杆162的一端安装有驱动件(图未示),驱动件优选为驱动电机,驱动电机的转轴安装至驱动丝杆162上,当驱动电机启动后,可驱使驱动丝杆162在两个转板163之间转动。
[0023]搬运框20同样呈长方体形状的框体结构,搬运框20包括对称设置的若干支柱210以及安装在支柱210端部的机框220,支柱210至少有四个,支柱210 对称设置在两个导轨161上,支柱210的端部可滑动的卡接至导轨161上,驱动丝杆162配合穿插至支柱210上本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防硅晶片破损的清洗装置,其特征在于:包括横移架、活动安装在所述横移架上的搬运框以及安装在所述搬运框上的花篮组件,所述横移架中设置有若干容置空腔,所述容置空腔内活动安装有处理模组,所述搬运框可沿所述横移架滑动,所述花篮组件包括固定安装在所述搬运框上的固定架、活动穿插在所述固定架上的操控螺杆、安装在所述操控螺杆上的承载花篮以及固定安装在所述固定架上的联动件,所述承载花篮对应所述处理模组设置,所述联动件包括安装在所述固定架上的固定套筒、可转动的套设至所述固定套筒上的驱动轮以及套设在所述驱动轮上的驱动条带,所述驱动轮的内侧配合套设至所述操控螺杆上,所述驱动条带驱使所述驱动轮转动,从而驱使所述操控螺杆相对所述固定架产生移动。2.根据权利要求1所述的一种防硅晶片破损的清洗装置,其特征在于:所述操控螺杆上开有止转槽,所述止转槽内穿插有止转弯柱,所述止转弯柱固定安装至所述固定架上。3.根据权利要求1所述的一种防硅晶片破损的清洗装置,其特征在于:所述驱动轮上开有驱动环槽...

【专利技术属性】
技术研发人员:卡尔
申请(专利权)人:硅密常州电子设备有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1